ダウンフロー の意味・用法を知る

ＥＦＥＭシステムにおいて、ポッド開放時に ダウンフロー よりポッド内に侵入する気体を抑制する。

• 公開日：2015/11/16
• 出典：ＥＦＥＭシステム及び蓋開閉方法
• 出願人：ＴＤＫ株式会社

この導風板により ダウンフロー を下段に支持されている被処理体に案内することにより、大気搬送室内にて被処理体を効率的に冷却することができる。

• 公開日：2013/12/26
• 出典：クーリング機構及び処理システム
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

ダウンフロー を発生させるための機構を簡素化した処理装置を提供すること。

• 公開日：2012/01/05
• 出典：処理装置
• 出願人：株式会社ディスコ

小型で、基板の搬送ブロックに ダウンフロー を形成する際の消費エネルギーが少ない基板処理装置を提供する。

• 公開日：2013/05/13
• 出典：基板処理装置
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

通気部は、上記基台部の上面に開口され、かかる基台部の外部から内部へ ダウンフロー を通気させる。

• 公開日：2013/12/12
• 出典：搬送ロボットおよび搬送ロボットを備えた局所クリーン装置
• 出願人：株式会社安川電機

クリーンルーム１０は、浄化エリア１２Ｂの天井面に設けられ、天井裏空間２２のエアを浄化して浄化エリア１２Ｂに ダウンフロー するＦＦＵ２０と、浄化エリア１２Ｂに設けられ、エアを吸い込んでダウンフローするＦＦＵ４０と、リターンエリア１２Ａの天井面に形成されるリターン開口部２６と、浄化エリア１２Ｂとリターンエリア１２Ａの間の天井面から部屋１２内に垂設される垂れ壁部材２８と、を備える。

• 公開日：2008/07/10
• 出典：クリーンルーム
• 出願人：株式会社日立プラントサービス

少なくとも１つの並流アップフロー水素化処理反応段、少なくとも１つの気−液接触段、および少なくとも１つの ダウンフロー 水素化処理反応段からなり、炭化水素質液体からなる原料から１種以上の不純物を除去するための多段水素化処理プロセスであって、（ａ）前記原料を、第一反応段を構成する並流アップフロー水素化処理反応段において、水素化処理触媒の存在下に、前記原料より低い不純物含有量の第一段流出物（該流出物は、第一段で水素化処理された炭化水素質液体および蒸気からなり、そのいずれも依然として前記不純物を含み、かつ前記蒸気は水素化処理された炭化水素質原料成分を含み、さらに前記不純物は前記液体および蒸気流出物の間で平...

• 登録日：2009/12/11
• 出典：アップフロー段蒸気の不純物を非接触除去する多段アップフローおよびダウンフロー水素化処理
• 出願人：エクソン・リサーチ・アンド・エンジニアリング・カンパニー

搬送室内に形成されている ダウンフロー の流速を適切なタイミングで調整することによって，搬送室内にて基板の表面上にパーティクルが付着することを確実に防止する。

• 公開日：2009/04/09
• 出典：基板搬送装置及びダウンフロー制御方法
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

基板の処理領域に他の領域から流入する ダウンフロー の量を低減し、基板の処理の均一性を確保することができる処理領域分離壁、それを備えた処理ユニット収納棚および基板処理装置を提供することである。

• 公開日：2005/04/07
• 出典：処理ユニット収納棚および基板処理装置
• 出願人：株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

ダウンフロー が構成されたクリーンルーム内において被塗布面が下方を向いた姿勢で保持された基板の被塗布面に形成される塗布膜をムラなく乾燥させる。

• 公開日：2003/04/15
• 出典：塗布膜の乾燥方法、塗布膜の形成方法、及び塗布膜形成装置
• 出願人：ＨＯＹＡＴｅｃｈｎｏｓｕｒｇｉｃａｌ株式会社