スパッタリング法 の意味・用法を知る

また、薄膜製造方法に関しては、ＣＶＤ、真空蒸着法、分子線エピタキシー法、 スパッタリング法 、イオン化蒸着法、レーザーアブレーション法、液相エピタキシー法、など薄膜製造方法を問わず原理的に問題無く実現可能である。

• 公開日： 2002/04/19
• 出典： 薄膜製造装置と薄膜の製造方法並びに薄膜トランジスタの製造方法
• 出願人： 株式会社ジャパンディスプレイ

ニッケルめっき層は、公知のニッケルめっき処理により設けられた層である。このようなニッケルめっき処理としては限定的でなく、例えば、電解めっき法、無電解めっき法、 スパッタリング法 等が挙げられる。ニッケルめっき層が複数のめっき法により形成されることにより、複数のニッケルめっき層であってもよい。

• 公開日： 2008/08/07
• 出典： 非水電解質二次電池用正極
• 出願人： 住友電気工業株式会社

しかし、上記従来の塗料を塗布することにより形成された透明導電膜の導電性は、 スパッタリング法 、または蒸着法によって形成された透明導電膜の導電性よりも劣るという問題があった。

• 公開日： 2006/09/21
• 出典： 透明導電体の製造方法
• 出願人： 日立マクセル株式会社

しかし、 スパッタリング法 では、プリント配線板用基材の製造において大型の真空設備を必要とする。すなわち、スパッタリング法によりプリント配線板用基材を製造するためには初期費用がかさむ。

• 公開日： 2013/08/19
• 出典： プリント配線板用基材の製造方法
• 出願人： 住友電気工業株式会社

透明基材の少なくとも片面にハードコート層を備え、かつ透明基材側から中屈折率層、高屈折率層、低屈折率層の順に配置された反射防止層を備え、中屈折率層が電離放射線硬化型樹脂からなり、高屈折率層が スパッタリング法 により形成されていることを特徴とする反射防止フィルム。

• 公開日： 2004/11/04
• 出典： 反射防止フィルム
• 出願人： 帝人フィルムソリューション株式会社

対向する一対の電極間に、複数の電界発光層が電荷発生層を挟んで積層されている発光素子において、電界発光層に損傷を与えることなく、 スパッタリング法 を用いて電界発光層上に電荷発生層を形成することができる発光素子および発光装置の提供を課題とする。

• 公開日： 2005/12/08
• 出典： 発光素子およびその作製方法、並びに発光装置
• 出願人： 株式会社半導体エネルギー研究所

しかしながら、蒸着法や スパッタリング法 といった乾式成膜法で帯電防止層、低屈折率層を形成する場合と比較して、塗液を用いた湿式成膜法により帯電防止層、反射防止層を形成する場合にあっては、形成される帯電防止層、反射防止層の膜厚が面内で微量変動する傾向にある。反射防止フィルムは、低屈折率層と帯電防止層の光学干渉により反射防止機能が発現するため、帯電防止層、反射防止層の膜厚が面内で微量変動した場合には、反射防止フィルムは面内で色ムラとして確認される。

• 公開日： 2010/08/19
• 出典： 反射防止フィルム
• 出願人： 凸版印刷株式会社