ナチュラン・インターナショナル有限会社 に関する公開一覧

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  1. 【課題】洗浄対象物を効率よく洗浄でき、しかも洗浄対象物同士の付着をも防止できるようにする。【解決手段】マイクロバルブを含む洗浄液中に、洗浄対象物Wが浸漬されることにより、洗浄対象物Wの洗浄が行われる。マイクロバルブを含む洗浄液は、洗浄槽1内に配設された噴射ノズル11から供給される。噴射ノズル121からマイクロバルブを含む洗浄液を供給し続けることにより、洗浄槽1から洗浄...

    洗浄方法および洗浄装置

  2. 【課題】洗浄対象物の表側面と裏側面とを効率よく洗浄できるようにする。【解決手段】マイクロバルブを含む洗浄液が、洗浄対象物Wの表側面1に対して第1噴射ノズル11から供給されると共に、洗浄対象物Wの裏側面2に対して第2噴射ノズル12から供給される。ターンテーブル51上に水平状態で配設された洗浄対象物W(例えば半導体ウエハ)が、ターンテーブル51に設けた保持機構60によって...

    洗浄方法、洗浄装置および半導体ウエハの保持装置