器械の細部 に関する技術一覧

「器械の細部」に関する技術の関連情報です。 「器械の細部」 の関連技術、「他に分類されない器械の細部または他の装置の類似の細部」 など、その他「器械の細部」に関する技術情報を、出願された情報を元に収録しています。 「器械の細部」の分野ページはこちら

器械の細部に所属する技術動向

器械の細部の分野に属する技術の状況としては、2016年に11件、2017年に16件の新たな技術が出願されるといった動きがあります。

また、器械の細部の分野においては特に近年他に分類されない器械の細部または他の装置の類似の細部の分野における動向が活発です。

この分野でのメインプレイヤーとしては住友重機械工業株式会社や株式会社日立ハイテクサイエンス、株式会社ミラック光学が豊富な実績を残しており、 株式会社日立製作所などは、 基本的電気素子や計算,計数といった分野も含め、 株式会社日立国際電気や株式会社日立ハイテクノロジーズといった法人と共に共同研究を行っている実績もあります。

注目の技術

器械の細部』に分類される技術のうち、技術力の高さや近年注目されている・今後活用可能性の高いと目されている技術の一覧です。

  1. 【課題】本発明は、光利用効率が高く、高速走査が可能で、検出される光に含まれるバックグランド光が少ない近接場光プローブおよびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】基板11の上に円錐体または多錐体または平面楕円体または三角形の形状をした金属の散乱体12を形成し、その散乱体の周辺に散乱体の高さと同じ膜厚を持つ金属または誘電体または半導体などの膜13を形成する。

    近接場光プローブおよびそれを用いた近接場光学顕微鏡および光記録/再生装置

  2. 【課題】本発明は、散乱体を用いたプローブにおいて、強い近接場光が発生する点以外の部分で発生する近接場光がノイズとなる。【解決手段】散乱体の強い近接場光が発生する頂点以外の部分の表面を、削る深さが近接場光のしみ出し深さ以上になるように削る。【効果】試料観察や記録マークを再生する場合のノイズを抑えることが出来る。

    近接場光発生プローブ及び近接場光発生装置

  3. 【課題】本発明の課題は、構造的に細い上に耐磨耗性が高いと共に必要な剛性を持ち、試料面に対してチップが垂直になるようにカンチレバー先端に取り付け形成され、また素材が導電性を有し、分解能が安定で測定再現性がよいプローブ顕微鏡の探針を提供することまた、溝部側壁位置を測定できるプローブを提供することにある。【解決手段】本発明のプローブ顕微鏡用の探針は、カンチレバー先端部にFI...

    走査型プローブ顕微鏡用探針

  4. 【課題】構成が簡単で、的確な試料表面の検出が可能なカンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法を提供する。【解決手段】カンチレバーアレイにおいて、試料1の表面2上を摺動する多数のコンプライアントなカンチレバー3...

    カンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法

  5. 【課題】ステージの移動に伴う振動や揺れの影響を軽減することが紫外光を利用した露光装置内の紫外光路で移動するウエハ及び/またはレチクル近傍に対する有効なパージ手段を開発する。【解決手段】ガイド面6を有する基準構造体4と、該ガイド面に沿って移動可能な可動部3と、該可動部側に設けられた可動子2と、該ガイド面に沿って移動可能な固定子1,1′とを有するアクチュエータ8とを備え、...

    移動装置、ステージ及び露光装置

新着の技術

器械の細部』に分類される技術のうち、最近新たに出願された技術の一覧です。

  1. 【課題】光の照射位置を安定化することができる光学装置、及びその除振方法を提供する。【解決手段】本発明の一態様にかかる光学装置は、光源用チャンバ10と、光源用チャンバ10内に配置されたEUV光源12と、光学系用チャンバ20と、光学系用チャンバ20内に配置され、ベローズ50を介して光学系用チャンバ20内に入射した光を対象物に導く光学系30と、光学系用チャンバ20内に配置さ...

    光学装置、及び除振方法

  2. 【課題】すべりや摩耗に起因するテーブル体の移動精度の悪化が生じない画期的なテーブル装置の提供。【解決手段】基体1と、この基体1に対して移動するテーブル体2と、前記テーブル体2を移動させる駆動機構3と、前記基体1及び前記テーブル体2の間に設けられ、前記テーブル体2を縦湾曲移動させるための縦湾曲ガイド機構4とを備えたテーブル装置であって、前記駆動機構3は、固定部材5と該固...

    テーブル装置

  3. 【課題】小型かつ軽量で耐振動性に優れており、かつ防水性を確保可能なケーブル接続構造及び車載用センサを提供する。【解決手段】複数のケーブル2を基板3に接続するケーブル接続構造1であって、基板3に電気的に接続されている基板接続部4aと、ケーブル2の導体12a,14aが溶接又は加締めにより接続されており基板3の表面に対して平行に形成されているケーブル接続部4bと、を一体に有...

    ケーブル接続構造及び車載用センサ

  4. 【課題】輝度を向上させることができる面状照明装置を提供すること。【解決手段】実施形態の面状照明装置は、導光板と、光源とを備える。導光板は、光が導入される入光端面と入光端面の反対側の端面である反対端面との間に貫通孔が形成される。光源は、入光端面側に設けられ、反対端面側へ向けて光を発する。また、導光板は、反対端面側から貫通孔に向かうほど厚さが薄い部位を有する。

    面状照明装置

  5. 【課題】急峻な段差構造を有する試料の表面の正確なパターン形状を得ることができるとともに、信頼性を向上させることができ、かつ低コスト化を図ることができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】本発明による走査型プローブ顕微鏡1は、観察ユニット2と、観察ユニット2に設けられ、三次元方向に伸縮可能なスキャナ3と、スキャナ3に設けられたカンチレバー4と、カンチレバー4の先...

    走査型プローブ顕微鏡

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