開放特許一覧

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  1. 開放特許 ガス分析装置

    この発明は、例えば半導体製造装置などの電子デバイス製造装置から排出される排ガスなどのガス中に含まれるフッ素ガスの濃度を測定する装置に関し、被測定ガス中に含まれる妨害成分の影響を排除して、正確にかつ簡便にフッ素ガス濃度が求められるようにしたものである。電子デバイス製造装置では、多種多様な危険性物質や地球温暖化物質が消費される。これらの排出については、「特定化学物質の環境...

    ガス分析装置

    • 2016/07/01 時点
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  2. 開放特許 排ガス処理方法

    本発明は、半導体製造装置から排出される排ガスに含まれる有害ガス成分を除去する排ガス処理装置に関するものである。近年、地球温暖化を抑止するため、温暖化係数の高いPFCs(パーフルオロコンパウンズ)の排出規制が強化されており、希釈による相対濃度低減ではなく、絶対量削減すなわち総量規制が必須となっている。半導体製造装置から排出される排ガスには、Ar、Kr、Xe、He、N2な...

    排ガス処理方法

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  3. この発明は、プラズマ成膜装置のクリーニング方法に関し、ケイ素を含有する成膜用ガスを用いて薄膜を形成した後、フッ素を含有するガスをプラズマ化してクリーニングする方法に関するものである。電子デバイス製造プロセスでは、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜といった絶縁膜を形成する工程が多数存在する。これら絶縁膜を形成する方法として、プラズマCVD法(PECVD)が多く用いられている...

    プラズマ成膜装置のクリーニング方法

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  4. 本発明は、LSIなどの半導体装置の多層配線構造で用いられる層間絶縁膜の処理方法に関し、特にエッチング処理・アッシング処理、その他のプラズマ処理によって膜にもたらされる電気的特性及び膜構造の劣化(ダメージ)をプラズマ処理前の状態に復帰させる絶縁膜のダメージ回復処理方法に関する。本願は、2006年11月29日に、日本に出願された特願2006−321603号および2006年...

    絶縁膜のダメージ回復方法

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  5. 開放特許 携帯装置

    本発明は、人体通信を行う携帯装置に関する。人体を媒体とした通信である人体通信が知られている。この人体通信には、人体に電流を流すことにより情報を伝送する方式(以後、電流方式とも記載)と、人体に電圧をかけることにより情報を伝送する方式(以後、電界方式とも記載)とが存在する。ところで、電流方式の人体通信を行う携帯装置は、信号側の電極とグランド側の電極の二種類を有しており、こ...

    携帯装置

  6. 本発明は、LSIなどの半導体装置での多層配線構造で用いられる層間絶縁膜の処理方法に関し、特にエッチング処理・アッシング処理、その他のプラズマ処理によって膜にもたらされる電気的特性及び膜構造の劣化(ダメージ)をプラズマ処理前の状態に復帰させる絶縁膜のダメージ回復処理方法に関する。半導体装置の層間絶縁膜などの絶縁膜としては、長年、誘電率が3.9から4.0のSiO2(二酸化...

    絶縁膜のダメージ回復処理方法

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  7. 本発明は、ホウ素系ガス中の金属不純物の除去方法に関し、詳しくは、半導体分野で使用されているホウ素系ガス中の金属不純物、特に鉄系不純物の除去方法に関する。半導体プロセスにおいては、使用するガス中の不純物がデバイスの性能や歩留まりに悪影響を及ぼすため、デバイスの高集積化の進行に伴い、ガス中の不純物濃度は、ppbあるいはpptオーダー以下の超高純度ガスの需要が増加している。...

    ホウ素系ガス中の金属不純物の除去方法

    • 2016/07/01 時点
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  8. 本発明は、精製対象ガスである高純度ガス中に含まれる窒素、一酸化二窒素、一酸化窒素、二酸化窒素、メタン、水素、酸素、一酸化炭素、キセノン等の微量不純物ガスを吸着除去して超高純度のガスを得るためのCu−ZSM5ゼオライト成形吸着剤及びその活性化方法、並びにそのCu−ZSM5ゼオライト成形吸着剤を使用したガス精製方法および温度変動型吸着装置に関する。本願は、2005年9月9...

    Cu−ZSM5ゼオライト成形吸着剤、その活性化方法、温度変動型吸着装置、及びガス精製方法

    • 2016/07/01 時点
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  9. この発明は、LSIなどの半導体装置の層間絶縁膜などに用いられる絶縁膜がプラズマ処理によってダメージを受けた際に、このダメージを回復させる方法に関する。最近、半導体装置の層間絶縁膜などの絶縁膜にあっては、誘電率が4以下の低誘電率絶縁膜が用いられるようになってきている。このような低誘電率絶縁膜として、多孔質のSiOCHなどのシロキサン系材料および有機材料からなるものがあり...

    絶縁膜のダメージ回復方法および回復剤

    • 2016/07/01 時点
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  10. 本発明は、ビル等の建造物を下層からだるま落とし的に解体する建造物の解体方法に関する。従来、建造物の解体作業は、低層建造物から高層建造物に至るまで悉く、屋上等の最上部から開始され、地下基礎部等の最下部にて終了されるのが一般的である。解体されたコンクリート塊、木塊、鉄材、更には柱や床を構成した木材等は、ある程度の量をまとめてクレーンにより、或いはベルトコンベア等により地上...

