コンデンサー に関する技術一覧

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技術一覧

検索結果:1〜50件を表示(1,685件中)1/34ページ目

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  1. 【課題】偏光ビームスプリッタから反射した結像光の有効解像度を高める。【解決手段】偏光ビームスプリッタプレート104及びかかるビームスプリッタプレートを組み込むシステムについて記載する。偏光ビームスプリッタプレートは、第1基板と、第1基板上に配置される多層光学フィルム反射性偏光子106と、を含む。偏光ビームスプリッタプレートは、第1最外主表面と、第1最外主表面と約20°...

    高解像度画像を提供する偏光ビームスプリッタプレート及びかかる偏光ビームスプリッタプレートを利用するシステム

  2. 【課題・解決手段】計測ツールで使用するための光合成器(500)が、複数の光源(LED1、LED2、LED3、LED4、LED5)、第1のフィルタ(502)、及び第2のフィルタ(504)を含む。第1のフィルタは、複数の光源のうちの第1の光源から生成された光を実質的に反射し、かつ、複数の光源のうちの第2の光源から生成された光を実質的に透過させるように設計される。第2のフィ...

    複数の光源の波長合成

  3. 【解決手段】合成光学系ユニットは、偏光ビームスプリッタと、熱伝導部材とを具備する。前記偏光ビームスプリッタは、第1の面を含む第1プリズムと、前記第1の面の面積と異なる面積の第2の面を含む第2プリズムとを有し、それら第1の面と第2の面とが貼り合わせられて重なる重なり面を有する。前記熱伝導部材は、前記第1の面および前記第2の面のうち大きい面積を有する面内の領域のうち、前記...

    合成光学系ユニットおよびプロジェクタ

  4. 【課題】基板上に形成される投影像に対する漏れ光の影響を低減し投影像を好適に投影する。【解決手段】光軸BX2を中心点とした円形の結像視野を有する屈折レンズ群71aと、反射光学部材72と、第1の偏光ビームスプリッタPBS1と、第2の偏光ビームスプリッタPBS2と、第1の偏光ビームスプリッタPBS1から射出して第2の偏光ビームスプリッタPBS2に入射する結像光束の偏光状態を...

    投影光学装置、走査露光装置、及びデバイス製造方法

  5. 【課題・解決手段】本発明は特にマイクロリソグラフィ投影露光装置用の光学系に関し、この光学系は、光学系の光線経路内に配置され、光学系の作動中に生じる収差を補正するために移動可能な第1反射面(311,411,511)と、光学系の光線経路内に配置される少なくとも1つの第2反射面(312,412,512)とを有し、第1反射面(311,411,511)の移動中、第1反射面(31...

    特にマイクロリソグラフィ投影露光装置用の光学系

  6. 【課題】 光量損失を良好に抑えつつ、周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成することのできる照明光学装置。【解決手段】 本発明の照明光学装置は、入射光束に基づいて所定面に輪帯状の光強度分布を形成するための光束変換素子(50)を備えている。光束変換素子は、旋光性を有する光学材料により形成されて、入射光束に基づいて輪帯状の光強度分布のうちの第1円弧状領域分布を形成する...

    光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法

  7. 【課題】 照明光の損失を低減して様々な有効光源分布を形成する。【解決手段】 物体を照明する照明光学系であって、光源からの光束を整形する第1光学系、第2光学系と、オプティカルインテグレータと、第1光学系からの光束と第2光学系からの光束をオプティカルインテグレータの入射面で重ね合わせる合成光学系と、を有し、第1光学系は、第1光学系によってオプティカルインテグレータの入...

    照明光学系、露光装置、及び、物品製造方法

  8. 技術 露光装置

    【課題】露光装置において、千鳥配列された複数の投影光学系を用いる場合に、露光領域の継ぎ目に起因する露光むらを低減することができるようにする。【解決手段】露光装置100は、照明光源2と、第1の軸線を中心として千鳥配列された複数の開口部が形成され、複合開口領域と、単独開口領域と、が交互に形成されている視野絞り3と、露光光L2A、L2Bによる光像を、それぞれ被露光体6に投影...

