電子銃 の意味・用法を知る

スループットを重要視する観点から、 電子銃 のカソードの輝度を上げるには、電子銃のカソードから放出されるエミッション電流を大きくすればよい。

• 公開日：2016/12/15
• 出典：荷電粒子ビーム描画装置、及び荷電粒子ビーム描画方法
• 出願人：株式会社ニューフレアテクノロジー

熱陰極型の 電子銃 の加熱手段としてレーザ光を用いることで電子銃を加速器本体内部に設置可能であり、高い効率でビームを輸送することが可能な荷電粒子加速器を提供する。

• 公開日：2016/12/28
• 出典：荷電粒子加速器
• 出願人：国立大学法人東京工業大学

少なくともエミッタを備えた 電子銃 であって、前記エミッタは、請求項１〜８のいずれか一項に記載のエミッタである、電子銃。

• 公開日：2017/10/05
• 出典：エミッタの製造方法
• 出願人：国立研究開発法人物質・材料研究機構

抵抗層は、絶縁性隔離子に関する表面降伏電界強度を有利に増加させ、ゆえに高電圧 電子銃 の小型設計を可能にする。

• 公開日：2015/03/12
• 出典：小型高電圧電子銃
• 出願人：センズアレイコーポレイション

本実施形態による電子源のクリーニング方法は、 電子銃 室６０内に不活性ガスを供給する工程と、電子源６４から電子を放出して前記不活性ガスをイオン化し、生成されたイオンのイオン衝撃により電子源６４に付着した不純物を除去する工程と、電子銃１４の電子ビーム放射特性の変化に基づいて前記不活性ガスの供給を停止する工程と、を備えるものである。

• 公開日：2017/02/02
• 出典：電子源のクリーニング方法及び電子ビーム描画装置
• 出願人：株式会社ニューフレアテクノロジー

電流制限絞りが使用できなくとも、輝度を低下させずに 電子銃 を制御する。

• 公開日：2015/09/24
• 出典：電子銃、三次元積層造形装置及び電子銃制御方法
• 出願人：日本電子株式会社

本発明は、上述した問題点を克服し、高電圧電極のサポート部材での沿面放電を抑制することが可能な 電子銃 用サポート部材および電子銃装置を提供する

• 公開日：2016/04/14
• 出典：電子銃装置
• 出願人：株式会社ニューフレアテクノロジー

本発明にかかる電子ビーム加工装置１は、被加工物１８が載置されるステージ１１と、ステージ１１を駆動するステージ駆動部１２と、被加工物１８に電子ビーム１７を照射する 電子銃 １３と、電子銃１３から照射される電子ビーム１７を制御する電子ビーム制御部１４と、ステージ駆動部１２および電子ビーム制御部１４を制御する主制御部１５と、を備える。

• 公開日：2017/09/21
• 出典：電子ビーム加工装置
• 出願人：ＮＥＣプラットフォームズ株式会社

本発明の一態様の電子ビーム描画装置は、電子ビームを放出する 電子銃 機構２３０と、光軸方向に対して電子銃機構よりも後側に配置され、電子銃機構の高さ位置を可変に調整可能な高さ調整機構２１６と、光軸方向に対して高さ調整機構よりも後側に配置され、電子ビームを収束させる電子レンズ２１１と、電子銃機構の高さ位置が可変に調整されて変化した高さ位置ごとに、所定の位置に電子ビームがクロスオーバーを形成するように電子レンズを制御するレンズ制御部と、を備えたことを特徴とする。

• 公開日：2015/11/16
• 出典：電子ビーム描画装置、及び電子ビームの収束半角調整方法
• 出願人：株式会社ニューフレアテクノロジー

そこで、本開示では比較的小型な、収差の少ない 電子銃 （及び荷電粒子銃）を提供する

• 公開日：2014/11/17
• 出典：電子銃、荷電粒子銃およびそれらを用いた荷電粒子線装置
• 出願人：株式会社日立ハイテクサイエンス