炉内の装入物のための支持装置,隔壁,または類似のもの に関する技術一覧

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  1. 【課題】流動媒体の性状変化を防止しつつ、低コストで流動媒体を移動させる。【解決手段】流動層システム100は、第1側壁212aに設けられた第1投入口212bと、第2側壁212cに設けられた第1排出口212dとを有する第1流動層室212と、第1流動層室内を上流室214aと下流室214bとに区画する仕切板214と、上流室に第1流量で流動化ガスを供給し、下流室内の流動層の最大...

    流動層システム

  2. 技術 加熱装置

    【課題】温度分布の均一性及びクリーン度の安定性に優れ、少なくとも被加熱物の幅方向サイズの変更に容易に対応することのできる加熱装置を提供する。【解決手段】加熱装置100は、距離を隔てて対向配置 された複数の加熱用壁体10L,10Rに設けられた発熱手段である複数の電気ヒータ11と、複数の加熱用壁体10L,10Rの対向領域に上下方向に距離を隔てて棚状に配置された複数の熱放射...

    加熱装置

  3. 【課題・解決手段】連続式熱処理炉(HF1)では、搬送方向(b)に沿って、ワークの熱処理を行なう熱処理領域が設けられている。ワークは、熱処理領域(H)を搬送されながら熱処理される。ワークを搬送するためのワーク搬送機構(100)は、上方に開口部を有する箱状のベースフレーム(1)と、多孔質プレート(2)と、多孔質プレート(2)がベースフレーム(1)の開口部を覆うことにより形...

    連続式熱処理炉、およびそれを用いたセラミック電子部品の製造方法

  4. 【課題】発泡剤を用いることなく耐火物内部に空隙(気孔)を均一に分散させることができる断熱不定形耐火物の提供。【解決手段】耐火材料と添加剤との配合物に水を添加してなる断熱不定形耐火物において、前記添加剤として、リグニンを溶出する材料を前記耐火材料に対して0.3〜5質量%、界面活性剤を前記耐火材料に対して0.001〜0.2質量%添加し、水の添加量は、前記配合物に対して35...

  5. 【課題】棚板に貫通孔を配置せずに、棚板を支柱に取り付ける技術を提供する。【解決手段】熱処理用棚10は、平板形状を有する棚板30と、棚板30を下方から支持する支持部分24と、支持部分24の上方に位置しており棚板30の上面に対向する対向部分22と、を有する支柱20と、支持部分24と対向部分22との間に配置されている棚板30の上下方向の一方の面から突出しており、棚板30の平...

    熱処理用棚

  6. 【課題・解決手段】可撓性を有する遠赤外線ヒータを、Ac3変態点以上950℃以下の加熱時にも撓ませることなく備える熱間プレス用鋼板の遠赤外線式多段型加熱炉を提供する。周囲を取り囲んで配置される断熱材により形成され、熱間プレス用鋼板を収容する複数段の加熱ユニットと、加熱ユニットの上方および下方に配置される遠赤外線ヒータとを有する遠赤外線式多段型加熱炉である。遠赤外線ヒータ...

    熱間プレス用鋼板の遠赤外線式多段型加熱炉

  7. 【課題・解決手段】本発明は、遠赤外線式多段型加熱炉に収容された熱間プレス用鋼板を、平面投影面積が小さく、熱変形が抑制された鋼板支持部材により長期間にわたって安定して支持することを課題とする。本発明の遠赤外線式多段型加熱炉は、アルミニウム系めっき鋼板又は亜鉛系めっき鋼板からなる熱間プレス用鋼板を収容するとともに上下方向へ複数段設けられる加熱ユニットおよび天井ユニットと、...

    熱間プレス用鋼板の遠赤外線式多段型加熱炉

  8. 【課題・解決手段】本発明は、炉体や炉体各部の熱変形を抑制する熱間プレス用鋼板の遠赤外線式加熱炉を提供する。遠赤外線式加熱炉(10)は、熱間プレス用鋼板を収容する空間の水平面の周囲を包囲して配置される断熱材からなるブロックと、熱間プレス用鋼板の上方および下方に配置されて熱間プレス用鋼板を加熱する遠赤外線ヒータとを有する加熱ユニット(13−1)〜(13−6)および天井ユニ...