    露光装置

  9. 【課題】様々な特性を有するマスクパターンを忠実に転写するために必要な適切な照明条件、たとえば二次光源の光強度分布や偏光状態などに関して多様性に富んだ照明条件を実現する。【解決手段】被照射面(M)を照明する照明光学装置の瞳面またはその近傍に、光軸AXを含む中心領域に位置する光強度分布と光軸から間隔を隔てた複数の周辺領域に位置する光強度分布とを有する照明瞳分布を形成するた...

    照明光学系、露光装置およびデバイス製造方法

  10. 【課題】空間光変調素子の高効率化や長寿命化を図ることができる露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】露光装置100は、光源からの紫外光を集光するマイクロレンズがアレイ状に配列されたマイクロレンズアレイ142と、マイクロレンズアレイ142によって集光された紫外光を変調する複数のマイクロミラーが隙間を介してアレイ状に配列された空間光変調部(デジタル・マイクロミラー・デ...

    露光装置及び露光方法

  11. 【課題】強い入射角依存性を有するバンドパスフィルタを使用する場合であっても、不所望な波長の光を出してしまう可能性を極小化できる発光ダイオードランプを提供する。【解決手段】発光ダイオード20と、一部を欠いた回転放物面で規定された反射面34および光を外部へ放射する開口36を有するリフレクタ30と、発光ダイオード20の発光中心Cが回転放物面の焦点Fの位置と一致するように発光...

    発光ダイオードランプ

  12. 【課題・解決手段】メタレンズ及びこれを組み込む技術が開示される。幾つかの実施形態においては、メタレンズは、第1領域と第2領域を含むハイブリッド・マルチ領域・コリメート・メタレンズの形態にあり、ハイブリッド・マルチ領域・コリメート・メタレンズは、そこに入射した(例えば、可視)光をコリメートするように構成される。幾つかの場合、第1領域は、第1領域がサブ波長・高コントラスト...

    コリメート・メタレンズ及びこれを組み込む技術

  13. 【課題・解決手段】光源と、光源に対して作用可能に配置されるフレネル光学系とを含む発光ユニットが開示される。当該フレネル光学系は、マイクロプリズムをそれぞれ含む互いに離間した上面と下面を含む。当該下面は前記光源に最も近く、当該光源からの発散光を受光する。当該下面は、当該発散光を第一の方向転換光として前記上面に案内する。当該上面は、次に当該第一の方向転換光から均一な放射発...

    フレネル光学系を有する発光ユニットおよびこれを用いる発光装置および表示システム

  14. 【課題・解決手段】一つの態様では光モジュールが開示され、これは近位末端から遠位末端へ延びる中空チャンバーを提供するハウジング、および中空チャンバー内に位置するレンズを含み、ここでレンズは光源から光を受ける入力面、および光がレンズ本体を通って出る出力面を備えたレンズ本体を有し、該レンズはさらに該レンズ本体を少なくとも部分的に囲むカラーを備える。光モジュールはさらに、ハウ...

    高出力LED用の埋め込み可能モジュール

  15. 【課題】光量損失を抑えつつ、ほぼ単一方向に偏光方向を有する直線偏光状態の入射光を、ほぼ周方向に偏光方向を有する周方向偏光状態の光に変換するための構造を備えた照明光学装置を提供する。【解決手段】照明光学装置は、照明光を供給するための光源と、該光源と被照射面との間の光路中に配置された、照明光の偏光状態を所定の偏光状態に変換する偏光変換素子10を備える。偏光変換素子は、旋光...

    照明光学装置、露光装置、および露光方法

  16. 【課題】より省スペースで照射光を平行化し、且つ照射光による照射面における照度を均一化する光学系装置、両凸レンズを提供する。【解決手段】光源より照射された照射光を平行化し且つ照射光による照射面における照度を均一化する光学系装置1であって、照射光の照射方向に設けられた両凸レンズ20であって記照射方向における入射側に位置する第1面21と、照射方向における出射側に位置する第2...

