開放特許一覧

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  1. 本発明は、高圧水素製造装置に関する。一般的に、高圧水素を製造するには、電気分解などで水素を製造した後、製造した水素をコンプレッサー等で圧縮して高圧タンクに詰める作業を行っている。しかし、この方法では、水素の製造と圧縮の作業が分離していることから、より作業効率を高めるために、水素の製造と圧縮とを同時に行うことができる装置が開発されている(例えば、特許文献1参照)。すなわ...

    高圧水素製造装置

    • 2016/07/01 時点
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  2. 電機・電子機器に含まれる特定有害物質の使用制限に関し、2006年に欧州でRoHS指令(Restriction of the use Of certain Hazardous Substances in electrical and electronic equipment)が施行された。本発明は、RoHS指令で電気電子機器への含有量を規制されて...

    臭素を含む高分子化合物の分析方法

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  3. 本発明は、利用者の身体を信号伝送路として利用して信号を受信装置へと送信する人体通信用の送信装置に関する。従来、人体通信用の送信装置としては、下記特許文献1に記載のものが知られている。この特許文献1に記載の送信装置は、2つの電極を有し、一方の電極の電位を基準電位として、他方の電極の電位を基準電位に対して相対的に変動させることにより、送信信号を出力する仕組みになっている(...

    人体通信用の送信装置

  4. 本発明は、固体原料供給方法及び装置に関し、詳しくは、常温以上の温度で蒸気圧を有する固体粉末原料を常温でガス状の搬送ガスに同伴させて一定濃度で反応チャンバー等の供給先に供給する固体原料供給方法及び装置に関する。半導体製造工場等において、固体原料を反応チャンバー等に定量的かつ定常的に供給することは、重要な要素技術の一つである。また、この要素技術は、微量有害物質分析のための...

    固体原料供給方法及び装置

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  5. 本発明は、酸素又は酸素混合ガス等の高圧ガスを充填容器に供給する供給設備において、高圧側ラインと低圧側ラインとを仕切る開閉弁を介して、高圧側ラインから低圧側ライン末端の充填容器に高圧ガスを供給、充填する高圧ガスを供給する方法に関する。一般的に酸素又は酸素混合ガス充填工場では、液化ガス貯槽内の液化ガスを圧縮機で昇圧したのち、蒸発器で気化させた高圧ガスを、開閉弁等の複数の弁...

    高圧ガス供給方法

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  6. 開放特許 付箋帳

    本発明は、書類の署名又は捺印箇所などを指示するために用いる貼着・剥離自在な付箋帳に関する。従来、事務仕事等のビジネスシーンにおいて、メモを書き記す目的や、特定の箇所を指示する目的等に付箋帳が利用されている。一般的な付箋帳の形態として、特許文献1のように略長方形の片状をなす紙片の長手方向一端側裏面に粘着剤層が設けられるものを複数枚積層し、これを積層体の単位で市販されるも...

    付箋帳

    • 2016/07/01 時点
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  7. 本発明は、老朽化等により修繕が必要となった高架道路や橋梁等のコンクリート製床版及びジョイントを撤去する方法に関する。交通荷重により損傷したり、老朽化した橋梁のコンクリート床版及びジョイントを補修・交換するため補修部分を解体撤去する必要がある。また、橋梁の設計基準の変更で設計荷重が引き上げられ、古い基準の床版を撤去して新基準に合わせて打ち替えする必要が生じてきた。ブレー...

    橋梁床版の撤去方法

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  8. 開放特許 発電システム

    本発明は、電気分解により発生させた気泡を利用した発電システムに関する。従来、電気分解により発生させた気泡を利用した発電装置として、電気分解により発生させた気泡を水槽の底から注入し、水車のバケットでその気泡を受け、気泡の浮力により水車を回転させることにより発電を行うものがある(例えば、特許文献1参照)。特開2007−138883号公報しかしながら、特許文献1に記載の発電...

    発電システム

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  9. 本発明は、地震の発生に応じてガスの供給を遮断する地震信号処理装置および地震信号処理方法に関する。従来、例えば半導体工場などの工場では、色々な種類のガスが使用されており、地震の発生を検知すると、このようなガスが充填されたボンベの遮断弁を閉じて、ガス流路を遮断するよう制御する技術が提案されている。例えば、特許文献1には、地震計装置が地震を検知すると、電気信号によりガス流路...

    地震信号処理装置および地震信号処理方法

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  10. 開放特許 ガス分析装置

    この発明は、例えば半導体製造装置などの電子デバイス製造装置から排出される排ガスなどのガス中に含まれるフッ素ガスの濃度を測定する装置に関し、被測定ガス中に含まれる妨害成分の影響を排除して、正確にかつ簡便にフッ素ガス濃度が求められるようにしたものである。電子デバイス製造装置では、多種多様な危険性物質や地球温暖化物質が消費される。これらの排出については、「特定化学物質の環境...