    熱間プレス用鋼板の遠赤外線式加熱炉

  9. 【課題】基板の表面へのパーティクルの付着を低減することができる半導体装置の製造方法を提供することを提供すること。【解決手段】本実施形態の半導体装置の製造方法は、磁性体膜が形成された基板を処理容器内に搬入する工程と、前記処理容器内の圧力を大気圧よりも低い第1の圧力に調整する工程と、前記処理容器内の圧力を前記第1の圧力から前記第1の圧力よりも高い第2の圧力へ調整する工程と...

    半導体装置の製造方法

  10. 【課題】被処理品を均一に加熱脱脂することで、焼結品の品質バラつきを低減する。【解決手段】真空脱脂焼結炉1において、処理容器20と、非通気性の断熱材3と、真空チャンバー4と、処理容器支持部6と、ガス供給機構7とを備え、断熱材3は、第1の断熱材3aと、第2の断熱材3bとを有し、第2の断熱材3bは、処理容器20が存在する空間S1と処理容器20が存在しない空間S2に分割するよ...

    真空脱脂焼結炉

  11. 【課題】種々の被処理物に対応した急速昇降温を可能とする。【解決手段】熱処理炉10では、第1ヒーター21aにより第1空間11aの雰囲気を加熱し、第2ヒーター21bにより第2空間11bの雰囲気を第1空間11aよりも高温となるように加熱した状態で、第1搬送ローラー20aにより第1空間11a内を搬送された被処理物96を、可変速搬送ローラー20cにより第1,第2搬送ローラー20...

    熱処理炉及び熱処理方法

  12. 【課題】電源装置からの電気供給量の増加を抑えつつ、装置内の温度を短時間で2500 ℃以上の超高温にする。【解決手段】熱処理炉2内には、ヒーター4と、ヒーター4の内側に隔壁5とが配置されている。隔壁5の内側にるつぼ6が配置されている。るつぼ6内には被処理物100が配置されている。隔壁5はるつぼ6及び被処理物100を全包囲している。隔壁5はガス不透過性である。隔壁5内には...

    熱処理装置

  13. 【課題】簡素な温度制御構成を有しつつも、加熱開始から温度安定までの収束期間を短縮できる磁気アニール装置及び方法の提供【解決手段】磁界中で複数の基板をアニールする磁気アニール装置であって、複数の基板を磁気アニール処理するための横長筒状の処理容器と、処理容器内で複数の基板を略水平に、鉛直方向に積載して保持する基板保持具70と、処理容器の長手方向に沿った所定領域の外周面の略...

    磁気アニール装置及び磁気アニール方法

  14. 【課題】ケイ素を含む成形体を焼成する際に、マッフル内部に炭化ケイ素及び二酸化ケイ素が生じにくいマッフルを提供する。【解決手段】ケイ素を含む成形体を焼成するために用いる焼成炉の焼成室内に取り付けられるマッフルであって、上記マッフルは、炭素からなるマッフル本体と、上記マッフル本体の内壁に形成された炭素からなる保護膜とからなり、上記保護膜の気孔率は、上記マッフル本体の気孔率...

    マッフル、焼成炉、及び、マッフルの製造方法

  15. 技術 焼成炉

    【課題】被処理物をローラー搬送により一定温度領域に移動させ、領域毎に温度が設定されている各領域を通過しながら、昇温、保持、冷却過程を経て焼成が完了する焼成炉において、昇温速度が大きい急昇温領域を設ける。【解決手段】入口から出口まで一定長さの内部通路120を有する焼成炉本体110と、上記内部通路の中央部に駆動手段によって出口側方向に回転するように設けられる搬送ローラー1...

    焼成炉

  16. 【課題】粗粒原石のみならず細粒原石をも併せて焼成可能な竪型焼却炉を提供することを課題とする。【解決手段】粗粒原石供給管2Aと細粒原石供給管2Bとを有し、炉床6よりも上方かつ筒壁4より半径内方位置に、下端が上下方向で天板部と炉床の間の中間位置まで延びている内筒壁4Aが設けられて予熱空間が内筒壁により半径方向で内周空間Pと外周空間Qに区分され、粗粒原石供給管が内周空間にそ...

