基板位置 に関する公開一覧

基板位置」に該当した技術の詳細情報一覧です。あらゆる文献や技術を元に、価値のある「基板位置」の詳細情報や、「基板位置」を活用可能な分野・領域の探索など、目的にあった情報を見つける事ができます。 「基板位置」の意味・用法はこちら

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  1. 【課題】吐出動作のスループットの低下を抑制するインプリント装置を提供する。【解決手段】インプリント装置1は、吐出材11を吐出する吐出装置10と、基板6を第1方向と当該第1方向と交差する第2方向に移動させる基板ステージ8と、を有し、基板ステージを移動させながら吐出装置から吐出材を基板上に吐出させる。吐出装置は、第1方向において第1のフィールドに続いて当該第1のフィールド...

    インプリント装置およびインプリント装置の制御方法

  2. 【課題】マスクの開エリア比率が低いときでも強い終了点信号を提供してエッチング終了点を判別する装置及び方法を提供する。更に、基板の広範囲を代表する終了点信号を提供する。【解決手段】白色照明源が、法線に対し10°未満の入射角を有する入射光ビームで以て基板34を照明する。カメラでその被照明領域の連続画像を撮る。画像処理技術を適用してフィーチャの所在個所を特定しその個所の反射...

    リフレクトメトリ終了点イメージング装置及び方法

  3. 【課題】基板吸着手段(静電チャック)から基板を分離させる時の時間を短縮させることで、成膜装置の効率的な運用を図る。【解決手段】本発明による成膜装置は、マスクを介して基板の成膜面に成膜する成膜装置において、基板の成膜面と反対側の非成膜面を吸着する吸着面を有する基板吸着手段と、基板吸着手段を挟んでマスクとは反対側に配され、当該マスクを成膜面に引き寄せるマスク吸引手段と、マ...

    成膜装置及び成膜方法

  4. 【課題】基板吸着手段(静電チャック)から基板を分離させる時の時間を短縮させることで、成膜装置の効率的な運用を図る。【解決手段】本発明による成膜装置は、マスクを介して基板の成膜面に成膜する成膜装置において、基板の成膜面側を支持する基板支持部と、基板の成膜面と反対側の非成膜面を吸着する吸着面を有する基板吸着手段と、基板吸着手段を挟んでマスクとは反対側に配され、マスクを成膜...

    成膜装置及び成膜装置の制御方法

  5. 【課題】基板の平面矯正ができる物体保持装置及び露光装置の提供。【解決手段】物体保持装置は、基板を保持する保持面を有する保持面部60と、保持面部を支持するベース部40と、を備え、保持面部60とベース部40とは、保持面部とベース部との一方に溝が形成され、保持面部とベース部との他方が前記溝を覆い、保持面と基板との間に供給される気体が流動可能な流路を形成する。

    物体保持装置及び露光装置

  6. 【課題】ガラス基板を迅速に交換できる搬送装置の提供。【解決手段】基板Pを非接触支持する非接触ホルダ32に対して基板Pを搬送する搬送装置は、非接触ホルダ32の上方に位置する第1位置で基板Pの一部を保持する保持パッド10044と、基板Pを保持した保持パッド10044を、基板Pが非接触ホルダ32に非接触支持されるように下方へ移動させる駆動部と、非接触ホルダ32に非接触支持さ...

    搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法

  7. 【課題】精度良く、早期にティーチング作業を完了することが可能で、簡易で、装置内のクリーン度を担保できるティーチング方法を提供する。【解決手段】基板を支持して搬送するロボットによる、基板処理室に設けられた基板載置部に対する基板の搬送動作において、ロボットの基板を支持する支持部の辿るべき経路を、ロボットを制御する制御部にティーチングするティーチング装置であって、基板の代わ...

    ティーチング装置、基板搬送装置、基板処理装置、ティーチング方法、及び電子デバイスの製造方法

  8. 【解決手段】パターニングプロセスへの補正を決定する方法が本書に記載される。この方法は、メトロロジデータおよびパターニングプロセスに使用される装置のデータから導出されるパターニングプロセスの複数の性質(例えば、複数のパラメータマップ、または1つ又は複数の補正)を取得することと、ハードウェアコンピュータシステムによって、代表の性質を複数の性質から選択することと、ハードウェ...

    計算メトロロジに基づく補正および制御

  9. 【課題】載置台上の基板の位置を正確に検出する。【解決手段】基板位置検出方法は、基板の清浄面がチャンバ内に設けられた載置台の載置面と対向するように基板をチャンバ内に搬入する工程を含む。また、基板位置検出方法は、搬入された基板を載置台上に載置する工程を含む。また、基板位置検出方法は、基板を載置台上に固定する工程を含む。また、基板位置検出方法は、載置台上の基板の固定を解除す...

    基板位置検出方法、基板位置調整方法および基板位置検出装置

  10. 【課題】走査露光における基板上へのパターン形成精度の点で有利な技術を提供する。【解決手段】露光光に対して基板を走査することにより前記基板のショット領域を露光する露光装置は、前記基板の走査中に、前記露光光による前記ショット領域の露光に先立って、複数の計測点で前記ショット領域の表面位置を計測する計測部と、前記計測部の計測結果に基づいて、前記基板の傾き制御を行う制御部と、を...

