ショット の意味・用法を知る

インプリント材が供給された位置から接触工程が行われる位置へ ショット 領域を移動させる時に吐出口から型を保持する型保持部に向かう方向へのガスの第１の流れを生成し、移動工程の後に基板の中心から外周に向かってガスの第２の流れを生成するように、ガスを供給する。

• 公開日：2017/11/02
• 出典：インプリント方法及び物品の製造方法
• 出願人：キヤノン株式会社

インプリント装置は、基板における有効領域と無効領域とを識別するための領域情報に基づいて、基板の ショット 領域における前記有効領域の大きさを評価するための指標を求め、インプリント処理に関する動作を前記指標に応じて制御する制御部を備える。

• 公開日：2017/06/29
• 出典：インプリント装置、情報処理装置および物品製造方法
• 出願人：キヤノン株式会社

したがって、被験体、例えば、患者のマルチ ショット イメージングの間、ショットモーション間の検出及び／又は補正するためのシステム及び方法を提供する

• 登録日：2020/05/07
• 出典：マルチショット磁気共鳴イメージングシステム及び方法
• 出願人：フィリップス・エレクトロニクス・ネムローゼ・フェンノートシャップ

前記マルチビームの同時期の ショット のビーム電流量の合計が閾値を超えるショットについて、前記グループ毎に照射タイミングを切り替えながら前記マルチビームを照射し、前記ビーム電流量の合計が前記閾値を超えないショットについて、前記グループ毎に照射タイミングを切り替えずに、一括転送された各ビームのＯＮ／ＯＦＦ制御信号に沿って前記マルチビームを照射することを特徴とする請求項１記載のマルチ荷電粒子ビーム露光方法。

• 公開日：2017/10/19
• 出典：マルチ荷電粒子ビーム露光方法及びマルチ荷電粒子ビームのブランキング装置
• 出願人：株式会社ニューフレアテクノロジー

グリットと ショット とを噴射可能な循環式ブラスト装置１を用いた予防保全工法であって、鋼橋Ｋに対してグリットを用いてブラスト処理を行い、ブラスト処理済部分に対して疲労強度向上のためにショットを用いてショットピーニング処理を行い、その後、ショットピーニング処理済部分に対して最終仕上げ塗装を施すようにし、さらに破砕したショットをグリットとして再利用可能なものとした。

• 公開日：2017/10/05
• 出典：鋼構造物の予防保全工法
• 出願人：ヤマダインフラテクノス株式会社

本発明の一態様のマルチ荷電粒子ビーム露光方法は、荷電粒子線を用いたマルチビームの複数回の ショット について、ショット毎に、マルチビームのうち当該ショットでビームＯＮになるビーム群の合計電流値に応じて複数のグループのいずれかに割り当てる工程と、同じグループに割り当てられたショット同士が、連続して照射されるようにショット順を変更する工程と、グループ毎に、合計電流値に応じた当該グループ用の焦点補正位置にマルチビームの焦点位置を補正する工程と、同じグループに割り当てられたショット同士を当該グループ用の焦点補正位置にマルチビームの焦点位置が補正された状態で連続して照射するように、マルチビームの複数回のショ...

• 公開日：2017/12/14
• 出典：マルチ荷電粒子ビーム露光方法及びマルチ荷電粒子ビーム露光装置
• 出願人：株式会社ニューフレアテクノロジー

そのためには、ウエハの面内における上記の光照射（ ショット ）が各々行われた領域（ショット領域）間におけるＣＤの均一性だけではなく、ショット領域内におけるパターンのＣＤの均一性も向上させることが要請されている。

• 公開日：2017/10/12
• 出典：現像方法、現像装置及び記憶媒体
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

ショット 領域と型との位置合わせ精度を保証するために有利な技術を提供する。

• 公開日：2017/06/08
• 出典：インプリント装置、物品製造方法および位置合わせ方法
• 出願人：キヤノン株式会社

２ ショット 方によるチューブ保持用ポケットを有するチューブクランプ、金型及び方法を提供する。

• 公開日：2016/01/28
• 出典：チューブ保持用ポケットを有するチューブクランプと、２ショット成形金型及び方法
• 出願人：ニューフレイリミテッドライアビリティカンパニー

前記インプリント装置は、前記基板の少なくとも一部分の表面形状が前記型に向かって凸になるように前記基板を変形させる基板変形機構と、前記基板の ショット 領域の上のインプリント材に前記型を接触させる際の前記ショット領域の表面形状に基づいて前記ショット領域に対する前記インプリント処理の条件を決定する制御部とを備える。

• 公開日：2017/06/08
• 出典：インプリント装置および物品製造方法
• 出願人：キヤノン株式会社