ITO膜 の意味・用法を知る

高平坦度かつ低抵抗率なＩＴＯ膜を成膜するスパッタリング装置およびスパッタリング方法を提供する。

• 公開日：2016/10/20
• 出典：スパッタリング装置およびスパッタリング方法
• 出願人：株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

ガラス基板と、該ガラス基板上に形成されたＢｉ、Ｔｉ、およびＳｎからなる群から選定された少なくとも一つの元素を含む散乱層と、該散乱層上に形成された被覆層と、該被覆層上に形成された透明導電膜とを有し、前記透明導電膜は、ＩＴＯ膜、ＳｎＯ２膜、ＧＺＯ膜、ＩＺＯ膜、ＡｌドープＺｎＯ膜、ＴａドープＳｎＯ２膜、およびＴｉドープＩｎ２Ｏ３膜のいずれかであり、前記被覆層は充填率が８５％以上であり、前記被覆層は、Ａｌ、Ｎｂ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗから選択された１種以上の元素を含有する酸化物と、Ｓｉ、Ａｌ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗから選択された１種以上の元素を含有する窒素酸化物と、Ｓｉ、Ａｌ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗか...

• 登録日：2019/09/13
• 出典：透光性基板、有機ＬＥＤ素子、透光性基板の製造方法
• 出願人：旭硝子株式会社

本発明の目的は、狭額縁化を実現すると同時に、表示パネルのＩＴＯ膜等の透明導電膜を安定してフロントフレームに接地することにより表示品位が良好な液晶表示装置を提供する

• 公開日：2016/08/08
• 出典：液晶表示装置
• 出願人：ＴｉａｎｍａＪａｐａｎ株式会社

従来、透明導電性フィルムとしては、ガラス基材上にＩＴＯ膜（インジウム・スズ複合酸化物膜）を形成した、いわゆる導電性ガラスがよく知られている。ガラス基材上にＩＴＯ膜を形成する場合には、２００℃以上で、通常は３００℃以上で加熱しながら成膜ができるため、１３０ｎｍの厚みで１０Ω／□以下の低い表面抵抗値（比抵抗値が１．３×１０−４Ω・ｃｍ）のＩＴＯ膜を容易に得ることができる。

• 公開日：2016/11/10
• 出典：透明導電性フィルムおよびその製造方法
• 出願人：日東電工株式会社

透明高分子基材１上の少なくとも一方の面に、ＳｎＯ２／（ＳｎＯ２＋Ｉｎ２Ｏ３）が２．０重量％以上５．０重量％以下であるＩＴＯからなる第１のＩＴＯ膜と、ＳｎＯ２／（ＳｎＯ２＋Ｉｎ２Ｏ３）が６．０重量％以上１５．０重量％以下であるＩＴＯからなる第２のＩＴＯ膜とが、透明高分子基材側から第１のＩＴＯ膜４、第２のＩＴＯ膜５の順に積層されてなり、第１のＩＴＯ膜の厚さｔ１と第２のＩＴＯ膜の厚さｔ２とが、つぎの（１）〜（３）の関係を有する透明導電性積層体１００。（１）５．０≦ｔ１＜１０．０（ｎｍ）（２）１０．０≦ｔ２≦３５．０（ｎｍ）（３）２０．０≦ｔ１＋ｔ２≦４０．０（ｎｍ）

• 公開日：2015/11/24
• 出典：透明導電性積層体およびタッチパネルデバイス
• 出願人：帝人株式会社

ＩＴＯ膜付ガラス板と同等の抵抗が低く品質の高いＩＴＯ膜付長尺フィルム、長尺フィルムを高いスパッタレートで生産することのできるスパッタ装置ならびに製造方法の提供。

• 公開日：2015/12/24
• 出典：スパッタ装置、および、ＩＴＯ膜付長尺フィルムの製造方法
• 出願人：日東電工株式会社

本発明は、可撓性の透明基材上に、透明導電層として結晶性のＩＴＯ膜が形成された透明導電性フィルムに関する。本発明の透明導電性フィルムは、特にタッチパネルなどにおける透明電極に好適に用いられる。

• 公開日：2016/10/13
• 出典：透明導電性フィルムおよびその製造方法
• 出願人：日東電工株式会社

透明基板２０、対向電極２１、及び、配向膜２２は光透過性を有する。透明基板２０として無アルカリガラス基板または石英ガラス基板を用いてもよい。対向電極２１の材料としてＩＴＯ（Indium Tin Oxide）を用いてもよい。なお、ＩＴＯ膜の上側及び下側に、光透過性を有する誘電体膜を形成してもよい。

• 公開日：2020/04/09
• 出典：光スイッチング素子
• 出願人：株式会社ＪＶＣケンウッド

図２Ａと図２Ｂは、図１の圧電デバイス１０Ａの作製工程図である。図２Ａにおいて、圧電デバイス１０Ａを構成する第１部分１０１と、第２部分１０２を作製する。第１部分１０１は、基材１１の上に、導電膜１２を形成し、導電膜１２の上に圧電体層１３を形成する。一例として、厚さ５０〜１００μｍのＰＥＴの基材１１の上に、導電膜１２としてＩＴＯ膜を室温のスパッタリングで形成する。

• 公開日：2020/04/09
• 出典：圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法
• 出願人：日東電工株式会社

続いて、図２を用いて、本発明に係る液晶パネルの他の実施形態を説明する。図２は、本実施形態に係る液晶パネル１００の構成を示す図である。液晶パネル１００の構成は、図１（Ａ）〜図１（Ｃ）に示す液晶パネル１０の構成と実質的に同一であるが、カラーフィルタ基板１４の主面には、透明導電膜１８が形成されている。透明性薄膜１８は、公知のＩＴＯ膜、金属ナノワイヤまたは有機導電膜等を使用することが可能である。透明性薄膜１８は、例えばタッチ操作の検知や静電気放電（ＥＳＤ）等の用途において形成される。

• 公開日：2020/04/09
• 出典：液晶パネル
• 出願人：株式会社ＮＳＣ