鐘型炉 に関する技術一覧

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技術一覧

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  1. 【課題】上下方向に積載された複数のコイル材をより均一に焼鈍することができる、ベル型焼鈍炉を提供する。【解決手段】インナーカバー2とアウターカバー3とを有し、アウターカバー3の下部に設けられたバーナー4によって、インナーカバー2とアウターカバー3との間の空間81に火炎を形成し、インナーカバー2内において上下方向に積載された複数のコイル材6を焼鈍する、ベル型焼鈍炉10であ...

    ベル型焼鈍炉及びその改造方法

  2. 【課題】バーナーから離れた位置におけるインナーカバー部に対しての入熱量を増加させ、インナーカバーへの入熱を効率良くまた均一に行うことができる、ベル型焼鈍炉を提供する。【解決手段】インナーカバー2とアウターカバー3とを有し、アウターカバー3の下部に設けられたバーナー4によって、インナーカバー2とアウターカバー3との間の空間81に火炎を形成し、インナーカバー2内に配置され...

    ベル型焼鈍炉及びその改造方法

  3. 【課題・解決手段】本発明は、カバー型焼鈍設備において被焼鈍物(4,5)を予熱する方法であって、前記カバー型焼鈍設備は前記被焼鈍物を保護カバー(7)の下方で保護ガス雰囲気内に収容する焼鈍台(1,2)を備えており、循環路において前記保護カバー(7)の周囲に外側から供給され一方の保護カバー(7)内で既に熱処理された被焼鈍物(5)から熱を受け取り他方の保護カバー(7)内の予熱...

    カバー型焼鈍設備において被焼鈍物を予熱する方法

  4. 【課題】仕上焼鈍のコイル加熱時における昇温速度を通常より速めても、しわ状欠陥による製品歩留りを低下させることなく、低コストでコイル等の被加熱物を加熱することを可能にするバッチ式焼鈍炉用インナーカバーを提供する。【解決手段】インナーカバー1の側面に、外面と内面の間に空隙部を備えた二重構造部2が設けられており、その中に液体3を充填するようになっている。

    バッチ式焼鈍炉用インナーカバー

  5. 【課題】鋼帯コイルの横ズレによるスクラッチ疵の発生を防止することが可能な鋼帯コイルの焼鈍方法及び焼鈍用のスペーサーを提供する。【解決手段】複数の鋼帯コイルを、スペーサーを介してアップコイルの状態に載置して行う、バッチ式焼鈍炉を用いた鋼帯コイルの焼鈍方法であって、前記スペーサーとして、鋼帯コイルと接触する面の一部に、鋼帯コイルエッジ部の内周側から外周側にかけて接触するよ...

    鋼帯コイルの焼鈍方法及び焼鈍用のスペーサー

  6. 【課題・解決手段】金属コイルをフード型炉の中に載置するため、このフード型炉を搬送位置から 90 °回転させる必要がある。このため所謂傾斜受台を操作する。フード型炉設備の焼鈍フード、加熱フードおよび冷却フードはクレーンで持ち上げて交換させる必要がある。焼鈍台(1)の上に基礎面に対して垂直に延びる少なくとも一つの心棒(6)と取り付け、焼鈍台(1)が焼鈍フード(10)と金属...

    フード型炉設備

  7. 【課題】加熱時間の短縮化と処理材料の均熱化を図る。【解決手段】ベル型焼鈍炉に、アウタカバー4の下部周円の180°対称位置に設けた一対の蓄熱再生式燃焼装置7a,7bと、各蓄熱再生式燃焼装置とペアをなし、アウタカバーの上部に取り付けた一対の燃料噴出器8a,8bと、各蓄熱再生式燃焼装置とこれとペアをなす燃料噴出器に接続した燃料供給管と29a,29b、各蓄熱再生式燃焼装置に接...

    ベル型焼鈍炉

  8. 【目的】減圧加熱炉内が減圧状態であっても、炉内の温度分布を測定することができる減圧加熱炉の炉内温度測定器を提供する。【構成】減圧加熱炉の炉体11の外側に加熱ヒータ12と炉外温度測定器15を、炉体11の内部に炉内温度測定器30を設け、予め加熱ヒータ12による加熱時の炉体11内外の温度差等を校正データとして測定しておき、実際の製造運転に際しては炉外温度測定器15の測定温度...

