走査型電子顕微鏡 の意味・用法を知る

集束イオンビーム加工装置を用いて薄膜試料の断面加工を行い、加工して得られた前記薄膜試料の断面を、 走査型電子顕微鏡 を用いて観察する試料の断面分析方法であって、円板の一部を切欠いて形成される切断縁部を有する略半円状の試料載置部を備えた試料台に、複数の前記薄膜試料を前記切断縁部に沿って並列させて載置固定し、前記試料台を前記集束イオンビーム加工装置に装着して前記薄膜試料を断面加工し、前記断面加工後に前記試料台を前記走査型電子顕微鏡に装着し、前記薄膜試料の前記断面加工した部分を観察及び／又は分析することを特徴とする。

• 公開日：2018/03/29
• 出典：試料の断面分析方法、及び試料台
• 出願人：住友金属鉱山シポレックス株式会社

実施例９で得られたナノ粒子の 走査型電子顕微鏡 写真である。

• 公開日：2017/09/28
• 出典：メソポーラスシリカナノ粒子の製造方法
• 出願人：株式会社豊田中央研究所

走査型電子顕微鏡 の品質を客観的に評価するための標準試料において、オフ角が大きい場合であっても性能を発揮可能な構成を提供する。

• 公開日：2017/11/02
• 出典：傾斜支持台付き標準試料、その製造方法、走査型電子顕微鏡の評価方法、及びＳｉＣ基板の評価方法
• 出願人：学校法人関西学院

走査型電子顕微鏡 の品質を客観的に評価するための標準試料を提供する。

• 公開日：2015/10/08
• 出典：走査型電子顕微鏡用標準試料、その製造方法、走査型電子顕微鏡の評価方法、及びＳｉＣ基板の評価方法。
• 出願人：学校法人関西学院

実施例２で得られた球状シリカ系メソ多孔体の 走査型電子顕微鏡 写真である。

• 公開日：2016/10/20
• 出典：球状シリカ系メソ多孔体及びその製造方法
• 出願人：株式会社豊田中央研究所

図１は、本発明の一つの例示的な実施形態による、倍率１０００ｘで撮った例示的なｅＰＴＦＥ繊維の上面の 走査型電子顕微鏡 写真（ＳＥＭ）である。

• 公開日：2016/10/06
• 出典：適合性微多孔繊維及びこれを含む織物
• 出願人：ダブリュ．エル．ゴアアンドアソシエイツ，インコーポレイティド

スパッタイオンポンプを主とする真空装置であって、スパッタイオンポンプを小型化してもなお所定の排気速度と真空到達度とを維持する小型の真空装置を備える 走査型電子顕微鏡 を提供する。

• 公開日：2016/06/20
• 出典：走査型電子顕微鏡
• 出願人：株式会社ＴＣＫ

比較例６で製造される多孔質体の断面の 走査型電子顕微鏡 写真である。

• 公開日：2015/09/24
• 出典：創傷被覆材
• 出願人：日立化成株式会社

実施例のマイクロエッチング剤により粗化処理された圧延銅表面の 走査型電子顕微鏡 写真（撮影角度４５°、倍率３５００倍）。

• 公開日：2017/08/31
• 出典：銅のマイクロエッチング剤および配線基板の製造方法
• 出願人：メック株式会社

本発明は、電子線透過膜に付着するコンタミネーションを軽減することのできる 走査型電子顕微鏡 を提供する。

• 公開日：2016/11/24
• 出典：走査型電子顕微鏡
• 出願人：株式会社テクネックス工房