ヘリウムガス濃度 に関する公開一覧

ヘリウムガス濃度」に該当した技術の詳細情報一覧です。あらゆる文献や技術を元に、価値のある「ヘリウムガス濃度」の詳細情報や、「ヘリウムガス濃度」を活用可能な分野・領域の探索など、目的にあった情報を見つける事ができます。 「ヘリウムガス濃度」の意味・用法はこちら

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  1. 【課題】漏れ検査に使用する検査ガス量を少量とすることで漏れ検査費用を安価とする。【解決手段】密閉されたタイヤ15の内室17に収納されている内袋30にエアを供給して膨張させるとともに、前記内袋30とタイヤ15との間の内室17に検査ガスを供給し、タイヤ15の外に設けられた検出器60、61により検査ガスのタイヤ15からの漏れを検出するようにしたので、先行技術に比較してタイヤ...

    タイヤの漏れ検出方法および装置

  2. 【課題】空気を多量に含む対象ガスから対象ガスを効果的に回収する。【解決手段】対象ガスが供給される装置の対象空間からの対象ガスと空気を含む排出ガスを圧縮するコンプレッサであって、水潤滑コンプレッサからの圧縮ガスについて対象ガス富化ガスと、対象ガス低含有ガスに分離する膜分離装置と、を含む前処理装置12と、膜分離装置からの対象ガス富化ガスを冷却し、空気を固化することまたは対...

    対象ガス処理システム

  3. 【課題】漏れ検査のための検査用ガスなどとして使用される混合ガスを供給するための装置として、高圧ガスボンベの使用を極力抑制して、ガスボンベ使用による不利益を最小限に抑え、ランニングコストの低減を図る。【解決手段】水素ガスを発生する水素ガス発生部と、窒素ガスを発生する窒素ガス発生部と、前記水素ガス発生部から導かれた水素ガスおよび前記窒素ガス発生部から導かれた窒素ガスを混合...

    混合ガス供給装置

  4. 【課題】CVD装置から排出された排出ガスからヘリウムガスを選択的に回収し、CVD装置へ、そのヘリウムガスをリサイクルガスとして供給することができる、へリウム回収精製システムを提供する。【解決手段】へリウム回収精製システムは、被処理ガスを所定圧力値まで圧縮するコンプレッサー20と、コンプレッサー20で圧縮された被処理ガスから水分を排出する水分排出部30と、水分排出部30...

    へリウム回収精製システム

  5. 【課題】従来のインクジェット印刷技術における高解像度、高速度印刷、ワイドギャップ印刷を同時に満たせないという課題を解決可能なインクジェット印刷装置を提供する。【解決手段】被記録媒体を載置する平坦状の載置部10と、ヘッド部5と、ヘッド部と載置部の少なくとも一方を移動させて、相対的な位置関係を変化させる平面方向駆動部と、平面方向と垂直に交差する高さ方向において、ヘッド部と...

    インクジェット印刷装置

  6. 【課題】高純度の希ガスを効率的に製造するための希ガス分離膜の提供。【解決手段】多孔質膜の上に分離活性層が配置された希ガス分離膜であって、該分離活性層が、Co、Cu、Zn、及びAlから成る群から選ばれる少なくとも一種の金属を含有するMOF(Metal Organic Framework)を含有することを特徴とする希ガス分離膜、該希ガス分離膜を含む分離膜ユニットを具備する...

    希ガス分離膜、及びこれを用いた希ガス精製装置

  7. 【課題】注液孔に対して着脱可能であり、再使用することができる密閉型電池用の仮封止栓を提供する。【解決手段】本発明は、ケース内に電極組立体および電解液が収容された密閉型電池の製造過程で用いられ、上記ケースの壁部に設けられた注液孔に挿入されて該注液孔を封止する仮封止栓に関する。ここに開示される仮封止栓は、栓形成体と挿入軸部材とを備える。上記栓形成体は、フランジ部と本体部と...

    密閉型電池用の仮封止栓

  8. 【課題】電池ケース内で発生したガスを外部に排出可能としつつ、外部から水分が電池ケース内に進入(浸入)することを抑制できる非水系二次電池を提供する。【解決手段】電池ケース10の外部と内部とを連通する連通路PWは、電池ケース10の外部に開口するガス排出口61bを含む。連通路PWのうちガス排出口61bよりも電池ケース10の内側に位置する内側連通路PW2内に、内側連通路PW2...

    非水系二次電池

  9. 【課題】シール部材のシール性に関する重度の不具合を迅速かつ確実に発見し、しかも極微量の漏れに対しても、これを事前または事後に確実に発見できるようにする。【解決手段】基板ホルダ18で基板を保持した時にシール部材66,68で密閉されて該基板ホルダ18の内部に形成される内部空間R内を真空引きして該内部空間Rが一定時間後に所定真空圧力に達するかを検査する第1段階漏れ検査を実施...

    めっき装置に使用される基板ホルダの漏れ検査方法

  10. 【課題】ピンホールだけでなく薄皮1枚程度の溶接欠陥も検出することを可能にする。【解決手段】密閉型蓄電装置の製造方法は、ケース本体11aと蓋体11bとを溶接する溶接工程以降に、溶接箇所の気密検査を行うケースの溶接状態検査工程を有する。溶接状態検査工程は、ケース本体11aと蓋体11bとの溶接箇所に、ケース本体11aの側壁11cに、側壁11cをケース外側へ付勢する第1の付勢...