    竪型焼成炉

  17. 【課題】複数の被処理物が配置されている空間における雰囲気の分布をより均一にすることのできる、熱処理用の支持部材、熱処理用の支持装置、熱処理装置、および、被処理物の配置方法を提供する。【解決手段】熱処理装置の支持部材102は、加熱された雰囲気下で発生する気流中において熱処理される複数の被処理物100を支持する。支持部材102は、配列方向Y2に並ぶ複数の支持部108を有す...

    熱処理用の支持部材、熱処理用の支持装置、熱処理装置、および、被処理物の配置方法

  18. 【課題】昇降温の時間を短縮し、匣を使用せずにセラミック成形品を吸着保持することで、脱脂の品質バラツキを抑制し、セラミック成形品の搭載、回収時におけるセラミック成形品の破損を抑制できる脱脂処理炉を提供する。【解決手段】炉体1の内部に一方向に回転駆動される回転体2を配置し、回転体2に周方向に所定間隔をあけて複数の吸着ヘッド10を設ける。吸着ヘッド10は、吸着面13に複数の...

    脱脂処理炉

  19. 【課題】内筒の取り出しが容易で熱気を遮蔽することができるマグネシウム熱還元用のレトルトを提供する。【解決手段】内筒9の端末に取手部15付きの端末板10がバヨネット構造により着脱自在に設けられているため、取手部15を持つことにより、内筒9を簡単に取り出すことができる。また端末板10によりマグネシウム金属Aからの熱気を防ぐことができる。

    マグネシウム熱還元用のレトルト

  20. 【課題】加熱より本体が劣化した場合に本体だけを廃棄できるマグネシウム熱還元用のレトルトを提供する。【解決手段】本体2と頭部4とが着脱自在に締結されているため、本体2が劣化した場合には本体2だけを新しいものに交換して、頭部4は引き続き使用することができる。従って、コストの面で大変に有利である。

    マグネシウム熱還元用のレトルト

  21. 【課題】加熱工程において基板の熱分布を均一に維持することのできる支持装置及びこれを備える基板処理装置とこれを用いた基板処理方法を提供する。【解決手段】本発明の支持ユニットは、上下方向に所定の長さだけ延設され、上部に基板が載置される支持体と、前記支持体の内部に配設さ れる嵌入体と、を備える。これにより、基板を工程チャンバーの内部に搬入する前に直接的な方式または間接的な...

    支持装置、基板処理装置及び基板処理方法

  22. 技術 焼成装置

    【課題】長尺の被焼成物を適切に焼成する。【解決手段】被焼成物が配置される焼成雰囲気11を形成するマッフル炉本体6と、マッフル炉本体6が配置される炉内空間5に高温ガスを供給するバーナとを備えている。マッフル炉本体6は、下側炉壁14が上側炉壁15より薄くなるように、形成されている。その高温ガスは、炉内空間5を上昇した後に、焼成雰囲気11を下降する。このような焼成装置は、そ...

    焼成装置

  23. 【課題】粗粒のみならず細粒の原石をも併せて焼成可能な竪型焼却炉を提供することを課題とする。【解決手段】落下開口12が形成された炉床6と、炉床外周縁位置で上方に延びる筒壁4と、該筒壁の上端を塞ぎ、中央部の炉蓋部7と、炉蓋部の周囲に位置する天板部8とを有する蓋壁3とで囲まれた空間により予熱空間を形成し、蓋壁の炉蓋部に燃料供給口10Aが設けられ、蓋壁の天板部に原石供給管2A...

    竪型焼成炉

  24. 【課題】基材部を被覆するように形成された膜部の濡れ性を低下させることで、焼成時に被焼成物と付着し難くすることができる焼成治具および焼成治具の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】実施形態の一態様に係る焼成治具においては、基材部と、膜部とを備えるように構成される。基材部は、被焼成物が載置される載置面を有する。膜部は、基材部の載置面を被覆するとともに、希土類酸化...