    露光装置、および物品の製造方法

  11. 【課題】装置コストを抑えつつ、吸着保持された基板を高精度にアライメントできる基板浮上搬送装置及び基板浮上搬送装置の基板位置補正方法を提供する。【解決手段】基板を浮上させる浮上ステージと、前記浮上ステージで浮上された基板を保持する基板保持ユニットと、前記基板保持ユニットで基板が保持された状態で前記基板保持ユニットを移動させることにより基板を搬送方向に移動させる搬送駆動部...

    基板浮上搬送装置及び基板浮上搬送装置の基板位置補正方法

  12. 【課題】荷電粒子分析のための生体試料の調製および送達のためのシステムおよび方法を提供する。【解決手段】イオン化された試料供給から試料イオンを選択するイオンフィルタ210と、選択された試料イオンを受容し試料イオンの動態エネルギーを低減するエネルギー低減セルと、試料イオンを受容し試料イオンが標的試料イオンであるかどうかを判定する検証ユニットと、試料イオンを受容する電子透過...

    荷電粒子分析のための生体試料の調製および送達のためのシステムおよび方法

  13. 【課題・解決手段】本発明は、菓子製造分野に関し、特に、本発明の菓子冷却工程と組み合わせた、モジュール式の柔軟なプロセスとその使用とに関する。

    モジュール式製造ライン及びその使用プロセス

  14. 【課題】現状の部品実装ラインよりコストが削減可能な設備構成の作成を支援することができる設備構成作成支援システムおよび設備構成作成支援方法を提供することを目的とする。【解決手段】部品実装装置を含む部品実装ラインの設備構成の作成を支援する設備構成作成支援方法は、現状の設備構成に関する情報(ST1)と生産計画に関する情報(ST2)とコスト削減目標に関する情報(ST3)とに基...

    設備構成作成支援システムおよび設備構成作成支援方法

  15. 【課題】基板の熱調整が改良された基板ハンドリングシステムを提供する。【解決手段】ホルダ(202)、回転デバイス(206)、および移動器(204)を含む、基板(W)を取り扱うための基板ハンドリングシステム(200)が提示される。ホルダは、基板を保持するためにある。回転デバイスは、ホルダを平面に垂直な軸(208)のまわりに回転させるためにある。移動器は、ホルダを軸に対して...

    基板ハンドリングシステムおよびリソグラフィ装置

  16. 【課題】生産性を維持しながら露光ムラの低減する技術を提供する。【解決手段】マスクのパターンを基板に投影する投影光学系を含み、前記基板を走査露光する露光装置における露光方法は、走査露光中に発生する前記投影光学系の光学特性の変動の情報を取得する工程と、前記変動によって生じる露光ムラを低減するように前記基板上の1点あたりの露光時間の目標値である目標露光時間を決定する工程と、...

    露光方法、露光装置、および物品製造方法

  17. 【課題】傷や汚れなどの影響を受けずに認識対象の位置認識を行う認識装置を提供する。【解決手段】電子部品の位置を認識する表面実装機であって、電子部品を撮像する基板認識カメラと、制御部とを備え、制御部の演算処理部は、基板認識カメラによって電子部品を撮像した対象画像の一部を画像認識しない不認識領域R1とすると共に、対象画像において不認識領域R1とは異なる領域を認識領域R2とす...

    認識装置、表面実装機および認識対象の位置認識方法

  18. 【課題】新基板の登録設定、及び基板の機種変更のセットアップ時間を経時的に短縮する基板検査装置【解決手段】複数の検査端子と基板位置マークのある基板を検査する基板検査装置に搭載される検査治具は、複数のプローブと、その先端を検査端子に案内する案内孔と、複数の治具位置マークがある案内板があって、検査治具移動部に依って移動される。基板を保持して搬送する搬送テーブルは、複数のテー...

    基板検査装置、検査治具、及びその基板検査方法

  19. 【課題】基板コーティングのためのガスクッション装置および技法の提供。【解決手段】コーティングが、基板上に提供されることができる。コーティングの製作は、ガスクッションを使用してコーティングシステム内で基板を支持しながら、基板の特定の領域内において固体層を形成することを含むことができる。例えば、液体コーティングは、基板がガスクッションによって支持されている間に、特定の領域...

    基板コーティングのためのガスクッション装置および技法

  20. 【課題】歩留まりを向上させることができる有機ELパネル製造装置、有機ELパネルの製造方法及び有機ELパネルを提供する。【解決手段】有機ELパネル製造装置1は、側面10cが曲面となる柱体形状を有する回転ドラム10と、回転ドラム10の側面10cに設けられた開口部121内を搬送路120とし、搬送路120に沿って、湾曲した基板3を搬送する搬送部と、搬送路120の上方であって回...

    有機ELパネル製造装置、有機ELパネルの製造方法及び有機ELパネル

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