シンナー の意味・用法を知る

レジスト塗布装置１には、この シンナー 中の異物を電気的に集塵する電気集塵装置がモジュールとして組み込まれている。

• 公開日：2017/10/19
• 出典：処理液供給装置
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

円形の基板（ウエハＷ）について、前記ベベル部Ｂの形状の情報を取得する工程と、続いて、前記処理液（ シンナー ３０）を前記基板の表面に局所的に吐出する処理液吐出ノズル４４を、取得された前記ベベル部Ｂの形状の情報に基づいて決定される処理位置へ移動させる工程と、然る後、前記処理位置における処理液吐出ノズルから回転する前記基板に前記処理液を吐出し、前記ベベル部を含む当該基板の周縁に沿った環状領域に前記処理液を供給する工程と、を実施する。

• 公開日：2017/12/14
• 出典：液処理方法、液処理装置及び記憶媒体
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

ウェハ上に処理液としての シンナー を供給する方法であって、シンナーを脱気機構により脱気処理して脱気シンナーを生成する脱気処理液生成工程と、脱気シンナーをポンプＰ１の貯留室２１０内に貯留する処理液貯留工程と、貯留室２１０の下流側にシンナー供給管２００を介して接続されたフィルタ２０１の、さらに下流側をポンプＰ１の貯留室２１０内の圧力に対して負圧にすることで、フィルタ２０１に貯留室２１０内の脱気シンナーを通液するフィルタ通液工程と、ポンプＰ１の貯留室２１０からフィルタ２０１へのシンナーの供給を停止した後に、フィルタ２０１の下流側を負圧にした状態を所定の時間維持する負圧維持工程と、を有する。

• 公開日：2016/11/17
• 出典：処理液供給方法、読み取り可能なコンピュータ記憶媒体及び処理液供給装置
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

ノズルから吐出される シンナー の液流の状態を示す模式図である。

• 公開日：2016/10/06
• 出典：薬液供給装置の調整方法、記憶媒体及び薬液供給装置
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

このガイド部材２１には、 シンナー をウエハＷの裏面に吐出して洗浄する裏面洗浄ノズル２２が設けられている。

• 公開日：2017/08/31
• 出典：薬液排出機構、液処理装置、薬液排出方法、記憶媒体
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

たとえば、処理液は、ＩＰＡ以外の有機溶剤、たとえば シンナー 等であってもよいし、有機溶剤以外の薬液、たとえば、ＤＨＦやＳＣ１等であってもよい。

• 公開日：2020/03/26
• 出典：基板処理装置および基板処理方法
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

溶媒としては、水、アルコール、ケトン、エステル、炭化水素等の常温（２０〜２５℃程度）で液状である溶媒が挙げられ、メタノール、エタノール、ブタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、キシレン、トルエン、酢酸ブチル、ミネラルスピリット（ミネラル シンナー 、ペトロリウムスピリット、ホワイトスピリット、ミネラルターペン等）等が好ましい。

• 公開日：2020/03/19
• 出典：フィルム、フィルムの製造方法およびフィルム付き成形品
• 出願人：旭硝子株式会社

即ち、本実施例の塗料供給システム１は、主剤、硬化剤及び希釈用 シンナー の３液を混合した３液混合塗料をスプレーガンに供給するシステムとしている。

• 公開日：2020/03/19
• 出典：多液混合塗料の供給システム及びそれを用いた多液混合塗料の供給方法
• 出願人：タクボエンジニアリング株式会社

分散媒としては、水、 シンナー 、トルエン、ケトン類、酢酸ブチル、アルコール類、鉱物油などの溶媒が挙げられ、複数種の溶媒を混合した混合溶媒でもよい。

• 公開日：2020/03/19
• 出典：コーティング組成物、コーティング膜及び構造体
• 出願人：富士ゼロックス株式会社

メタリックベース塗料組成物 ・樹脂付着アルミニウム顔料（実施例１〜４及び比較例２〜３）：（Ｃ１）＝３．２３ｇ（固形分質量） ・フレーク状アルミニウム粉末ペースト０．９２ｇとアクリル樹脂粒子２．３１（比較例１）：（Ｃ２）＝３．２３ｇ（固形分質量） ・ シンナー （関西ペイント株式会社、商品名「アクリック２０００ＧＬ」：（Ｄ）ｇ ここで、各樹脂付着アルミニウム顔料の（Ｃ１）又はフレーク状アルミニウム粉末ペーストの（Ｃ２）と（Ｄ）との合計量は１３ｇなるように、（Ｄ）の質量で調整した。

• 公開日：2020/03/19
• 出典：樹脂化合物付着アルミニウム顔料及びその製造方法
• 出願人：旭化成メディカル株式会社