    加熱炉用の炉内温度測定器

  9. 【目的】半導体製造用反応炉に於いて、炉口部を構成する金属部品の腐食を防止し、清掃ガスによるセルフクリーニングを可能にする。【構成】ウェーハに化学気相成膜などの処理を行う半導体製造用反応炉に於いて、反応炉炉口部を構成する所要箇所の金属部品の材質を耐蝕耐熱ニッケル合金とし、金属部品の耐蝕性を向上させ、清掃ガスによる腐食を防止する。

    半導体製造用反応炉の炉口部構造

  10. 【目的】シリコンウエファー等の処理に利用される環状炉の発熱体は、昇降温速度が遅く、高温での寿命が短いので、これを改良する。【構成】発熱体(10)をCr−Al−Fe系の粉末合金の焼結体より構成する。粉末合金にAl2O3 を生成し、これをマトリックスに分散させ、かつ酸素 0.1wt%以下、窒素 0.05〜0.2wt%含有させる。

    電熱式環状炉

  11. 【目的】ビレットの長さに拘らずその全長を均一に誘導加熱し得るダイバータを備えた竪型誘導加熱装置と方法。【構成】上下に積層した加熱コイル2a,2b……2x群内にビレットRを竪に挿入し、該ビレットの両端面に対向して配置したダイバータ3,4にて前記加熱コイルが発生する磁束をビレットRの両端部に集束しつつビレットRを誘導加熱する方法において、前記ビレットRの上面と前記加熱コイ...

    ビレットの誘導加熱方法及びその装置

  12. 【目的】炉底昇降式、熱風吹込式の焼成炉を得る。【構成】炉底部分開放であり内壁のセラミックボード層14の近傍に設けた前後方向ヒーター16と左右方向ヒーター17からなる外側焼成機構を有する焼成室15と、該焼成室15の下方の床2上に設けたリフト機構7と、前記床2上に設けたレール上を走行して下降状態にある前記リフト機構7に乗り移り前記リフト機構7が上昇すると前記焼成室15の開...

    炉底昇降熱風吹込式焼成炉

  13. 【目的】炉底昇降式、支持台回転式の焼成炉を得る。【構成】炉底部分開放の焼成室15と、該焼成室15の下方の床2に設けたリフト機構7と、床2側を走行して下降している前記リフト機構7に乗り移り前記リフト機構7が上昇すると前記焼成室15の開放炉底に密着嵌合する炉底兼台車5と、前記台車5の下側に取付たモータ28と、前記台車5の上面側に取付けた前記モータ28より回転する水平支持台...

    炉底昇降支持台回転式焼成炉

  14. 【目的】大型のセラミック製品を斑なく焼成する。【構成】焼成室13内に、該焼成室13内を上下に複数に区分して上部ゾーン20と下部ゾーン22を形成し得る水平耐熱仕切鋼18を設け、各ゾーン毎に設けられる前後方向ヒータ14および左右方向ヒータ15にはそれぞれ自動制御機構23を連結したセラミック焼成電気炉とする。

    セラミック焼成電気炉

  15. 【目的】パージ時間の短縮、品質の向上、省エネルギーを図ること。【構成】インナーカバー(5)内に連通する真空排気管(19)を備えたベル型焼鈍炉において、ベース(2)を構成する耐火材表面にシールカバー(12)を設けるとともに、前記ベース下面に取り付ける循環ファン駆動用炉外モータ(4)を気密カバー(13)で覆い、かつ、前記シールカバー内と気密カバー内をそれぞれ真空排気装置(...

    ベル型焼鈍炉

  16. 【目的】炉体内部の温度分布及び雰囲気ガス分布を均一化し、焼成のバラツキを防止する、セラミック素子などの焼成手段に使われるバッチ焼成炉を提供することである。【構成】炉底に開口部を設けた炉本体戸、昇降する炉床と、炉床を昇降させるエレベータ機構とを具備するエレベータ炉において、一定速度で回転する機構と、炉床の高さを上下に往復運動させる機構とを昇降する炉床に具備したことを特徴する。

    バッチ焼成炉

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