    建造物の解体方法

    • 2016/07/01 時点
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  11. 本発明は、フッ素ガス測定方法及び装置に関し、詳しくは、プラズマCVD装置や除害装置からの排ガス等に含まれるフッ素ガス濃度を測定するためのフッ素ガス測定方法及び装置に関する。各種ガス中に含まれるフッ素ガスの濃度をリアルタイムに測定することが可能なフッ素ガス濃度計として、特定の物質、例えば有機物とフッ素ガスとの選択的発光反応を利用したフッ素ガス濃度計が市販されている。この...

    フッ素ガス測定方法及び装置

    • 2016/07/01 時点
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  12. 本発明は、焼結体の製造方法に関し、詳しくは、高密度で高品質の焼結体を製造する方法に関する。一般に、焼結体の製造方法は、所定の粒度に粉砕した金属粉末やセラミック粉末等の原料粉末とバインダー等の添加剤とを混合する混合工程と、該混合工程終了後の原料粉末を金型に充填して加圧成形する加圧成形工程と、該加圧成形工程終了後の原料粉末の成形体を焼結する焼結工程とを有している。焼結体は...

    焼結体の製造方法

    • 2016/07/01 時点
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  13. 本発明は、一酸化炭素の精製方法に関し、詳しくは、半導体製造工程におけるエッチング用として使用される一酸化炭素を精製する方法であって、特に、金属カルボニル化合物を除去する方法に関する。一酸化炭素は、金属の精錬を始めとして様々な産業で使用され、最近では、特に高純度な一酸化炭素が半導体製造工程におけるエッチング用として使用されるようになっている。一酸化炭素は、金属に対して反...

    一酸化炭素の精製方法

    • 2016/07/01 時点
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  14. 本発明は、フッ素ガス測定方法及び装置に関し、詳しくは、除害装置の排ガス等に含まれる微量のフッ素ガス濃度を測定するためのフッ素ガス測定方法及び装置に関する。各種ガス中に含まれるフッ素ガスの濃度をリアルタイムに計測することが可能なフッ素ガス濃度計として、特定の物質、例えば有機物とフッ素ガスとの選択的発光反応を利用したフッ素ガス濃度計が市販されている。このフッ素ガス濃度計は...

    フッ素ガス測定方法及び装置

    • 2016/07/01 時点
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  15. 本発明は、乗員に対して効能成分を供給する効能成分供給装置に関する。車室内の環境を良好に保つため、芳香成分(効能成分)を車室内に拡散させるようにした芳香剤が提案されている(たとえば、特許文献1および2参照)。しかしながら、芳香成分を車室内に拡散させるようにすると、車室内に多量の芳香成分を充満させてしまうばかりか、好みに応じた車内環境を乗員毎に提供することが困難となってい...

    効能成分供給装置

    • 2016/07/01 時点
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  16. 開放特許 付け爪

    本発明は、付け爪およびマニキュアに関し、特に静電容量方式のタッチパネルへの操作性を考慮した付け爪およびマニキュアに関する。特に女性において、美的要求を満たす等の目的のために、爪を指の輪郭位置から先に長く伸ばす長爪や付け爪が普及している。図5に、手指に付け爪を装着する状況を示している。上記長爪や付け爪が普及している一方、近年では、男女を問わず、スマートフォン等の携帯情報...

    付け爪

    • 2016/07/01 時点
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  17. 本発明は、直流発電機と系統電力を用いて負荷装置に電力を配電する電力供給システムに関する。また本発明は、直流発電機と蓄電装置と系統電力を用いて負荷装置に電力を配電する電力供給システムに関する。直流発電機と系統電力とを用いて、電力供給システムを効率よく運転させる技術はこれまでにも多く開発されている。例えば、特許文献1は、自然エネルギー系電力と深夜電力を組み合わせて、ほぼ1...

    電力供給システム

    • 2016/07/01 時点
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  18. 開放特許 空気渦発射装置

    本発明は、第1空気砲と第2空気砲とを備える空気渦発射装置に関する。車両に搭載されるエアコンディショナの吹き出し口から芳香成分を供給することにより、車室内の環境を良好に保つようにした供給装置が提案されている。しかしながら、吹き出し口から芳香成分を供給してしまうと、車室全体に芳香成分が拡散することになるため、所定の効能を得るためには多量の芳香成分が必要となっていた。そこで...

    空気渦発射装置

    • 2016/09/15 時点
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  19. 本発明は、板状体である被保護部材の表面に貼着されたフィルムを剥離するためのフィルム剥離装置及びフィルム剥離方法に関するものである。近年、電子デバイスの生産工程又は電気製品の組み立て工程においては、傷、ゴミ、埃、パーティクル等によって、デバイス不良又は製品品位低下等を招く。このため、その対策として、電子デバイス又は電気製品の表面又は外装を保護するために、保護フィルムが広...

    フィルム剥離装置及びフィルム剥離方法

    • 2016/07/01 時点
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  20. 本発明は、ガス供給源からガス供給弁を介して圧縮ガスを供給する圧縮ガス供給設備において、ガス供給弁のシール材から発生するガス成分を検出器で検出する際に、この検出器の校正に用いる校正ガスの製造方法、容器入り校正ガス、並びにこれらの校正ガスを用いた検出器の校正方法に関する。例えば、圧縮ガスを耐圧容器に充填するガス充填設備は、ガス供給源と複数の耐圧容器との間を充填用の配管で接...

    校正ガスの製造方法、容器入り校正ガス、検出器の校正方法

    • 2016/07/01 時点
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