    ガス分析装置

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  11. 開放特許 排ガス処理方法

    本発明は、半導体製造装置から排出される排ガスに含まれる有害ガス成分を除去する排ガス処理装置に関するものである。近年、地球温暖化を抑止するため、温暖化係数の高いPFCs(パーフルオロコンパウンズ)の排出規制が強化されており、希釈による相対濃度低減ではなく、絶対量削減すなわち総量規制が必須となっている。半導体製造装置から排出される排ガスには、Ar、Kr、Xe、He、N2な...

    排ガス処理方法

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  12. この発明は、プラズマ成膜装置のクリーニング方法に関し、ケイ素を含有する成膜用ガスを用いて薄膜を形成した後、フッ素を含有するガスをプラズマ化してクリーニングする方法に関するものである。電子デバイス製造プロセスでは、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜といった絶縁膜を形成する工程が多数存在する。これら絶縁膜を形成する方法として、プラズマCVD法(PECVD)が多く用いられている...

    プラズマ成膜装置のクリーニング方法

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  13. 本発明は、LSIなどの半導体装置の多層配線構造で用いられる層間絶縁膜の処理方法に関し、特にエッチング処理・アッシング処理、その他のプラズマ処理によって膜にもたらされる電気的特性及び膜構造の劣化(ダメージ)をプラズマ処理前の状態に復帰させる絶縁膜のダメージ回復処理方法に関する。本願は、2006年11月29日に、日本に出願された特願2006−321603号および2006年...

    絶縁膜のダメージ回復方法

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  14. 開放特許 携帯装置

    本発明は、人体通信を行う携帯装置に関する。人体を媒体とした通信である人体通信が知られている。この人体通信には、人体に電流を流すことにより情報を伝送する方式(以後、電流方式とも記載)と、人体に電圧をかけることにより情報を伝送する方式(以後、電界方式とも記載)とが存在する。ところで、電流方式の人体通信を行う携帯装置は、信号側の電極とグランド側の電極の二種類を有しており、こ...

    携帯装置

  15. 本発明は、LSIなどの半導体装置での多層配線構造で用いられる層間絶縁膜の処理方法に関し、特にエッチング処理・アッシング処理、その他のプラズマ処理によって膜にもたらされる電気的特性及び膜構造の劣化(ダメージ)をプラズマ処理前の状態に復帰させる絶縁膜のダメージ回復処理方法に関する。半導体装置の層間絶縁膜などの絶縁膜としては、長年、誘電率が3.9から4.0のSiO2(二酸化...

    絶縁膜のダメージ回復処理方法

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  16. 本発明は、ホウ素系ガス中の金属不純物の除去方法に関し、詳しくは、半導体分野で使用されているホウ素系ガス中の金属不純物、特に鉄系不純物の除去方法に関する。半導体プロセスにおいては、使用するガス中の不純物がデバイスの性能や歩留まりに悪影響を及ぼすため、デバイスの高集積化の進行に伴い、ガス中の不純物濃度は、ppbあるいはpptオーダー以下の超高純度ガスの需要が増加している。...

    ホウ素系ガス中の金属不純物の除去方法

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  17. 本発明は、精製対象ガスである高純度ガス中に含まれる窒素、一酸化二窒素、一酸化窒素、二酸化窒素、メタン、水素、酸素、一酸化炭素、キセノン等の微量不純物ガスを吸着除去して超高純度のガスを得るためのCu−ZSM5ゼオライト成形吸着剤及びその活性化方法、並びにそのCu−ZSM5ゼオライト成形吸着剤を使用したガス精製方法および温度変動型吸着装置に関する。本願は、2005年9月9...

    Cu−ZSM5ゼオライト成形吸着剤、その活性化方法、温度変動型吸着装置、及びガス精製方法

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  18. この発明は、LSIなどの半導体装置の層間絶縁膜などに用いられる絶縁膜がプラズマ処理によってダメージを受けた際に、このダメージを回復させる方法に関する。最近、半導体装置の層間絶縁膜などの絶縁膜にあっては、誘電率が4以下の低誘電率絶縁膜が用いられるようになってきている。このような低誘電率絶縁膜として、多孔質のSiOCHなどのシロキサン系材料および有機材料からなるものがあり...

    絶縁膜のダメージ回復方法および回復剤

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  19. 本発明は、垂直軸型風力発電装置に関する。従来の垂直軸型の風力発電装置として、ダリウス型、ジャイロミル型、サボニウス型などの風力発電装置がよく知られている。例えば、そのうちのサボニウス型は、複数の羽根を、垂直軸の円周方向にずらして配置して成り、風の抗力を利用して、風向に関係なく回転するよう構成されている(例えば、特許文献1または2参照)。特開2005−83224号公報 ...

    垂直軸型風力発電装置

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  20. 本発明は、ビル等の建造物を下層からだるま落とし的に解体する建造物の解体方法に関する。従来、建造物の解体作業は、低層建造物から高層建造物に至るまで悉く、屋上等の最上部から開始され、地下基礎部等の最下部にて終了されるのが一般的である。解体されたコンクリート塊、木塊、鉄材、更には柱や床を構成した木材等は、ある程度の量をまとめてクレーンにより、或いはベルトコンベア等により地上...

    建造物の解体方法

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