    焼成治具および焼成治具の製造方法

  25. 【課題・解決手段】輻射型の箱形加熱炉に装入した複数本の長尺物に対して、均等な加熱履歴を与えて所期した熱処理を実現する。具体的には、横長の箱型炉の長辺を構成する、横側壁に沿って装入した複数の長尺物を、少なくとも前記横側壁からの輻射熱にて加熱するに当たり、前記長尺物を、前記箱型炉の横側壁から炉床の幅中心に向かって下り勾配となる、配列の下に配置する。

    輻射型加熱炉における長尺物の加熱方法および輻射型加熱炉

  26. 【課題】治具の底部(網体)の強度を向上させるとともに、網目のずれを生じにくくする。【解決手段】熱処理炉用治具の網体2には、ワークが載置される。網体2では、接点X1において、第1ストランド10、第2ストランド20及び第3ストランド30が接している。接点X1付近では、第2ストランド20が第1ストランド10に上方から重なり、第3ストランド30が第1ストランド10に下方から重...

    熱処理炉用治具

  27. 【課題】熱衝撃による形状の変化による損傷が抑えられた熱処理容器を提供する。【解決手段】本発明の熱処理容器1は、板状の底部2と、底部の周縁部に全周にわたって形成された、立設した板状の壁部3と、を備えた槽状の熱処理容器であって、壁部の少なくとも一部は、槽状の熱処理容器の内部方向に凸となる形状で形成されていることを特徴とする。また、壁部は底部に平行な断面において、熱処理容器...

    熱処理容器

  28. 【課題】被加熱物を環境変化による炉温の変動又は被加熱物品種等に関わらず、均一に熱処理できる熱処理装置を提供する。【解決手段】熱処理装置1の被加熱物2と熱源4との間の位置に、複数個の開口部と異なる輻射率を持つ二枚の均熱板を重ねた均熱板ユニット3を搭載し、前記均熱板を搬送方向と直交する炉幅方向に分割させて個々にスライドさせることにより、熱源から受熱した輻射熱を均熱化し、被...

    熱処理装置

  29. 【課題・解決手段】本発明は、ワークピース(102)を加熱するためのローラハース炉(101)に関する。本発明に係るローラハース炉(101)はローラベアリングユニット(111)のためのパージシステム(110)を有し、パージシステム(110)はローラベアリングユニット(111)を通り抜けるようにパージガスを供給するように設計され、パージガスは炉壁(108・108´)から見て...

    ワークピースを加熱するためのローラハース炉及び方法

  30. 【課題】大きな被加熱物に合わせた寸法形状の炉を有する連続式加熱装置であっても小さな被加熱物の加熱処理に切り替える場合に、比較的短時間の待ち時間だけで小さな被加熱物を均一に加熱処理できる連続式加熱装置を提供することを目的とする。【解決手段】炉内を被加熱物の搬送方向と平行かつ鉛直方向に仕切る可動式の仕切り4を少なくとも1つ配置することで、複数の大きさの被加熱物を切り替え時...

    連続式加熱装置

  31. 【課題】炉体の小型化と熱効率の向上を実現した回転式熱処理炉を提供する。【解決手段】閉鎖された円筒状の炉体1と、当該炉体1の中心に垂直姿勢で設けられて間欠的に回転させられる回転軸2と、当該回転軸2の周方向の複数位置に設けられて回転軸2の回転とともに炉体1内を間欠的に旋回移動する棚板25と、周方向の一箇所で炉体1に設けられ、対面位置に至った棚板25から炉体1外へワークWを...

    回転式熱処理炉

  32. 【課題】安価な支持部材を使用して、ワークが大型化しても支持部材とワークの接触面積を増やすことなくワークの外周部でワークの底面を確実に支持することが可能なワーク積載装置を提供する。【解決手段】ワーク積載装置10は、複数の支柱、および支持部材を含む。複数の支柱は、矩形の板状体であるワークの底面に当接する複数の支持部材を、上下方向に沿って等間隔に配置された複数の支持位置の各...

    ワーク積載装置

  33. 【課題】本発明は、セラミック基板焼成装置及びこれを利用したセラミック基板焼成方法に関する。【解決手段】本発明によると、セラミック基板を装着するための焼成セッターと、上記セラミック基板の上部に位置する焼成加圧板と、上記焼成加圧板と上記セラミック基板との間に一定間隔を置くように上記焼成セッターと上記焼成加圧板との間に配置され、上記セラミック基板より焼成時の厚さ収縮率が大き...

