スクラッチ の意味・用法を知る

当該被研磨物保持枠材の使用により被研磨物の脱落問題は改善されたが、研磨中に被研磨物保持枠材の内側面に接触して被研磨物が破損したり、被研磨物保持枠材内側面が破損して スクラッチ の原因となったりする問題が新たに発生した。

• 公開日： 2007/01/18
• 出典： 被研磨物保持枠材および研磨ヘッド
• 出願人： ニッタ・ハース株式会社

この研磨方法で研磨すると、段差の少ない研磨面が得られるが、供給される全ての砥粒が軟質研磨定盤に埋め込まれるわけではなく、大部分の砥粒が軟質研磨定盤と非研磨物の間で転動して研磨するため、 スクラッチ の発生が多くなり、高精度の仕上げ研磨が困難であった。

• 公開日： 2011/03/31
• 出典： 軟質研磨定盤への埋め込み用砥粒保持シート及びこれを用いた砥粒埋め込み軟質研磨定盤の製造方法。
• 出願人： Ｍｉｐｏｘ株式会社

研磨装置の研磨工具に付着した固化した研磨剤や不純物を確実に除去でき、被研磨対象物への スクラッチ の発生を抑制でき、被研磨対象物の被研磨面に存在する残留パーティクルを減少させることができる研磨装置、研磨方法および研磨工具の洗浄方法を提供する。

• 公開日： 2001/05/22
• 出典： 研磨装置、研磨方法および研磨工具の洗浄方法
• 出願人： ソニー株式会社

被研磨物表面の研磨加工時に発生する欠陥である スクラッチ の発生を抑え、研磨加工の始めよりこれまでの研磨布より研磨レートが高く、加工数量が増してもその研磨レートの下降が小さい研磨布を提供する。

• 公開日： 2013/09/26
• 出典： 研磨布
• 出願人： 株式会社ＦＩＬＷＥＬ

保管期間に依存せず、長期間保管した後の研磨でも被研磨物のナノ スクラッチ を顕著に低減することができる容器入り研磨材粒子分散液及び該容器入り研磨材粒子分散液を含む研磨液キットを提供すること。

• 公開日： 2006/05/25
• 出典： 研磨材粒子分散液の保管方法
• 出願人： 花王株式会社

被研磨物の被研磨面における スクラッチ の発生が十分に抑制され、かつ研磨速度および被研磨面の平坦性に優れ、且つ数多くの被研磨物を連続研磨しても研磨性能が劣化しない化学機械研磨パッドならびに高い研磨速度で改善された被研磨面を与える高効率の化学機械研磨方法を提供すること。

• 公開日： 2009/02/05
• 出典： 化学機械研磨パッドおよび化学機械研磨方法
• 出願人： ＪＳＲ株式会社

上記化学機械研磨パッドおよび上記化学機械研磨方法によれば、化学機械研磨において、研磨速度が高く、研磨量の面内均一性に優れ、かつ、 スクラッチ の少ない被研磨面を得ることができる。

• 公開日： 2010/01/21
• 出典： 化学機械研磨パッドおよび化学機械研磨方法
• 出願人： ＪＳＲ株式会社