株式会社ハイデン研究所 に関する公開一覧

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  1. 【課題・解決手段】安定な放電を維持すると共に十分なプラズマ処理能力を得ることができ、しかもプラズマの温度を低下させることができるプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法を提供する。このプラズマ処理装置は、複数の電極を並設して電極間に放電空間を形成し、少なくとも一つの電極の放電空間側に誘電体を設け、放電空間にプラズマ生成用ガスを供給すると共に電極間に電圧を印加することによっ...

    プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法

  2. 【課題】 基材の表面改質因子であるラジカルの発生量の増加、プラズマの発生量の増加、プラズマの低温下、基材へ向かうアーク放電の防止を図る。【解決手段】 ケーシング1内のガス流路15に沿って形成されたコロナ放電電極2から、ケーシングの周壁を対向電極として多数のコロナ放電を同時に発生させて多数のラジカルを生成するとともに、ケーシング内のアーク放電電極17に対してケーシン...

    プラズマ発生方法及びプラズマ発生装置