キャリアガス の意味・用法を知る

図１に戻り、制御装置８は、 キャリアガス 用流量制御装置３０、希釈ガス用流量制御装置４０、ダミーガス用流量制御装置５０、キャリアガス制御弁３４、キャリアガス排気弁３５、ダミーガス制御弁５４、ダミーガス排気弁５５、演算装置７を統括制御する。

• 公開日： 2013/06/06
• 出典： ガス供給装置
• 出願人： セイコーエプソン株式会社

溶解ガスの膨張による影響は、該溶解ガスの溶解度が大きな試料ほど大きいと推察できる。この キャリアガス の逆流および乱流は、溶解ガスと水の混合流体の拡散を引き起こす。この拡散した混合流体は、分析精度に影響を与える原因となる。

• 公開日： 2013/09/26
• 出典： 高圧状態の水溶液に溶解している気体の溶解度を測定する方法および装置
• 出願人： 独立行政法人石油天然ガス・金属鉱物資源機構

しかし、本実施の形態では キャリアガス として窒素を用いているため、水素がＧａＩｎＮＡｓの結晶内にほとんど取り込まれることがない。その結果、ＧａＩｎＮＡｓの結晶の品質を向上させることができる。

• 公開日： 2003/05/30
• 出典： ＧａＩｎＮＡｓの結晶成長方法および発光素子の製造方法
• 出願人： セイコーエプソン株式会社

ところで、インジウム源の有機金属化合物の キャリアガス については、前述のように他の有機金属化合物のキャリアガスよりも流量が多くなるため、全キャリアガスを高窒素分率にするには窒素を用いる必要がある。そこで、窒素によるインジウム源の有機金属化合物の純度の低下を抑制するために、有機金属化合物を固体とする方法が考えられる。

• 公開日： 2001/04/27
• 出典： 窒化ガリウム系化合物半導体の製造方法
• 出願人： パナソニック株式会社

キャリアガス 、反応ガスを輸送するガス輸送管路に対して断熱材を被覆しなくても、安定した所定の温度でキャリアガス、反応ガス等を反応炉等に供給することができるガス輸送路を提供する。

• 公開日： 2009/08/27
• 出典： ガス輸送路およびこれを利用した半導体処理装置
• 出願人： 創研工業株式会社

好ましくは、調量装置は粉末貯蔵容器と調量室とを有しており、粉末を粉末貯蔵容器から重力を利用し調量管を介して、特に回転する調量皿に調量し、 キャリアガス を調量室内に導入し、キャリアガスが粉末を連行しつつサクションランス内に流入することにより、粉末を調量皿からサクションランスによって収容する。

• 公開日： 2010/05/06
• 出典： 特に導体路を溶射する方法並びに装置、及び導体路を備えた電気的な構成部材及び調量装置
• 出願人： レオニアクチエンゲゼルシャフト

図１に、粉体供給装置の概略構成を示す。粉体供給装置は、所定の供給対象としての粉体処理装置へ粉体を キャリアガス により圧送供給するものであり、粉体供給機１と、粉体供給機１にキャリアガスによる圧力を供給するための圧力供給装置２と、粉体供給機１及び圧力供給装置２を制御するための制御装置３とを備える。

• 公開日： 2003/10/24
• 出典： 粉体供給装置及び粉体供給方法
• 出願人： 愛三工業株式会社

窒素含有化合物のうち、ヒドラジンを分析する場合、熱伝導度検出器を検出器として分析しようとすれば、感度が低く、選択性もないので、実用的ではない。また水素炎イオン化検出器や熱イオン化検出器では全く応答が得られない。アンモニアの分析においては、検出器として熱イオン化検出器を用い、検出器に導かれる前のアンモニアに炭化水素を含有した キャリアガス を混合することにより熱イオン化検出器で検出できることが知られている。

• 公開日： 1998/02/13
• 出典： 窒素含有化合物の分析方法及び分析装置
• 出願人： 株式会社島津製作所

薄膜形成材料を分散した後の キャリアガス を終端噴射口から噴射した際の分散液の結晶化を防止することができる気化器用分散器、この気化器用分散器を用いたＭＯＣＶＤ用気化器及びキャリアガスの気化方法を提供することを目的とする。

• 公開日： 2005/03/17
• 出典： 気化器用分散器、この気化器用分散器を用いたＭＯＣＶＤ用気化器、及びキャリアガスの気化方法
• 出願人： 株式会社渡辺商行