器械または他の装置の,またはその部品の位置または姿勢,例.水平,の調節,傾斜または加速度の影響の補償,例.光学装置のためのもの に関する技術一覧

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器械または他の装置の,またはその部品の位置または姿勢,例.水平,の調節,傾斜または加速度の影響の補償,例.光学装置のためのものに所属する技術動向

器械または他の装置の,またはその部品の位置または姿勢,例.水平,の調節,傾斜または加速度の影響の補償,例.光学装置のためのものの分野に属する技術の状況としては、2017年に11件、2018年に3件の新たな技術が出願されるといった動きがあります。

また、器械または他の装置の,またはその部品の位置または姿勢,例.水平,の調節,傾斜または加速度の影響の補償,例.光学装置のためのものの分野においては特に近年その他のものの分野における動向が活発であり、他にもその他のものといった分野においても、日々新たな動きが生まれています。

この分野でのメインプレイヤーとしては株式会社ミラック光学や住友重機械工業株式会社、キヤノン株式会社が豊富な実績を残しており、 通商産業省基礎産業局長などは、 組成に特徴を持つ成形セラミック製品,セラミック組成や半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に適用される方法または装置といった分野も含め、 セイコーインスツル株式会社や株式会社神戸製鋼所といった法人と共に共同研究を行っている実績もあります。

注目の技術

器械または他の装置の,またはその部品の位置または姿勢,例.水平,の調節,傾斜または加速度の影響の補償,例.光学装置のためのもの』に分類される技術のうち、技術力の高さや近年注目されている・今後活用可能性の高いと目されている技術の一覧です。

  1. 【課題】ステージの移動に伴う振動や揺れの影響を軽減することが紫外光を利用した露光装置内の紫外光路で移動するウエハ及び/またはレチクル近傍に対する有効なパージ手段を開発する。【解決手段】ガイド面6を有する基準構造体4と、該ガイド面に沿って移動可能な可動部3と、該可動部側に設けられた可動子2と、該ガイド面に沿って移動可能な固定子1,1′とを有するアクチュエータ8とを備え、...

    移動装置、ステージ及び露光装置

  2. 【課題】アリ溝摺動ユニットを汎用ユニットとして使用する場合に、その汎用性及び精度を確保した汎用アリ溝摺動ユニットを提供する。【解決手段】アリ溝を有する固定ユニット5と、アリを有する摺動ユニット4とを嵌合させ、ハンドル9の操作により摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行うアリ溝摺動ユニット100であって、それぞれ異なる機能を有するアリ溝摺動ユニット100である上...

    汎用アリ溝摺動ユニット

  3. 【課題】リニアモータの冷却効率を向上させる。【解決手段】固定子ヨーク151の配列された各コイルユニット160を上部コイル161、下部コイル162に分割し、それらの間に冷却配管153を配置する。

    リニアモータ、ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法

  4. 【課題】位置決めステージ機構に適し、その位置決め精度、定速性の向上を図ることのできるステージ位置制御方法を提供すること。【解決手段】Yステージ63をY軸方向に、独立に制御可能なY1リニアモータ71、Y2リニアモータ72により並進駆動可能とし、Yステージの移動量をY1リニアエンコーダ76、Y2リニアエンコーダ77により検出してY制御系20、θ制御系30にフィードバックす...

    ステージ位置制御方法及びステージ位置制御装置

  5. 【課題】X—Y—θステージ装置において縦方向寸法および重量の増大を防止しながら、Xリニアモータのキャリッジ11Xのたわみを生じにくくする。【解決手段】X—Y—θステージ装置においてXリニアモータの支持摺動部材を少なくとも3個所に配設し、それらが略等間隔に位置するようにした。

    リニアモータおよびステージ装置

新着の技術

器械または他の装置の,またはその部品の位置または姿勢,例.水平,の調節,傾斜または加速度の影響の補償,例.光学装置のためのもの』に分類される技術のうち、最近新たに出願された技術の一覧です。

  1. 【課題・解決手段】単一駆動の剛性‐フレキシブルカップリングされる精密移動ステージであって、リニアガイドレール(A101)、剛性‐フレキシブルカップリングされる移動ステージ、リニア駆動器及び変位センサ(A6)を含み、剛性‐フレキシブルカップリングされるステージは、剛性フレーム(A201)、フレキシブルヒンジ(A203)及びコア移動ステージ(A202)を含む。リニア駆動器...

    単一駆動の剛性‐フレキシブルカップリングされる精密移動ステージ及びその実現方法、並びにアプリケーション

  2. 【課題・解決手段】ステージと、レールに沿って摺動可能に設置された少なくとも1つの軸受部材と、少なくとも1つの転がり軸受をステージと相互接続する動的応答接合部とを有する、精密移動ステージ用の、軸線方向に動的応答する転がり軸受である。動的応答接合部は、ステージが、軸線方向に直交する他の方向では固定されながらも軸線方向に移動できるように、十分に動的応答する。

    精密な位置決めのための軸線方向動的応答軸受

  3. 【課題】物体の物体載置部に対するロード又は物体載置部からのアンロードに際して物体載置部への振動等の影響を軽減し得る移動体装置を提供する。【解決手段】ステージ装置は、ウエハWを載置して移動可能なウエハステージWSTを含む。ウエハステージは、ウエハWを載置するウエハテーブルWTBと、ベース盤12に対し移動可能なスライダと、ウエハを下方から支持可能なウエハセンター支持部材と...

    移動体装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法

  4. 【課題】すべりや摩耗に起因するテーブル体の移動精度の悪化が生じない画期的なテーブル装置の提供。【解決手段】基体1と、この基体1に対して移動するテーブル体2と、前記テーブル体2を移動させる駆動機構3と、前記基体1及び前記テーブル体2の間に設けられ、前記テーブル体2を縦湾曲移動させるための縦湾曲ガイド機構4とを備えたテーブル装置であって、前記駆動機構3は、固定部材5と該固...

    テーブル装置

  5. 【課題】直動アクチュエータ3を、基台11に装着固定した状態で直動軸4の押し引き動作によってテーブル部13の移動が行え、テーブル部13の外周域にモータへの電源供給用の配線ケーブルなの配設を回避し、ケーブルベア(登録商標)等のケーブル保護部材やロボットケーブルなどの高価な対屈曲ケーブルを不要なものとして、部品点数の削減を図りXYテーブル1を安価に製作できるようにする。【解...

    XYテーブル

器械または他の装置の,またはその部品の位置または姿勢,例.水平,の調節,傾斜または加速度の影響の補償,例.光学装置のためのものの詳細カテゴリ一覧

器械または他の装置の,またはその部品の位置または姿勢,例.水平,の調節,傾斜または加速度の影響の補償,例.光学装置のためのものの分類に属する、詳細カテゴリの一覧です。

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その他の分野

器械または他の装置の,またはその部品の位置または姿勢,例.水平,の調節,傾斜または加速度の影響の補償,例.光学装置のためのもの』と近しいカテゴリにある他の技術分野一覧です。