MEM の意味・用法を知る
MEM とは、マイクロマシン や機械的光制御・光スイッチ などの分野において活用されるキーワードであり、株式会社リコー や富士通セミコンダクター株式会社 などが関連する技術を10,700件開発しています。
このページでは、 MEM を含む技術文献に基づき、その意味・用法のみならず、活用される分野や市場、法人・人物などを網羅的に把握することができます。
MEMの意味・用法
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近年、発振波長を変えることのできる波長可変レーザは、Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ（以下ＯＣＴという）への応用が期待できることから、近年盛んに研究開発が行われている。波長可変レーザとしては、Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ（以下、ＭＥＭＳという）技術により垂直共振器型面発光レーザ（以下、ＶＣＳＥＬという）の発振波長を制御する、いわゆるＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬが知られている。ＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬでは、具体的には、一対の反射鏡の一方を機械的に動かすことで共振器長を変動させ、レーザ発振波長を変化させている。
- 公開日：2017/05/25
- 出典：増幅素子、光源装置及び撮像装置
- 出願人：キヤノン株式会社
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ＭＥＭＳガスセンサを収容するパッケージを小型化する。
- 公開日：2017/12/14
- 出典：ＭＥＭＳガスセンサ、ＭＥＭＳガスセンサ実装体、ＭＥＭＳガスセンサ・パッケージ、ＭＥＭＳガスセンサ組立体、及びＭＥＭＳガスセンサの製造方法
- 出願人：日本写真印刷株式会社
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また、本発明は、被検者から採取された試料中のT MEM -180量を測定する工程を含む、がんの検査方法を提供する。
- 公開日：2017/06/22
- 出典：がん細胞特異的な抗体、抗がん剤、及びがんの検査方法
- 出願人：国立研究開発法人国立がん研究センター
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ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）ミラー製品（素子）は、複数の異なる特性をそれぞれ検査して良否判定を行う必要がある。従来、２軸ＭＥＭＳミラー製品を検査するためには、複数の異なる特性をそれぞれ検査するために、複数の検査装置が用いられている。例えば、特許文献１には、ＭＥＭＳミラー素子の共振周波数及び最大光学振り角の測定方法が開示されている。
- 公開日：2016/09/29
- 出典：検査システム
- 出願人：株式会社リコー
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駆動用 MEM S容量素子と、前記駆動用MEMS容量素子に高電圧信号を出力する高電圧出力アンプとを備え、前記同相補償用D/A変換器は、前記高電圧出力アンプの高電圧信号を入力とし、前記第1および第3の充電電位、もしくは、前記第2および第4の充電電位を生成する、請求項８記載の静電容量式センサ。
- 公開日：2018/02/22
- 出典：ＣＶ変換アンプおよび静電容量式センサ
- 出願人：ルネサスエレクトロニクス株式会社
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周波数掃引光源におけるＭＥＭＳ微小振動ミラーの振幅変動による画像のＳＮＲの低下を抑制することができる光干渉断層計を提供する。
- 公開日：2017/08/31
- 出典：光干渉断層計
- 出願人：キヤノン株式会社
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ケイ素系バリヤ層はまた、 MEM Sフィルムの層間の接着を改善することができる。
- 公開日：2017/09/07
- 出典：深部脳刺激リード
- 出願人：アレヴァニューロセラピューティクスソシエテアノニム
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パターンプロジェクタと、カメラと、モバイル機器ドライバ／インターフェースとを備える３次元奥行取得システムであって、前記プロジェクタ、前記カメラおよび前記ドライバ／インターフェースがモバイル電子機器の中に統合され、前記プロジェクタが、デジタル直線状アレイＭＥＭＳリボン光変調器および１次元だけに空間変化を含む２次元画像を投影するレンズシステムを含み、前記ＭＥＭＳリボン光変調器が、前記ドライバ／インターフェースからデジタル電子信号によって駆動され、前記信号が、正弦波のパルス密度変調表示を表わし、前記正弦波が一時的期間を特徴とする、３次元奥行取得システム。
- 公開日：2017/05/25
- 出典：小型３Ｄ奥行取得システム
- 出願人：アルケステクノロジー，インコーポレイテッド
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本発明は、一般に、ＭＥＭＳ ＤＶＣを動作させながら、コンタクト表面へのＭＥＭＳデバイスの衝撃を最小化する方法に関する。ＭＥＭＳデバイスのプルイン運動時の駆動電圧を低減することによって、コンタクト表面に向かうＭＥＭＳデバイスの加速が減少し、衝撃速度は減少し、ＭＥＭＳ ＤＶＣデバイスの発生する損傷が少なくなる。
- 公開日：2016/07/11
- 出典：寿命改善のためのＭＥＭＳＤＶＣ制御波形を制御する方法および手法
- 出願人：キャベンディッシュ・キネティックス・インコーポレイテッド
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〔実施形態１〕 図１は、本実施形態１及び以下の各実施形態に係る半導体集積回路装置１０００において、それに含まれるメモリマクロＭＥＭＵの概略的な構成例を示すブロック図である。図１にはＭＥＭＵがＳＲＡＭマクロである場合の例が示されている。ＭＥＭＵは、半導体集積回路装置即ちＬＳＩの設計環境においてライブラリとして提供されるメモリマクロが、ＬＳＩチップの設計データとしてインスタンスされたメモリユニットであり、メモリモジュールと呼ばれる場合もある。ライブラリとして提供されるメモリマクロは、ＳＲＡＭ、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Me...
