シンナー の意味・用法を知る

ウェハ上に処理液としての シンナー を供給する方法であって、シンナーを脱気機構により脱気処理して脱気シンナーを生成する脱気処理液生成工程と、脱気シンナーをポンプＰ１の貯留室２１０内に貯留する処理液貯留工程と、貯留室２１０の下流側にシンナー供給管２００を介して接続されたフィルタ２０１の、さらに下流側をポンプＰ１の貯留室２１０内の圧力に対して負圧にすることで、フィルタ２０１に貯留室２１０内の脱気シンナーを通液するフィルタ通液工程と、ポンプＰ１の貯留室２１０からフィルタ２０１へのシンナーの供給を停止した後に、フィルタ２０１の下流側を負圧にした状態を所定の時間維持する負圧維持工程と、を有する。

• 公開日：2016/11/17
• 出典：処理液供給方法、読み取り可能なコンピュータ記憶媒体及び処理液供給装置
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

ノズルから吐出される シンナー の液流の状態を示す模式図である。

• 公開日：2016/10/06
• 出典：薬液供給装置の調整方法、記憶媒体及び薬液供給装置
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

このガイド部材２１には、 シンナー をウエハＷの裏面に吐出して洗浄する裏面洗浄ノズル２２が設けられている。

• 公開日：2017/08/31
• 出典：薬液排出機構、液処理装置、薬液排出方法、記憶媒体
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

〔刷毛塗り工程Ｋ２において〕 主剤と硬化剤を体積比９：１の割合で混合した二液型のウレタン樹脂塗料である商品名「エバーロックウレタン」（ロックペイント株式会社製）を、 シンナー で薄めた（塗料とシンナーを体積比３：７の割合で調合）。

• 公開日：2012/02/23
• 出典：木質材の塗装方法
• 出願人：小畑弘一

この例における処理液は乾燥により固化するものであり、溶剤は例えば シンナー である。

• 公開日：2019/05/23
• 出典：ノズル待機装置、液処理装置及び液処理装置の運転方法並びに記憶媒体
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

溶剤は、例えば シンナー などの有機溶剤である。

• 公開日：2019/05/23
• 出典：基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

混合溶液としては、それぞれの濃度が既知である複数の溶液成分により構成されていれば、特に限定されることはないが、たとえば、複数種類の揮発性有機化合物を溶液成分として含む混合溶液が例示され、より具体的には、塗料、印刷インキ、接着剤、防腐剤、断熱材、殺虫剤、防蟻剤、可塑剤、芳香剤、洗浄剤、ガソリン、灯油、 シンナー などが例示される。

• 公開日：2019/05/23
• 出典：ガス検知方法およびガス検知器
• 出願人：新コスモス電機株式会社

次に、得られた重合体を濃度３．０重量％となるように希釈剤（信越化学製、ＦＳ シンナー ）で希釈して撥液剤を調製した。

• 公開日：2019/05/09
• 出典：積層体および巻回体
• 出願人：日東電工株式会社

具体的には、ＰＮメラミン シンナー を用いてシンナー脱脂を行い、十分に脱脂した後、エアブローによってシンナーを揮発させた。

• 公開日：2019/04/04
• 出典：スプレー式加熱処理装置用トレー及びスプレー式加熱処理装置
• 出願人：株式会社日阪製作所

薬液４４は、例えば シンナー 等の樹脂を溶解する性質を有する液体である。

• 公開日：2019/04/04
• 出典：半導体装置の製造方法
• 出願人：富士電機株式会社