    セラミック基板焼成装置及びこれを利用したセラミック基板焼成方法

  34. 【課題】シリコンウェハの表裏に電極を設ける際の焼成工程に利用される熱処理装置を改良するものであり、焼成に際して理想的な温度プロファイルを実現する。【解決手段】熱処理部を有しており、熱処理部は、断熱筐体内に棚状部材(設置部及び熱源部)11が設けられたものである。棚状部材11は、7段の棚部材16a〜16gを有し、棚部材16bの内部は、上下のユニット室25,26に仕切られて...

    熱処理装置

  35. 【課題】 1200℃以上といった高温環境を与える加熱炉内において、被加熱材の下に介挿されて使用されるスキッドのような大なる荷重を支える炉内用耐荷重支持部材を提供する。【解決手段】 高温環境を与える加熱炉内において大なる荷重を支える加熱炉用Co被覆耐荷重支持部材である。質量%で、Cr:15〜45%、W:13〜20%、残部Co及び不可避的不純物を含む合金からなる。

    加熱炉用Co被覆耐荷重支持部材

  36. 技術 焼成炉

    【課題】さや内のセラミック成形品を均一に焼成することができる焼成炉を提供する。【解決手段】焼成炉1では、炉床板3の上面3aにおいて、下方に窪む窪み面Kが炉床板3の長手方向に沿って延在している。この窪み面Kにより、炉床板3の中央部分からヒータ5までの距離と炉床板3の端部からヒータ5までの距離との差が小さくなる。したがって、焼成炉1では、ヒータ5の輻射熱の伝わり方のばらつ...

    焼成炉

  37. 【課題】金属リングに対して熱処理を施す際、該金属リングに歪みが発生する懸念を払拭するとともに、該金属リングから奪取される熱量を抑制する。【解決手段】保持軸14a〜14jに、金属リングR1、R2に臨む載置用突起部30と、隣接する載置用突起部30、30同士の間に介在する堰止用突起部32とを設ける。この中、堰止用突起部32は、金属リングR1、R2を直径方向内方に押圧する。こ...

    搬送ラック及び金属リングの保持方法

  38. 【課題】通気性が高く、カスタマイズでき、強固に一体を成した熱処理設備用の一体型多層式焼成載置装置の提供する。【解決手段】複数本の直立棒2、複数本のX方向横棒31、複数本のY方向横棒32と少なくとも2つのセッター4を含み、前記各直立棒2は外側壁面に相互に垂直なX方向孔21とY方向孔22が相互の間にそれぞれ設けられ、前記複数本のX方向横棒31と前記複数本のY方向横棒32は...

    一体型多層式焼成載置装置

  39. 【課題】熱源の省エネルギ化が可能で、スペース効率が高く、被処理物の搬送効率が高く、設備コストが低く、熱損失が小さいバッチ式熱処理炉を提供することを課題とする。【解決手段】バッチ式熱処理炉1は、低温被処理物Wfが載置される低温部300fと高温被処理物Wrが載置される高温部300rとを有する載置部30と、低温部300fと高温部300rとを仕切って載置部30に立設される仕切...

    バッチ式熱処理炉

  40. 【課題】本発明の一実施例によると、本発明は、内部に断熱材が内入された炉本体と、上記炉本体の内部に配置され、セラミック成形体が上部に積載された1つ以上のセッターと、上記セラミック成形体に熱を供給する発熱体と、上記炉本体の内部が均一な温度勾配を維持するように上記セッターの下部または上記発熱体の周辺に配置されるガス供給装置とを含むセラミック製品用焼成炉及びこれを利用した焼成...

    セラミック製品用焼成炉及びこれを利用した焼成方法

  41. 技術 支持具

    【課題】、高温焼成炉内で使用可能であって、簡単な作業で棚板の支持高さの調整及び棚板の正確な水平調整を行うことのできる支持具を提供する。【解決手段】支持具10は、水平面上にて自立可能な基体部材11と、基体部材に対しネジ機構30を介して鉛直方向に移動可能に螺着された支持部材21と、を備え、基体部材11及び支持部材21を耐熱性セラミックス材であるアルミナ(純度99.5質量%...

    支持具

  42. 【課題】温度差の大きい環境下で使用される構造物の嵌合による結合構造において、構造物を構成する材料の熱膨張係数の違いに起因する、結合構造の嵌合状態の緩みを防止し、結合構造部分の熱応力破壊を防止することができる結合構造を提供する。【解決手段】嵌合部分において矩形状開口部を有する構造部材と、少なくとも嵌合部分において矩形状断面を有する軸部材からなり、当該軸部材の矩形状断面部...

