エッチング液 の意味・用法を知る

このエッチング処理装置によれば、被エッチング物のエッチング処理面が エッチング液 に浸漬された状態で、エッチング処理面に所定の圧力でエッチング液が吹き付けられるので、エッチング処理面を垂直にしたにも拘わらず、エッチング処理面にエッチング液が均一に接触する。従って、エッチング処理面の全体に亘って均一にエッチング処理を行うことができる。

• 公開日： 2002/05/09
• 出典： エッチング処理装置
• 出願人： 旭技研株式会社

特に、最近には浸漬エッチング、流水エッチングまたはスプレーエッチングなどで代表される湿式エッチングが廃液の処理、調製後の エッチング液 の経時的な安定性、終点の確認、等方性エッチングの困難、パターンエッチングでの気泡による不均一なエッチングなどの問題点によって乾式エッチングが多く開発されている。

• 公開日： 2000/04/21
• 出典： 乾式エッチング装置用排気エレクトロード及び半導体装置製造用乾式エッチング装置の工程チャンバー
• 出願人： 三星電子株式會社

なお、かかる問題は現像処理後に水洗処理する場合に生じる特有の問題というわけではなく、他の処理、例えば処理液として エッチング液 を基板に供給してエッチング処理した後に水洗処理する場合にも生じる問題であり、処理液を基板に供給して処理した後で水洗処理する基板処理装置および基板処理方法において共通して発生する問題である。

• 公開日： 2007/05/17
• 出典： 基板処理装置および基板処理方法
• 出願人： 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

ところが、フッ酸を含む エッチング液 を処理液として用い、表面及び裏面にチタン含有膜が形成された基板の裏面からチタン含有膜を除去するための液処理方法及び液処理装置では、次のような問題がある。

• 公開日： 2012/03/29
• 出典： 液処理方法、その液処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体及び液処理装置
• 出願人： 東京エレクトロン株式会社

次に、ディスペンス法により エッチング液 を滴下し、突起部の基底部から胴部をエッチング処理することで括れを形成する。また滴下時においては、必要性に応じて針状体を傾斜させても良い。

• 公開日： 2010/07/01
• 出典： 胴部に括れを有する突起部を具備する針状体およびその製造方法
• 出願人： 凸版印刷株式会社

キャップ層のＶ溝の溝底が電流拡散層に到達していない場合、最初は、電流拡散層がキャップ層側に露出していない。そのため、まず、キャップ層のＶ溝のエッチングを進め、電流拡散層をキャップ層側に露出させた後、電流拡散層のエッチングを開始する。この場合、電流拡散層とキャップ層の両方に反応する エッチング液 を用いて、化学的エッチングを行うと、まず、キャップ層のＶ溝のエッチングを進め、そのまま、電流拡散層をキャップ層側に露出させた後、電流拡散層のエッチングを開始することができる。

• 公開日： 2005/08/18
• 出典： 発光ダイオードの製造方法、発光ダイオード
• 出願人： シャープ株式会社

また、別の目的は、各負極缶の収容凹部にだけを化学研磨することができ、しかも、 エッチング液 の低消費化が図ることができる扁平形アルカリ電池の負極缶エッチング装置を提供するにある。

• 公開日： 2008/12/11
• 出典： 扁平形アルカリ電池の電極缶メッキ方法、扁平形アルカリ電池の負極缶メッキ方法、扁平形アルカリ電池の負極缶メッキ収装置、扁平形アルカリ電池の負極缶エッチング装置、扁平形アルカリ電池の負極缶表面改質装置、扁平形アルカリ電池の負極缶洗浄装置及び扁平形アルカリ電池の負極缶乾燥装置
• 出願人： セイコーインスツル株式会社

被加工物である金属板を搬送する搬送手段と、金属板に エッチング液 をスプレー状に噴射するエッチングノズルとを備えるエッチング装置において、被加工物が大型化した場合でも、高い異方性加工が可能で加工ムラの少ないエッチング加工を行うことが可能なエッチング装置およびエッチング方法を提供する。

• 公開日： 2002/03/08
• 出典： エッチング装置及びそれを用いたエッチング方法
• 出願人： 凸版印刷株式会社