    光学系装置、両凸レンズ

  17. 【課題・解決手段】マイクロリソグラフィ投影装置の照明システムを動作させる方法によれば、複数のマイクロミラー(56)によって形成される変調面(222)を有する空間光変調器(52)が提供される。各マイクロミラーは、マイクロミラーごとに個々に変更することができる向きを有するミラー面(224−1−1〜224−4−9)を備える。マイクロミラーのうちの少なくとも1つについて、ミラ...

    マイクロリソグラフィ投影装置を動作させる方法およびそのような装置の照明システム

  18. 【課題・解決手段】車両用ヘッドアップディスプレイ装置(1)は、光源装置(11)と、表示パネル(12)と、照明光学系(13)と、を備える。前記表示パネル(12)は透過型である。前記照明光学系(13)は、前記光源装置(11)からの照明光(X0)を前記表示パネル(12)に導く。前記照明光学系(12)は、レンズモジュール(131)を含む。前記レンズモジュール(131)は、前記...

    車両用ヘッドアップディスプレイ装置

  19. 【課題】鏡筒内に真空紫外光を放射するショートアークフラッシュランプを用いて、光利用効率が高く、照度均一性が向上した、及びこれを備えた露光装置を提供する。【解決手段】鏡筒2内には、集光鏡4からの反射光を平行化し照度を均一化する光学系5を備え、光学系は、ランプ3と光照射窓6の間に同一光軸上に沿って直線状に配置された複数のレンズ部材51〜55からなり、鏡筒は複数の鏡筒ユニッ...

    光照射装置及びこれを備えた露光装置

  20. 【課題】光学要素の状態を推定して、光学要素の欠陥を検出する。【解決手段】検査装置は、光が入射可能な入射領域に配置された複数の光学要素を備える空間光変調器を検査する検査装置であって、入射領域のうちの少なくとも一部である対象領域に検査光を照射する照射装置と、対象領域への検査光の照射により発生する回折光を検出する検出器と、検出器の検出結果を用いて、少なくとも一つの光学要素の...

    検査装置及び検査方法、露光装置及び露光方法、並びに、デバイス製造方法

  21. 【課題】平行度が高くかつ均一性が高い光を至近距離から照射でき、製造コストおよびメンテナンスコストが安価であるソーラシミュレータを提供する。【解決手段】長尺のキセノンフラッシュランプと、 前記キセノンフラッシュランプからの光を平行光に変換する第1の反射ミラーと、 前記反射ミラーからの平行光を透過するエアマスフィルタと、 前記エアマスフィルタからの平行光を透過及び反...

    ソーラシミュレータ

  22. 【課題】凸レンズからなる投影レンズと光源を備えたランプユニットにおいて、投影レンズを成形するとき、ヒケを回避するために成形時間が長くなってしまった。そこで、ヒケを生じにくくしつつ成形時間を短縮し、生産性を高めることを目的とする。【解決手段】凸レンズからなる投影レンズ3の光軸L上にて、後方の焦点F位置に光源4を配置する。投影レンズ3には光軸Lに沿って貫通する貫通孔5を設...

    ランプユニットのレンズ構造

  23. 【課題】少ない部品点数でありながら、被照明領域における照度分布を均一化できる照明装置を提供する。また、照明装置を備えるプロジェクターを提供する。【解決手段】第1の光線束を射出する第1の発光素子を備える光源装置と、第1の光線束が入射する第1のレンズ面を備える光成形光学系と、を備え、第1のレンズ面が、xとyとを変数とする所定の式で表される第1の自由曲面を有する照明装置である。

    照明装置及びプロジェクター

  24. 【課題】本発明は、ヘッドマウントディスプレイ装置を提供する。【解決手段】ヘッドマウントディスプレイ装置は、表示器、第一導波素子及び第二導波素子を含む。映像光束は、投射目標に投射する。第一導波素子は、複数の第一分光素子を含む。表示器からの映像光束は、第一入光面を経由して第一導波素子に入射する。映像光束は、第一導波素子内において第一絞りで収束する。映像光束は、第一出光面を...

    ヘッドマウントディスプレイ装置

  25. 【課題・解決手段】マイクロリソグラフィ投影装置(10)の照明系は、面(S)上の投影光の照射分布を調節する照射調節ユニット(52)を含む。照射調節ユニット(52)は、光偏向要素(55)のアレイを有する空間光変調器(54a,54b;154)と、投影光を変調光路(59a,59b;159)に沿って伝播する変調光(58a,58b;158)及び非変調光路(63;163a,163c...