    密閉型蓄電装置の製造方法及び密閉型蓄電装置のケースの溶接状態検査装置

  11. 【課題】 検出精度を向上する気体漏れ検出装置を提供する。【解決手段】 気体供給部に接続する供給ポート45は、ポートハウジング46、弁部材47、突出部48、スプリング49から構成されている。弁部材47は、内部空間465に往復移動可能に収容され、内部空間465と通路451とを連通可能な溝471を有する。スプリング49は、弁部材47の端面473がポートハウジング46の内...

    気体漏れ検出装置

  12. 【課題】シール部材のシール性に関する重度の不具合を迅速かつ確実に発見し、しかも極微量の漏れに対しても、これを事前または事後に確実に発見できるようにする。【解決手段】基板の外周部をシール部材66,68でシールしながら基板Wを基板ホルダ18で保持し、基板ホルダで基板を保持した時にシール部材で密閉されて該基板ホルダの内部に形成される内部空間R内を真空引きして該内部空間が一定...

    めっき方法及びめっき装置

  13. 【課題】小型かつ簡易な設備で、ヘリウムガスを回収し、再利用が可能なヘリウムガス回収供給システムを提供する。【解決手段】コールドスプレー装置20と、コールドスプレーガン23Aの先端と基材とを収容し、且つ内部を気密に保持可能なブース30と、ブース30内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給装置32と、ブース30内から回収したヘリウムガスと窒素ガスとを含む混合ガスから窒素ガスを除...

    ヘリウムガス回収供給システム

  14. 【課題】漏れ検査の検査用ガスなどとして使用される希釈水素ガスを生成するための装置として、高圧ガスボンベの使用を極力抑制して、ガスボンベ使用による不利益を最小限に抑え、ランニングコストの低減を図る。【解決手段】水素ガスと希釈用ガスが導入されて、水素を希釈した希釈水素ガスを生成するための混合タンクと、水を分解して水素ガスを発生する水素発生器と、希釈用ガスを供給する希釈用ガ...

    希釈水素ガス生成装置

  15. 【課題】化学機械研磨(CMP)後の基板洗浄での金属材料の腐食を抑制する技術を提供する。【解決手段】基板を化学機械研磨した後、以下の(A)、(B)および(C)の少なくともいずれか一つを含有する洗浄液で基板を洗浄する。(A)基板上の金属に対して電子供与性を有する還元剤。(B)溶存酸素を還元する脱酸素剤。(C)防食剤。

    化学機械研磨後の基板洗浄技術

  16. 【課題】正確かつ迅速に被検査容器の漏洩を検出することが可能な被検査容器の漏洩検査方法などを提供する。【解決手段】変形可能な可撓部を有する被検査容器1の漏洩検査行うにあたり、被検査容器1に、ヘリウムを含む検査用ガスを充填した後、外部から区画された検査室3内に、検査用ガスが充填された被検査容器1を配置し、被検査容器1の下部側から上部側へ向けて、キャリアガスの上昇流を形成す...

    被検査容器の漏洩検査方法、及び漏洩検査装置

  17. 【課題】シール部材のシール性に関する重度の不具合を迅速かつ確実に発見し、しかも極微量の漏れに対しても、これを事前または事後に確実に発見できるようにする。【解決手段】基板ホルダ18で基板を保持した時にシール部材66,68で密閉されて該基板ホルダ18の内部に形成される内部空間R内を真空引きして該内部空間が一定時間後に所定真空圧力に達するかを検査する第1段階漏れ検査を実施し...

    めっき装置

  18. 【課題】シール部材のシール性に関する重度の不具合を迅速かつ確実に発見し、しかも極微量の漏れに対しても、これを事前または事後に確実に発見できるようにする。【解決手段】基板ホルダで基板を保持した時にシール部材66,68で密閉されて該基板ホルダの内部に形成される内部空間R内を真空引きして該内部空間が一定時間後に所定真空圧力に達するかを検査する第1段階漏れ検査を実施し、内部空...

    めっき方法及びめっき装置

  19. 【課題】高圧ガスタンクの周囲圧力の変動を簡便な構成により抑制することで、気密検査における合否判定を正確に行うことのできるリーク量測定装置を提供すること。【解決手段】このリーク量測定装置1は、 気密検査の対象である高圧ガスタンクTKにヘリウムガスを封入した状態で、当該高圧ガスタンクTKを内部に収納するチャンバーCHと、 チャンバーCHの内部から、高圧ガスタンクTKの...

    リーク量測定装置

  20. 【課題】パターン欠陥の抑制に有利なインプリント装置を提供する。【解決手段】外周形状が矩形の型Mを用いて基板W上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、型Mの外周部で気体を吹き出す吹き出し部109と、基板Wを移動させる移動手段と、を含み、移動手段は、吹き出し部109が気体を吹き出している間に、基板Wの表面に沿う方向且つ型Mの隣り合う2辺のそれぞれに...

    インプリント装置、および物品製造方法

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