住友精密工業株式会社 に関する公開一覧

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  1. 【課題】ギヤポンプに設けた絞りの閉塞を抑制する。【解決手段】ギヤポンプ1は、ピニオンギヤ3と、リングギヤ4と、ハウジング(ギヤハウジング5、フロントカバー6)と、導入口81と吐出ポート12とをつなぐ油路9を有しかつ、吐出ポートに吐出された高圧の作動油の一部を、導入口を通じて、リングギヤの外周面と摺動面との間に供給する高圧油供給部8と、を備える。高圧油供給部は、油路に内...

    ギヤポンプ

  2. 技術 熱交換器

    【課題】熱交換器のサイズおよび重量の増大を抑制しながら、熱交換効率を改善させることが可能な熱交換器を提供する。【解決手段】この熱交換器100は、第1方向に延びる管状形状を有し、第1流体1を流通させる第1流路11と、第1方向と交差する第2方向に延びる管状形状を有し、第1流体1と熱交換する第2流体2を流通させる第2流路12と、が同一層内に配置された流路層10を備える。第1...

    熱交換器

  3. 【課題・解決手段】シリコン単結晶中における格子間シリコン原子の拡散流速が格子間酸素原子の拡散流速よりも大きい第1の温度で第1シリコン層210を有するSOI基板200を熱処理する熱処理工程と、熱処理工程の後にSOI基板200を加工して変位拡大機構10を得る加工工程と、を少なくとも備えている。

    MEMSデバイスの製造方法、MEMSデバイス及びそれを用いたシャッタ装置

  4. 【課題】被分析物の表面から比較的浅い領域(最表面)の元素の組成情報を得ることが可能な発光分析方法を提供する。【解決手段】この発光分析方法は、被分析物のスパッタリングされる側に、ノイズと被分析物の組成情報とを分離するためのノイズ分離層を配置するノイズ分離層配置工程S1と、イオン化された不活性ガス原子を、ノイズ分離層に衝突させて、被分析物がスパッタリングされるのを保護する...

    発光分析方法および発光分析装置

  5. 【課題】トルクフィードバック制御を行う定圧液供給装置において、ポンプの吐出圧力が目標圧力からずれることを抑制する。【解決手段】定圧液供給装置(クーラント供給装置1)は、容積式のポンプ本体41、及び、電動モータ42を含むポンプ部4と、インバータ72と、コントローラ71と、を備える。コントローラは、少なくとも、電動モータの実トルクに関連する第1パラメータと、ポンプ部の吐出...

    定圧液供給装置

  6. 【課題・解決手段】内接ギヤポンプ(1)は、ピニオンギヤ(3)と、リングギヤ(4)と、クレセント(54)と、リングギヤの外周面(41)が摺動する摺動面(51)を有するハウジング(5)と、摺動面に開口する導入口(81)を有しかつ、高圧の作動油を供給する高圧油供給部(8)と、リングギヤの外周面と摺動面との間隔が広がるように、摺動面に設けられた凹部(9)と、を備える。導入口は...

    内接ギヤポンプ

  7. 【課題・解決手段】オゾン発生装置は、酸素ガスに水分を付与する加湿部が設けられるとともに、加湿部を通過した酸素ガスを流出させるように構成される第1流路と、水分量が10ppb以下の酸素ガスを流出させるように構成される第2流路と、第1流路を流出する酸素ガスと、第2流路を流出する酸素ガスとが合流する合流路と、合流路で合流した後の混合酸素ガスを原料としてオゾンガスを発生させるオ...

    オゾン発生装置及びオゾン発生方法