    マイクロリソグラフィ投影装置の照明系及びそのような系内の照射分布を調節する方法

  26. 【課題】照明の最適化を可能にし、特に、異なる照明チャネルを通して案内される照明光の照明視野内での最適な重ね合わせを可能にする照明光学ユニットを提供する。【解決手段】EUV投影リソグラフィのための照明光学ユニットは、リソグラフィマスクを配置することができる照明視野に向けて照明光(16)を案内するように機能し、複数の個々のミラー(26)を有する第1のファセットミラーを有し...

    EUV投影リソグラフィのための照明光学ユニット

  27. 【課題】光出射範囲の輝度の均等化を容易に実現できる照明モジュールの新たな構成を提供する。【解決手段】本発明の照明モジュール10は、入射された放出光11Lに基づいて出射光13Lを出射する第1の主面13A及び第1の主面とは反対側に設けられた第2の主面13Bを有し、内側面13Eaを備える凹部13Eを第2の主面13Bに備えた導光板13と、凹部13Eの内側面13Eaに放出光11...

    照明モジュール及び照明装置

  28. 【課題】複数のLED素子を含み、位置ずれに伴う照度の低下を抑制することのできる光源装置を実現する。【解決手段】光源装置は、複数の紫外LED素子が配置された光源部と、光源部から射出された光をそれぞれコリメートする第一光学系と、第一光学系から射出された複数の光を集光する第二光学系と、光源部と第一光学系の少なくとも一方に備えられた、光源部と第一光学系との相対的な位置関係を調...

    光源装置の光軸調整用器具、光源装置、及び光源装置の光軸調整方法

  29. 【課題】 所望のビームプロファイルを有する瞳強度分布を形成することのできる照明光学系。【解決手段】 光源からの光により被照射面を照明する照明光学系は、所定面に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有し、照明光学系の照明瞳に光強度分布を可変的に形成する空間光変調器と、所定面と光学的に共役な面を含む共役空間に配置されて、入射光束に発散角を付与して射出する発散角付与...

    照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法

  30. 【課題】投影対物器械の物体面に配置された物体視野を投影対物器械の像面に配置された像視野上に結像するための反射屈折投影対物器械を提供する。【解決手段】反射屈折投影対物器械(100)は、物体面からのパターンを第1の中間像(IMI1)内に結像させるように構成されて第1の瞳表面(P1)を有する第1の対物器械部(LG1)と、第1の中間像(IMI1)を第2の中間像(IMI2)内に...

    瞳ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置及び方法

  31. 【課題・解決手段】本発明は、例えば、スポットライトの一部としての使用のための、光ビーム成形装置を提供する。コリメータは、光源から光を受け取り、よりコリメートされた出力を供給するためのものである。光学プレートは、前記コリメータの出力部に設けられ、入力側にレンズのアレイを有すると共に、反対側の出力側に対応するレンズのアレイを有する。レンズは、ケーラのレンズの対のように構成...

    光ビーム成形装置、及び前記光ビーム成形装置を用いるスポットライト

  32. 【課題・解決手段】レンズ(10)は、シリンドリカル形状で凹面形状をなす入射面(11)と光軸(10a)に対して凸面形状をなす出射面(12)とを有する。光源(20)は、垂直方向に大きな広がり角、水平方向に垂直方向の広がり角より小さな広がり角を有する。光源(20)は、レンズ(10)の垂直方向の入射面側焦点距離の位置に配置する。光源(20)の水平方向をレンズ(10)のシリンド...

    平行光発生装置

  33. 【課題・解決手段】本発明は、ミラー、特にマイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーを検査するための検査装置および検査方法に関し、検査装置は計算機合成ホログラム(CGH)を備え、参照波と計算機合成ホログラムによりミラーの上に指向されるテスト波との干渉重畳によって、ミラーの少なくとも一部分で検査を実行する。ここで、計算機合成ホログラム(CGH)(120,320)は、装置の作...

