MEM の意味・用法を知る

ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）ミラー製品（素子）は、複数の異なる特性をそれぞれ検査して良否判定を行う必要がある。従来、２軸ＭＥＭＳミラー製品を検査するためには、複数の異なる特性をそれぞれ検査するために、複数の検査装置が用いられている。例えば、特許文献１には、ＭＥＭＳミラー素子の共振周波数及び最大光学振り角の測定方法が開示されている。

• 公開日：2016/09/29
• 出典：検査システム
• 出願人：株式会社リコー

駆動用 MEM S容量素子と、前記駆動用MEMS容量素子に高電圧信号を出力する高電圧出力アンプとを備え、前記同相補償用D/A変換器は、前記高電圧出力アンプの高電圧信号を入力とし、前記第1および第3の充電電位、もしくは、前記第2および第4の充電電位を生成する、請求項８記載の静電容量式センサ。

• 公開日：2018/02/22
• 出典：ＣＶ変換アンプおよび静電容量式センサ
• 出願人：ルネサスエレクトロニクス株式会社

周波数掃引光源におけるＭＥＭＳ微小振動ミラーの振幅変動による画像のＳＮＲの低下を抑制することができる光干渉断層計を提供する。

• 公開日：2017/08/31
• 出典：光干渉断層計
• 出願人：キヤノン株式会社

図11G〜11Iは、様々な電極デザインを含む MEM Sフィルム構成を示す。

• 登録日：2020/03/06
• 出典：深部脳刺激リード
• 出願人：アレヴァニューロセラピューティクスソシエテアノニム

パターンプロジェクタと、カメラと、モバイル機器ドライバ／インターフェースとを備える３次元奥行取得システムであって、前記プロジェクタ、前記カメラおよび前記ドライバ／インターフェースがモバイル電子機器の中に統合され、前記プロジェクタが、デジタル直線状アレイＭＥＭＳリボン光変調器および１次元だけに空間変化を含む２次元画像を投影するレンズシステムを含み、前記ＭＥＭＳリボン光変調器が、前記ドライバ／インターフェースからデジタル電子信号によって駆動され、カメラによって測定される場合、パルス密度変調光信号が正弦波時間変化を有するよう、前記デジタル電子信号が、時間的周期を有する正弦波のパルス密度変調表示を表わ...

• 登録日：2020/02/07
• 出典：小型３Ｄ奥行取得システム
• 出願人：アルケステクノロジー，インコーポレイテッド

ＭＥＭＳＤＶＣデバイスを動作させる方法であって、ＭＥＭＳＤＶＣデバイスは、第１電極であって、その上に第１誘電体層が設けられ、第１コンタクト表面を有する第１電極と、第２電極であって、その上に第２誘電体層が設けられ、第２コンタクト表面を有する第２電極と、空洞内に設けられ、第１コンタクト表面と第２コンタクト表面との間にある可動のＭＥＭＳデバイスと、第１電極または第２電極のいずれかに接続された第１電極電圧ドライバとを備え、該方法は、第１電圧を第１期間に第１電極または第２電極のいずれかに印加することと、第１電圧を第２電圧に増加させ、この増加は第２期間に生じ、第２電圧はＭＥＭＳデバイスのプルイン電圧であり...

• 登録日：2020/02/04
• 出典：寿命改善のためのＭＥＭＳＤＶＣ制御波形を制御する方法および手法
• 出願人：キャベンディッシュ・キネティックス・インコーポレイテッド

〔実施形態１〕 図１は、本実施形態１及び以下の各実施形態に係る半導体集積回路装置１０００において、それに含まれるメモリマクロＭＥＭＵの概略的な構成例を示すブロック図である。図１にはＭＥＭＵがＳＲＡＭマクロである場合の例が示されている。ＭＥＭＵは、半導体集積回路装置即ちＬＳＩの設計環境においてライブラリとして提供されるメモリマクロが、ＬＳＩチップの設計データとしてインスタンスされたメモリユニットであり、メモリモジュールと呼ばれる場合もある。ライブラリとして提供されるメモリマクロは、ＳＲＡＭ、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Me...

• 公開日：2017/12/14
• 出典：メモリマクロおよび半導体集積回路装置
• 出願人：ルネサスエレクトロニクス株式会社

ますます多くの電気的機能を３ＤＩＣに統合する努力と並行して、ＭＥＭＳを電子装置に統合することが望まれている

• 登録日：2019/09/27
• 出典：集積ＭＥＭＳシステム
• 出願人：モーション・エンジン・インコーポレーテッド

ケーシングにＭＥＭＳ音響チップ及び音響抵抗体が収容され、ケーシングに第１音孔と第２音孔が形成される。ＭＥＭＳ音響チップは、ケーシングに固定され、音を電気信号に変換するための振動板電極が形成される。音響抵抗体は、凹陥状を呈する凹陥部の開口縁がケーシングに固定され前記凹陥部の奥部に前記ケーシング内に連通する連通音孔を有する。第１音孔は、ケーシングの外からＭＥＭＳ音響チップ内に連通する。第２音孔は、ケーシングの外から音響抵抗体の凹陥部内に連通する。第２音孔から前記音響抵抗体の連通音孔までの距離は前記第１音孔からＭＥＭＳ音響チップの振動板電極までの距離以上に設定されている。

• 公開日：2016/10/20
• 出典：単一指向性ＭＥＭＳマイクロホン
• 出願人：株式会社プリモ

微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）装置であって、光ビームを発生するように構成されたレーザ装置と、前記光ビームを受け取り出力するように構成された第１の導波路と、前記第１の導波路と端面同士が実質的にアライメントされた第２の導波路であって、前記実質的にアライメントされた端面を通した光学的結合により前記第１の導波路から前記光ビームの少なくとも一部を受け取るように構成された第２の導波路と、前記光ビームの一部の光強度の変化を検出するように構成された、前記第２の導波路に結合した検出器とを有し、前記第１または第２の導波路は前記ＭＥＭＳ装置の慣性変化に応じて可動であるように構成され、前記検出器は、前記第１または第...

• 登録日：2019/05/31
• 出典：光学式慣性センサ
• 出願人：インテルコーポレイシヨン