器械の細部 に関する技術一覧

「器械の細部」に関する技術の関連情報です。 「器械の細部」 の関連技術、「他に分類されない器械の細部または他の装置の類似の細部」 など、その他「器械の細部」に関する技術情報を、出願された情報を元に収録しています。 「器械の細部」の分野ページはこちら

器械の細部に所属する技術動向

器械の細部の分野に属する技術の状況としては、2017年に18件、2018年に8件の新たな技術が出願されるといった動きがあります。

また、器械の細部の分野においては特に近年他に分類されない器械の細部または他の装置の類似の細部の分野における動向が活発です。

この分野でのメインプレイヤーとしては株式会社日立ハイテクサイエンスや株式会社ミラック光学、住友重機械工業株式会社が豊富な実績を残しており、 株式会社日立製作所などは、 基本的電気素子や計算,計数といった分野も含め、 株式会社日立国際電気や株式会社日立ハイテクノロジーズといった法人と共に共同研究を行っている実績もあります。

注目の技術

器械の細部』に分類される技術のうち、技術力の高さや近年注目されている・今後活用可能性の高いと目されている技術の一覧です。

  1. 【課題】本発明は、光利用効率が高く、高速走査が可能で、検出される光に含まれるバックグランド光が少ない近接場光プローブおよびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】基板11の上に円錐体または多錐体または平面楕円体または三角形の形状をした金属の散乱体12を形成し、その散乱体の周辺に散乱体の高さと同じ膜厚を持つ金属または誘電体または半導体などの膜13を形成する。

    近接場光プローブおよびそれを用いた近接場光学顕微鏡および光記録/再生装置

  2. 【課題】本発明は、散乱体を用いたプローブにおいて、強い近接場光が発生する点以外の部分で発生する近接場光がノイズとなる。【解決手段】散乱体の強い近接場光が発生する頂点以外の部分の表面を、削る深さが近接場光のしみ出し深さ以上になるように削る。【効果】試料観察や記録マークを再生する場合のノイズを抑えることが出来る。

    近接場光発生プローブ及び近接場光発生装置

  3. 【課題】本発明の課題は、構造的に細い上に耐磨耗性が高いと共に必要な剛性を持ち、試料面に対してチップが垂直になるようにカンチレバー先端に取り付け形成され、また素材が導電性を有し、分解能が安定で測定再現性がよいプローブ顕微鏡の探針を提供することまた、溝部側壁位置を測定できるプローブを提供することにある。【解決手段】本発明のプローブ顕微鏡用の探針は、カンチレバー先端部にFI...

    走査型プローブ顕微鏡用探針

  4. 【課題】構成が簡単で、的確な試料表面の検出が可能なカンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法を提供する。【解決手段】カンチレバーアレイにおいて、試料1の表面2上を摺動する多数のコンプライアントなカンチレバー3...

    カンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法

  5. 【課題】ステージの移動に伴う振動や揺れの影響を軽減することが紫外光を利用した露光装置内の紫外光路で移動するウエハ及び/またはレチクル近傍に対する有効なパージ手段を開発する。【解決手段】ガイド面6を有する基準構造体4と、該ガイド面に沿って移動可能な可動部3と、該可動部側に設けられた可動子2と、該ガイド面に沿って移動可能な固定子1,1′とを有するアクチュエータ8とを備え、...

    移動装置、ステージ及び露光装置

新着の技術

器械の細部』に分類される技術のうち、最近新たに出願された技術の一覧です。

  1. 【課題】 吸着対象物から吸着部を脱着させる際に吸着部の吸着状態と非吸着状態との切り替えを素早くかつ容易に行えるマグネットベースを提供すること。【解決手段】 内腔12を備え一対のスペーサ13,13により内腔12周りに2つの磁極部材14A,14Bに分割され、一方のスペーサ13を挟む部位が吸着部15に形成された磁気回路ブロック10と、内腔12に軸線12Cを中心に回転可能...

    マグネットベース

  2. 【課題・解決手段】ステージと、レールに沿って摺動可能に設置された少なくとも1つの軸受部材と、少なくとも1つの転がり軸受をステージと相互接続する動的応答接合部とを有する、精密移動ステージ用の、軸線方向に動的応答する転がり軸受である。動的応答接合部は、ステージが、軸線方向に直交する他の方向では固定されながらも軸線方向に移動できるように、十分に動的応答する。

    精密な位置決めのための軸線方向動的応答軸受

  3. 【課題】物体の物体載置部に対するロード又は物体載置部からのアンロードに際して物体載置部への振動等の影響を軽減し得る移動体装置を提供する。【解決手段】ステージ装置は、ウエハWを載置して移動可能なウエハステージWSTを含む。ウエハステージは、ウエハWを載置するウエハテーブルWTBと、ベース盤12に対し移動可能なスライダと、ウエハを下方から支持可能なウエハセンター支持部材と...

    移動体装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法

  4. 【課題】測定の空間分解能と再現性を向上させることができる近接場走査プローブ顕微鏡、走査プローブ顕微鏡用プローブおよび試料観察方法を提供する。【解決手段】近接場走査プローブ顕微鏡であって、検査対象試料上を相対的に走査する測定探針と、励起光照射系と、励起光照射系からの励起光の照射により測定探針を含む領域に近接場光を生成する近接場光生成系と、測定探針と試料との間に発生した、...

    近接場走査プローブ顕微鏡、走査プローブ顕微鏡用プローブおよび試料観察方法

  5. 【課題】構造物または地形を監視する監視センサーの視認の可否を制御することができる視野角制御部材付き監視センサーを提供する。【解決手段】構造物または地形を監視する監視センサーと、上記監視センサーの観察者側に設けられ、上記監視センサーの表示に対する視野角を制御する視野角制御部材と、を有することを特徴とする視野角制御部材付き監視センサー。

    視野角制御部材付き監視センサー

器械の細部 ページ上部に戻る