    ミラー検査用の検査装置および方法

  34. 【課題】低コストかつ省スペースでありながらも、照明領域を規定する遮光板の形状を精度良く目標形状に整形する技術を提供する。【解決手段】光源からの光で被照明面を照明する照明光学系が提供される。照明光学系は、前記光源と前記被照明面との間に設けられ、前記被照明面における照明領域の形状を規定する開口の少なくとも一部の形状を形成する遮光板と、前記遮光板に力を加えて該遮光板を変形さ...

    照明光学系、露光装置、および物品製造方法

  35. 【課題】入射光の照射範囲を広げることができ、小型に形成される異型レンズを提供する。【解決手段】異型レンズ400は、入射部410と出射部430とを有する。入射部410は、入射光の光軸と直交する第1軸(x軸)方向を長手方向として、入射光が出射される方向に向けて凹状に形成され、第1軸に対して直交する断面における凹縁413が円弧状に形成される長尺凹状部412を有する。出射部4...

    光源装置及び投影装置

  36. 【課題・解決手段】照明光学系は、レンズ群と絞りとプリズムユニットを備える。プリズムユニットは、第1〜第3プリズムと、正パワーを有する回転非対称な曲面反射面を有する。曲面反射面は条件式:PYa/PZa<PYb/PZb(レンズ群及び絞りの中心を通る光線がプリズムユニット内で形成する面を基準面とし、基準面と画像表示面とが交わる線上において、レンズ群に最も近い側を照明する光束...

    照明光学系及びプロジェクター

  37. 【課題】最小線幅の増大を抑制しつつ基板上に形成されるパターンの線幅のばらつきを低減できる照明光学系を提供すること。【解決手段】本発明は、投影露光装置において原版9光を照明するための照明光学系10に関する。照明光学系10は、第1波長P1の光と該第1波長よりも長波長である第2波長P2の光とが混在する光を射出する光源1と、光源1からの光を光入射面で受け、光射出面側に2次光源...

    照明光学系、露光装置、及び物品の製造方法

  38. 【課題】本発明は、波長変換層と外周部材(基材)との熱抵抗のばらつきを抑制することで、波長変換効率に優れた波長変換素子を提供する。上記の波長変換素子を備えた光源装置を提供する。上記の光源装置を備えたプロジェクターを提供する。【解決手段】本発明の波長変換素子は、平面視多角形状の波長変換層と、波長変換層の励起光の入射方向に重なることなく波長変換層の周囲に設けられる複数の基材...

    波長変換素子、光源装置及びプロジェクター

  39. 【課題】様々な方向に延在するパターンの解像度を高めることができる露光装置を提供することである。【解決手段】露光装置(100)は、照明光を偏光させる偏光部材(125)と、少なくとも1つの開口部を有するフィルタ(130)とを備える。偏光部材は、第1偏光ユニット(1110)と、第1偏光ユニットを囲むように配置された第2偏光ユニット(1120)とを含む。第2偏光ユニットは、第...

    露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法

  40. 【課題】被照明面において円弧状の領域を照明するのに有利な照明装置を提供する。【解決手段】被照明面と光学的に共役な面に、第1方向に沿って長手方向を有し、前記第1方向に直交する第2方向に沿って短手方向を有する矩形状の照明領域を形成する光学系を有し、円弧状の開口をカバーする前記照明領域を形成する第1インテグレータ及び第2インテグレータと、を含み、前記第1インテグレータは、前...

    照明装置、露光装置及び物品の製造方法

  41. 【課題】マイグレーションによる金属反射層の反射効率の低下が生じにくい波長変換部材を提供する。【解決手段】波長変換部材10は、基板11上に、金属反射層13、増反射層14、蛍光体層15および反射防止層16がその順で形成されている。増反射層14は、金属反射層13が形成された領域の全体に形成され、基板11側から順に低屈折率層14aおよび高屈折率層14bを有する。蛍光体層15は...

    波長変換部材、プロジェクタおよび照明装置

  42. 【課題・解決手段】ランプユニット(60)と、p行、q列のマトリックス状に配列された複数のレンズ素子(65a)を有するフライアイレンズ(65)と、反射面の形状を変更するミラー変形ユニット(70)を備える平面ミラー(68)と、p−2〜p+2行、q−2〜q+2列のマトリックス状に配列され、それぞれ同一の光透過率分布を持った複数のセル(91)を有し、ランプユニット(60)とフ...

