研削 の意味・用法を知る

表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域Ｗ１と該デバイス領域Ｗ１を囲繞する外周余剰領域Ｗ２とを備えるウエーハＷの加工方法であって、ウエーハＷの表面ＷＳ側をチャックテーブル２２に保持し、ウエーハＷの裏面ＷＲのうちデバイス領域に相当する領域を 研削 して凹部Ｗ３を形成することにより、該凹部Ｗ３の外周側に該外周余剰領域Ｗ２を含むリング状補強部Ｗ４を形成する工程と、裏面ＷＲに研磨液を供給しながらチャックテーブル２２と、ウエーハＷと同等以上の径を有する研磨パッド７８ｂを回転させて研磨パッド７８ｂをウエーハＷの裏面に押圧することにより凹部Ｗ３を研磨する工程と、を有する。

• 公開日：2018/04/12
• 出典：ウエーハの加工方法
• 出願人：株式会社ディスコ

そして、保護テープ側が保持テーブルで吸引保持された状態のウエーハに対して回転させた 研削 砥石を当接させて、ウエーハの裏面の研削を行う。

• 公開日：2018/03/29
• 出典：ウエーハの処理方法
• 出願人：株式会社ディスコ

この 研削 の積算量が設定値に達した場合には、ワークに形成される歯部の歯すじ方向に対して切刃部の歯すじ方向を傾斜させるようにカッター軸芯の姿勢を変更する軸角調整と、ワーク軸芯と加工点が構成する面内でカッター軸芯を傾斜させるオフセット角調整と、ワーク軸芯とカッター軸芯の距離を変更する軸間調整とを適宜組み合わせる。

• 公開日：2017/07/20
• 出典：歯車加工方法
• 出願人：アイシン精機株式会社

...て、デバイスウェーハの表面に保護部材を配設する保護部材配設ステップと、該保護部材配設ステップを実施する前または後に、デバイスウェーハの該分割予定ラインに沿って分割の起点となる改質層を形成する改質層形成ステップと、該保護部材配設ステップと、該改質層形成ステップと、を実施した後、デバイスウェーハの裏面を 研削 し、デバイスウェーハを個々のチップへと分割する研削ステップと、該研削ステップを実施した後、デバイスウェーハを洗浄する洗浄ステップと、を備え、該改質層形成ステップまたは該研削ステップでは、該分割起点となる改質層からクラックを伸長させ、該研削ステップでは、デバイスウェーハを親水性化させる加工液をデバ...

• 公開日：2018/03/22
• 出典：デバイスウェーハの加工方法
• 出願人：株式会社ディスコ

研削 装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削手段とを備えており、ウエーハの表面側を保護テープを介してチャックテーブルで保持して、ウエーハの裏面をチャックテーブル上で露出させ、裏面に対して研削手段の研削砥石を接触させてウエーハの研削を行っていく。

• 公開日：2018/04/12
• 出典：フレーム固定治具
• 出願人：株式会社ディスコ

両頭 研削 装置は、シリコンウェーハＷを支持可能な支持孔２４１を有する円板状のキャリアリング２と、キャリアリング２の中心Ｃ１を回転軸にして当該キャリアリング２を回転させる回転機構と、シリコンウェーハＷを研削する砥石を有する研削ホイール４とを備え、支持孔２４１は、当該支持孔２４１の中心Ｃ２がキャリアリング２の中心Ｃ１に対して偏心した円形状に形成されている。

• 公開日：2017/04/13
• 出典：研削装置および研削方法
• 出願人：株式会社ＳＵＭＣＯ

被加工物をより平坦に 研削 できる研削ホイールを提供する。

• 公開日：2017/03/09
• 出典：研削ホイール及び被加工物の研削方法
• 出願人：株式会社ディスコ

研削 装置１は、ウエーハＷを保持するチャックテーブル４と、チャックテーブル４に保持されるウエーハＷを研削する研削手段１０と、研削手段１０とチャックテーブル４とを相対的に接近及び離反する方向に研削送りする研削送り手段２０と、砥石１７の欠けを検出する欠け検出手段３０とを備え、欠け検出手段３０は、研削ホイール１６の径方向において投光部３１０と受光部３１１との間の空隙３１２に砥石１７が進入可能な光透過センサ３１と、光透過センサ３１を検出位置と退避位置とに移動させる移動手段３２と、受光部３１１が受光する受光量が予め設定されたしきい値以上のときに砥石１７が欠けていると判断する判断部３３とを備えたため、受光部...

• 公開日：2017/07/27
• 出典：研削装置
• 出願人：株式会社ディスコ

少なくとも両方の刃側面及び両方の刃先角部を 研削 できる砥石車を提供する。

• 公開日：2017/12/28
• 出典：砥石車及び研削盤
• 出願人：株式会社ジェイテクト

下穴Ｈの一部を 研削 により拡径するための拡径用ドリルビット１０であって、回転に伴う遠心力によって径方向外側にスライド移動し、下穴Ｈの一部を研削する複数の切刃部２１と、複数の切刃部２１を、それぞれ径方向にスライド自在に保持する切刃保持部２２と、切刃保持部２２を支持するシャンク部１２と、を備え、各切刃部２１は、下穴Ｈに対し、軸方向の一部が他の部分に先行して切り込んでゆく形状に形成された切刃本体５１と、切刃本体５１を内側から支持すると共に、切刃保持部２２にスライド自在に係合するリブ状支持部５２と、を有している。

• 公開日：2017/05/25
• 出典：拡径用ドリルビット
• 出願人：ＦＳテクニカル株式会社