    構造部材の結合構造

  43. 【課題】ガラス基板を熱処理する熱処理装置を改良するものであり、メンテナンスを容易に行うことができる熱処理装置を開発する。【解決手段】熱処理室12の略中央部には、基板換装システム18が配されて、基板換装システム18に載置棚16が設けられている。載置棚16の全部の段部23には、中央部分の小梁31が欠落した欠落部37を有し、当該欠落部37によって吹き抜け部38が設けられてい...

    熱処理装置

  44. 【目的】処理品を1000℃以上の高温に急速加熱し且つ均一に焼成するためのバッチ式焼成炉の焼成方法およびそのためのバッチ式焼成炉を提供する。【構成】炉内に、棒状またはパイプ状のヒーターを並設してなる棚構造を上下方向に複数段配置し、該棚構造上に処理品の積載板を載置して処理品を加熱するようにしたことを特徴とする。

    バッチ式焼成炉の焼成方法およびバッチ式焼成炉

  45. 【課題】基板と基板支持部の接触面積を増加させることにより、焼成装置の内部温度が上昇及び下降することで、基板支持部が収縮・膨脹しながら、基板にスクラッチを発生させることを防止できる基板焼成装置を提供する。【解決手段】焼成炉10内部に熱を供給して基板Sを焼成温度で加熱する加熱部21と、前記基板Sが積載されるように内側面に水平に設置される支持フレーム30a及び前記支持フレー...

    基板焼成装置

  46. 【課題・解決手段】本発明は、加工物(19)又は部品の温度処理方法及び装置(10)、特に、はんだ材料搬送台上に配されたはんだ材料を溶融することにより、このはんだ材料と、はんだ材料搬送台として用いられる少なくとも一つの部品又は加工物とをはんだ接続する方法及び装置に関し、少なくとも1つの部品の加熱処理、その後のステップにおける冷却処理を周囲のエリアから封止された処理室内(1...

    特にはんだ接続に用いられる熱処理方法及び熱処理装置

  47. 【課題】強制循環式の加熱炉で板材を均一に加熱できる板材保持装置および均一な板材の加熱方法を提供する。【解決手段】熱風を強制循環させる加熱炉内に複数の板材1を平行に保持し、板材の間に熱風を挿通させて板材1を加熱するための板材保持装置は、板材の熱風の流れ方向上流側の端面をそれぞれ隙間を空けて覆う複数の防風部材7と、防風部材から延伸し、板材の片面の上流側を隙間を空けて覆う遮...

    板材保持装置および板材の熱処理方法

  48. 【課題】大型の平板状部材であっても、熱処理することができる平板状部材の熱処理炉を提供する。【解決手段】平板状部材を、トンネル状の炉体1の炉長方向に移送しつつ熱処理を行う平板状部材の熱処理炉であって、炉体1の両側壁1bから炉内に延出するローラ2を、互いに対向させて、炉長方向に複数、回転自在に配設し、対向するローラ2の先端2a間に、平板状部材50を転支し、回転軸5が炉外に...

    平板状部材の熱処理炉

  49. 【課題】大型の平板状部材であっても、熱処理することができる平板状部材の熱処理炉を提供する。【解決手段】平板状部材を、トンネル状の炉体1の炉長方向に移送しつつ熱処理を行う平板状部材50の熱処理炉であって、炉体1の両側壁1bから炉内に延出するローラ2を、互いに対向させて、炉長方向に複数、回転自在に配設し、対向するローラ2の先端2a間に、平板状部材50を転支する受けコロ4を...

    平板状部材の熱処理炉

  50. 【課題】大型の平板状部材であっても、熱処理することができる平板状部材の熱処理炉を提供する。【解決手段】平板状部材50を、トンネル状の炉体1の炉長方向に移送しつつ熱処理を行う平板状部材の熱処理炉であって、炉体1の両側壁1bから炉内に延出するローラ2を、互いに対向させて、炉内1側が側壁1b側よりも低くなるように傾けて、炉長方向に複数、回転自在に配設し、ローラ2上に平板状部...

    平板状部材の熱処理炉

    炉内の装入物のための支持装置,隔壁,または類似のものの詳細カテゴリ一覧

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