    露光用照明装置、露光装置及び露光方法

  43. 【課題】照度ムラの補正性能の向上に有利な技術を提供する。【解決手段】光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系が提供される。照明光学系は、光源と被照明面との間に配置されたオプティカルインテグレータと、オプティカルインテグレータに入射される光の強度を調整する調整部を有する光学フィルタとを有する。オプティカルインテグレータは、入射した光を内面で反射させるロッド型オプ...

    照明光学系、リソグラフィ装置、及び物品製造方法

  44. 【課題】偏光ビームスプリッタにより照明光束と投影光束とを分離する場合に、照明光学系及び投影光学系の物理的な干渉を抑制しつつ、容易に配置することができる偏光ビームスプリッタ等を提供する。【解決手段】反射型のマスクMを保持するマスク保持ドラム21と、入射する照明光束EL1をマスクMへ向けて反射する一方で、反射された投影光束EL2を透過するビームスプリッタPBSと、照明光束...

    偏光ビームスプリッタ、基板処理装置、デバイス製造システム及びデバイス製造方法

  45. 【課題】小型でかつ低コストで製造可能な、HUDシステムおよびHUD用光源装置を提供する。【解決手段】ヘッドアップディスプレイ装置は、投射される映像光を生成する映像表示装置と、前記映像表示装置からの映像光に所定の補正を行う光学系と、前記光学系により補正された映像光を反射してフロントガラス、または、コンバイナ上に投射する凹面ミラーと、を備えており、前記映像表示装置は、固体...

    ヘッドアップディスプレイ装置およびその映像表示装置

  46. 【課題】 ロッドレンズの低損失性を利用しながら、他方で柔軟性不備の欠点を補いながら光合成を実現する。【解決手段】 複数個の光源(13a,13b)からの出力光を合成して照射光として出力するための光合成照射構造(51)において、光の入射面と射出面をそれぞれ長さ方向に有する1個のロッドレンズ(53)と、光の入射面と射出面をそれぞれ長さ方向に有する光ファイバー束(55)と...

    光合成照射構造および光合成照射装置

  47. 【課題・解決手段】コリメータ110と第1の小型レンズアレイ130、430及び第2の小型レンズアレイ140、440とを有する光学デバイス100が開示される。前記第1の小型レンズアレイ及び前記第2の小型レンズアレイは、光源122の投射150が、集束されていない光を発するように構成されている前記第2の小型レンズアレイ上に集束されるように、互いに位置合わせされ配されている同じ...

    コリメータ及び小型レンズアレイを有する光学デバイス

  48. 【課題・解決手段】光エネルギーの一部を後に使用するようにリサイクルすることによる光の効率的利用のためのプロジェクションシステムおよび/または方法について開示する。一実施形態では、プロジェクションディスプレイシステムについて開示し、これは、光源と、インテグレータロッドに沿って光を反射/リサイクルし得る反射面を有する近位端において光源からの光を受けるインテグレータロッドと...

    高ダイナミックレンジ画像プロジェクタのための方法およびシステム

  49. 技術 投光装置

    【課題】 レーザ光を出射する発光素子を備える投光装置を提供する。【解決手段】 投光装置は、レーザ光を出射する発光素子と、発光素子から出射された光が入射され、該光の少なくとも一部を蛍光に変換して出力する蛍光素子と、蛍光素子から出力された光が入射される第1光学系と、第1光学系から出射された光が入射され、該光を平行光にして装置の外部に向けて出射する第2光学系と、を備え、...

    投光装置

  50. 【課題・解決手段】基板(8)によって支持されたプレート(4)を備えるリフレクタ(2)であって、このプレートが反射面(5)を有し、かつ接着剤フリー接合によって基板に固定されており、リフレクタに冷却チャネルアレイ(10)が設けられている、リフレクタ。冷却チャネルアレイのチャネル(16)は、基板の表面における開チャネルから形成され、この開チャネルは、プレートによって閉鎖され...

    リフレクタ

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