- 公開日：2017/12/14
- 出典：メモリマクロおよび半導体集積回路装置
- 出願人：ルネサスエレクトロニクス株式会社
MEMの原理 に関わる言及
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このように、上記ＭＥＭＳ振動子の周波数調整方法で周波数調整されたＭＥＭＳ振動子は、精度よく周波数調整される。また、ＭＥＭＳ振動子の可動電極へのダメージがなく、信頼性を向上させ、特性の良好なＭＥＭＳ振動子を得ることができる。
- 公開日： 2006/05/11
- 出典： ＭＥＭＳ振動子の周波数調整方法およびＭＥＭＳ振動子
- 出願人： セイコーエプソン株式会社
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この様な移動体によれば、上述したいずれかのＭＥＭＳ振動子が搭載されていることで、振動周波数の変位と、ＭＥＭＳ振動子のＱ値の低下と、が抑制された信頼度の高い移動体を得ることができる。
- 公開日： 2014/09/18
- 出典： ＭＥＭＳ振動子、ＭＥＭＳ振動子の製造方法、電子機器、及び移動体
- 出願人： セイコーエプソン株式会社
MEMの問題点 に関わる言及
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この構造の一つの不利な点は、それが、流体出口を塞ぐのに十分な体積に達する集合体のための有限の時間を要するので、上述のＭＥＭＳ弁におけるように、流体の流れの迅速な遮断を実現することができないということである。
- 公開日： 2008/01/31
- 出典： マイクロ流体デバイス用の弁
- 出願人： イー２ブイバイオセンサーズリミティド
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なお、本実施形態においては、半導体装置の製造方法、製造装置の中でもドライエッチング法、ドライエッチング装置について説明したが、これを限定するものではなく、他の半導体製造方法、製造装置においても適用可能である。例えば、プラズマＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ装置においても適用可能である。また、ＴＦＴ及びＭＥＭＳの製造方法、製造装置においても適用可能である。
- 公開日： 2005/12/02
- 出典： 半導体装置の製造方法、及び半導体装置の製造装置
- 出願人： マッハコーポレーション株式会社
MEMの特徴 に関わる言及
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複数の実施形態において、光変調素子は、光干渉変調器素子を具備し、光変調アレイは、光干渉変調器アレイを具備する。しかしながら、その他の実施形態において、その他の型のＭＥＭＳ構造を含むその他の型の光変調器が、採用されることがある。
- 公開日： 2011/02/24
- 出典： 背面照明を使用して光干渉変調器を照明するシステム及び方法
- 出願人： クゥアルコム・メムス・テクノロジーズ・インコーポレイテッド
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直列振動子３５及びシャント振動子３６としては、ＭＥＭＳ静電駆動型振動子で形成される。このＭＥＭＳ静電駆動型振動子は、前述の図１及び図２と同様の構成、すなわち回路系を除いた振動子そのものの構造を採る。
- 公開日： 2006/01/05
- 出典： 高周波素子、並びに通信装置
- 出願人： ソニー株式会社
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必要なのはＭＥＭＳデバイス、及び介在物を有する構造であって、介在物はＭＥＭＳデバイスによく整合した熱膨張を有する。この構造を製造する方法の必要性が、更に存在する。
- 公開日： 2013/01/24
- 出典： ＭＥＭＳデバイス、及び介在物、並びにＭＥＭＳデバイス、及び介在物を統合するための方法
- 出願人： ザチャールズスタークドレイパーラボラトリーインコーポレイテッド
