器械の細部 に関する技術一覧

「器械の細部」に関する技術の関連情報です。 「器械の細部」 の関連技術、「他に分類されない器械の細部または他の装置の類似の細部」 など、その他「器械の細部」に関する技術情報を、出願された情報を元に収録しています。 「器械の細部」の分野ページはこちら

器械の細部に所属する技術動向

器械の細部の分野に属する技術の状況としては、2015年に14件、2016年に11件の新たな技術が出願されるといった動きがあります。

また、器械の細部の分野においては特に近年他に分類されない器械の細部または他の装置の類似の細部の分野における動向が活発です。

この分野でのメインプレイヤーとしては住友重機械工業株式会社や株式会社日立ハイテクサイエンス、株式会社ミラック光学が豊富な実績を残しており、 株式会社日立製作所などは、 基本的電気素子や計算,計数といった分野も含め、 株式会社日立国際電気や株式会社日立ハイテクノロジーズといった法人と共に共同研究を行っている実績もあります。

注目の技術

器械の細部』に分類される技術のうち、技術力の高さや近年注目されている・今後活用可能性の高いと目されている技術の一覧です。

  1. 【課題】本発明は、光利用効率が高く、高速走査が可能で、検出される光に含まれるバックグランド光が少ない近接場光プローブおよびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】基板11の上に円錐体または多錐体または平面楕円体または三角形の形状をした金属の散乱体12を形成し、その散乱体の周辺に散乱体の高さと同じ膜厚を持つ金属または誘電体または半導体などの膜13を形成する。

    近接場光プローブおよびそれを用いた近接場光学顕微鏡および光記録/再生装置

  2. 【課題】本発明は、散乱体を用いたプローブにおいて、強い近接場光が発生する点以外の部分で発生する近接場光がノイズとなる。【解決手段】散乱体の強い近接場光が発生する頂点以外の部分の表面を、削る深さが近接場光のしみ出し深さ以上になるように削る。【効果】試料観察や記録マークを再生する場合のノイズを抑えることが出来る。

    近接場光発生プローブ及び近接場光発生装置

  3. 【課題】本発明の課題は、構造的に細い上に耐磨耗性が高いと共に必要な剛性を持ち、試料面に対してチップが垂直になるようにカンチレバー先端に取り付け形成され、また素材が導電性を有し、分解能が安定で測定再現性がよいプローブ顕微鏡の探針を提供することまた、溝部側壁位置を測定できるプローブを提供することにある。【解決手段】本発明のプローブ顕微鏡用の探針は、カンチレバー先端部にFI...

    走査型プローブ顕微鏡用探針

  4. 【課題】構成が簡単で、的確な試料表面の検出が可能なカンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法を提供する。【解決手段】カンチレバーアレイにおいて、試料1の表面2上を摺動する多数のコンプライアントなカンチレバー3...

    カンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法

  5. 【課題】ステージの移動に伴う振動や揺れの影響を軽減することが紫外光を利用した露光装置内の紫外光路で移動するウエハ及び/またはレチクル近傍に対する有効なパージ手段を開発する。【解決手段】ガイド面6を有する基準構造体4と、該ガイド面に沿って移動可能な可動部3と、該可動部側に設けられた可動子2と、該ガイド面に沿って移動可能な固定子1,1′とを有するアクチュエータ8とを備え、...

    移動装置、ステージ及び露光装置

新着の技術

器械の細部』に分類される技術のうち、最近新たに出願された技術の一覧です。

  1. 技術 冷凍装置

    【課題】回路素子を冷媒で冷却する冷却器を備えた冷凍装置において、簡略な構造で結露の防止を図る。【解決手段】冷媒が流れて冷凍サイクルを行う冷媒回路(10)に接続され、冷媒回路(10)の制御、又は電力供給に用いる回路素子(50)を冷媒によって冷却する冷却器(31)を設ける。熱伝導率が電気的又は磁気的に可変に構成され、冷却器(31)の内部又は冷却器(31)と回路素子(50)...

    冷凍装置

  2. 【課題】処理装置においてテーブルを安定して往復移動させる。【解決手段】処理対象物又は処理対象物を処理する処理用部材が取り付けられるテーブル2と、テーブル2が接続され直線運動を行う可動部5と、可動部5を直線運動させる駆動機構4と、駆動機構4を駆動する駆動源3と、直線運動の方向に可動部5を案内する案内部材10と、可動部5の一方側5Rに接続され駆動機構4及び案内部材10の周...

    処理装置及びテーブル移動装置

  3. 【課題】様々な表面形状の設置対象に対して容易に設置可能なセンサモジュール、および当該センサモジュールを含む無線センサ装置を提供する。【解決手段】センサモジュール1は、センサ部10と、センサ部10を格納するケース20と、を備えるセンサモジュールである。ケース20は、センサモジュール1の設置対象に接触するための接触面28Aを含み、弾性体からなる接触部28と、接触部28の接...

    センサモジュールおよび無線センサ装置

  4. 【課題】組立作業が比較的容易で、かつ、移動体をガイドする軸が移動体に干渉するのを抑止できるステージ装置を提供する。【解決手段】ステージ装置は、盤面に配置される第1支持部、第2支持部、第3支持部13および第4支持部と、第1支持部および第2支持部に支持され、Y軸方向に延びる第1Y軸ガイドと、第3支持部13および第4支持部に支持され、Y軸方向に延びるよう設けられる第2Y軸ガ...

    ステージ装置

  5. 【課題】スライダがガイドに接触するかじりが生じるのを抑止できる技術を提供する。【解決手段】接続ユニット50は、X軸方向に移動するX軸スライダをガイドするX軸ガイドと、Y軸方向に移動するY軸スライダと、を接続する。X軸ガイドは、Y軸スライダに荷重を支持される。接続ユニット50は、X軸ガイドに接続される第1ベース52と、Y軸スライダに接続される第2ベース60と、第1ベース...

    接続ユニットおよびステージ装置

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