X線回折装置 の意味・用法を知る

Ｘ線回折装置においては、通常、測定対象である試料にＸ線を照射し、そのときに試料で回折したＸ線、すなわち回折Ｘ線のＸ線強度をＸ線検出器によって検出する。このＸ線回折装置に用いられるＸ線検出器として、いわゆる点状Ｘ線検出器及び線状Ｘ線検出器が知られている。

• 公開日： 1999/01/12
• 出典： 線状Ｘ線検出器を備えたＸ線回折装置
• 出願人： 株式会社リガク

ところで、従来、微小試料に関する結晶構造等を分析するためのＸ線装置として微小部Ｘ線回折装置が知られている。この微小部Ｘ線回折装置について簡単に説明すれば次の通りである。

• 公開日： 2001/11/09
• 出典： Ｘ線回折装置
• 出願人： 株式会社リガク

Ｘ線分析装置は、試料へＸ線を照射したときに該試料から出るＸ線、例えば回折線、散乱線、蛍光Ｘ線等の状態に基づいて、試料の結晶構造、分子構造等を分析する装置である。このようなＸ線分析装置として、例えば、試料から発生する回折線の回折角度及び回折線強度を測定するＸ線回折装置や、試料から発生する散乱線の角度及び強度を測定するＸ線散乱装置や、試料から発生する蛍光Ｘ線を測定する蛍光Ｘ線装置等が知られている。

• 公開日： 2010/08/05
• 出典： Ｘ線分析及び熱分析同時分析装置
• 出願人： 株式会社リガク

Ｘ線回折装置、蛍光Ｘ線装置、Ｘ線小角散乱装置等といったＸ線分析装置においては、Ｘ線発生装置から発生するＸ線が分析対象である試料に照射される。一般のＸ線発生装置では、陰極から発生した電子を対陰極の表面に衝突させることにより、その対陰極の表面からＸ線を発生させている。電子が衝突する領域、すなわちＸ線が発生する領域は、通常、Ｘ線焦点と呼ばれている。

• 公開日： 2008/11/06
• 出典： Ｘ線発生装置及びＸ線分析装置
• 出願人： 株式会社リガク

しかしながら、従来のＸ線回折装置と蛍光Ｘ線分析装置は、それぞれ専用の分析装置として構成されており、一台の分析装置でＸ線回折測定と蛍光Ｘ線分析とを実施できるものはなかった。このため、Ｘ線回折測定と蛍光Ｘ線分析とを併せて実施しようとした場合、これらＸ線回折装置と蛍光Ｘ線分析装置の双方を揃えなければならず、多額の設備コストがかかり経済的負担が大きいという問題があった。

• 公開日： 1997/10/03
• 出典： Ｘ線分析装置および蛍光Ｘ線分析用アタッチメント
• 出願人： 株式会社リガク

本実施形態では、Ｘ線分析装置である蛍光Ｘ線分析装置について説明したが、Ｘ線分析装置は蛍光Ｘ線分析装置に限られたものではなく、Ｘ線回折装置などのその他のＸ線分析装置を含む。

• 公開日： 2007/11/01
• 出典： 湾曲Ｘ線分光素子の製造方法ならびその湾曲Ｘ線分光素子およびそれを用いるＸ線分析装置
• 出願人： 株式会社リガク

なお、検査対象物の正確な位置合わせを要求する分析装置や測定装置は、発光分光分析装置に限られず、多種多様に存在する。例えば、赤外分光分析装置や分光蛍光光度計などの分光分析装置、蛍光Ｘ線分析装置、Ｘ線回折装置を挙げることができる。さらに、検査対象物をカメラなどで撮影して得られた画像データを分析することにより、検査対象物の物性を分析するような分析装置や測定装置においても、検査対象物を正確に位置合わせすることが要求される。

• 公開日： 2009/12/17
• 出典： 位置調整装置および発光分光分析装置
• 出願人： テクノシステム株式会社