ITO膜 の意味・用法を知る

ＩＴＯ膜との密着性および強酸耐性に優れたエッチングレジスト膜を形成できるエッチングレジスト組成物、および、該組成物から得られる樹脂層を有するドライフィルムを提供する。

• 公開日：2016/12/28
• 出典：エッチングレジスト組成物およびドライフィルム
• 出願人：太陽インキ製造株式会社

本発明のこのような透明導電膜付き基板は、第１の透明導電膜上に第２の透明導電膜が設けられているので、第１の透明導電膜（ＩＴＯ膜）と第２の透明導電膜（ＳＴ膜）とからなる積層膜のシート抵抗の経時変化が少ない。これは、ＩＴＯ膜単層の場合は、ＩＴＯ膜から酸素が抜け出してしまうためシート抵抗の経時変化が著しいのに対し、ＩＴＯ膜とＳＴ膜との積層膜の場合は、ＩＴＯ膜表面での酸素の抜け（酸化物の還元）をＳＴ膜によって抑制でき、その結果、積層膜のシート抵抗の経時変化を少なくすることができるものと考えられる。 尚、第１の透明導電膜（ＩＴＯ膜）は酸化インジウムスズからなるが、これは、酸化インジウムスズを主成分とし...

• 公開日：2017/12/28
• 出典：透明導電膜付き基板、液晶パネル及び透明導電膜付き基板の製造方法
• 出願人：株式会社アルバック

赤外線を利用した光通信に使用される光スイッチとして、より透過率が高くて、反射を低減できるとともに、少ない工程で安価に作成できる高透過ＩＴＯ膜付きガラスを提供する。

• 公開日：2017/09/28
• 出典：高透過ＩＴＯ膜付きガラス
• 出願人：凸版印刷株式会社

高平坦度かつ低抵抗率なＩＴＯ膜を成膜するスパッタリング装置およびスパッタリング方法を提供する。

• 公開日：2016/10/20
• 出典：スパッタリング装置およびスパッタリング方法
• 出願人：株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

上記した特許文献１に開示されているように、Ｂｉ等を含有するガラス基板は周囲の環境により変色等する場合がある。そして、本願発明者等の研究では、ガラス基板の上にＩＴＯ膜を形成した際に、しばしば、ガラス基板に着色が生じる現象が認められている。

• 公開日：2017/02/23
• 出典：透光性基板、有機ＬＥＤ素子、透光性基板の製造方法
• 出願人：旭硝子株式会社

本発明の目的は、狭額縁化を実現すると同時に、表示パネルのＩＴＯ膜等の透明導電膜を安定してフロントフレームに接地することにより表示品位が良好な液晶表示装置を提供する

• 公開日：2016/08/08
• 出典：液晶表示装置
• 出願人：ＴｉａｎｍａＪａｐａｎ株式会社

従来、透明導電性フィルムとしては、ガラス基材上にＩＴＯ膜（インジウム・スズ複合酸化物膜）を形成した、いわゆる導電性ガラスがよく知られている。ガラス基材上にＩＴＯ膜を形成する場合には、２００℃以上で、通常は３００℃以上で加熱しながら成膜ができるため、１３０ｎｍの厚みで１０Ω／□以下の低い表面抵抗値（比抵抗値が１．３×１０−４Ω・ｃｍ）のＩＴＯ膜を容易に得ることができる。

• 公開日：2016/11/10
• 出典：透明導電性フィルムおよびその製造方法
• 出願人：日東電工株式会社

透明高分子基材１上の少なくとも一方の面に、ＳｎＯ２／（ＳｎＯ２＋Ｉｎ２Ｏ３）が２．０重量％以上５．０重量％以下であるＩＴＯからなる第１のＩＴＯ膜と、ＳｎＯ２／（ＳｎＯ２＋Ｉｎ２Ｏ３）が６．０重量％以上１５．０重量％以下であるＩＴＯからなる第２のＩＴＯ膜とが、透明高分子基材側から第１のＩＴＯ膜４、第２のＩＴＯ膜５の順に積層されてなり、第１のＩＴＯ膜の厚さｔ１と第２のＩＴＯ膜の厚さｔ２とが、つぎの（１）〜（３）の関係を有する透明導電性積層体１００。（１）５．０≦ｔ１＜１０．０（ｎｍ）（２）１０．０≦ｔ２≦３５．０（ｎｍ）（３）２０．０≦ｔ１＋ｔ２≦４０．０（ｎｍ）

• 公開日：2015/11/24
• 出典：透明導電性積層体およびタッチパネルデバイス
• 出願人：帝人株式会社

ＩＴＯ膜付ガラス板と同等の抵抗が低く品質の高いＩＴＯ膜付長尺フィルム、長尺フィルムを高いスパッタレートで生産することのできるスパッタ装置ならびに製造方法の提供。

• 公開日：2015/12/24
• 出典：スパッタ装置、および、ＩＴＯ膜付長尺フィルムの製造方法
• 出願人：日東電工株式会社

...。照射側ヒータ２１及び検出側ヒータ２２は、いずれも透明導電膜Ｆｉと、一対の電極ＬＤｉ，ＬＧｉとを有する。なお、ｉは、照射側ヒータ２１に属する場合は１、検出側ヒータ２２に属する場合は２で示す。透明導電膜Ｆｉは、透明性と電気伝導性とを有する材料で形成されたヒータ膜である。透明導電膜Ｆｉとしては、例えば、ＩＴＯ膜を用いることができる。なお、ＩＴＯは酸化インジウムスズである。

• 公開日：2021/01/28
• 出典：測距装置
• 出願人：株式会社デンソー