水銀ランプ の意味・用法を知る
水銀ランプ とは、ホトレジスト感材への露光・位置合せ や半導体の露光(電子、イオン線露光を除く) などの分野において活用されるキーワードであり、株式会社ニコン やウシオ電機株式会社 などが関連する技術を28,418件開発しています。
このページでは、 水銀ランプ を含む技術文献に基づき、その意味・用法のみならず、活用される分野や市場、法人・人物などを網羅的に把握することができます。
水銀ランプの意味・用法
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これにより、 水銀ランプ 12の有効長lよりも拡大された照射面101a上の領域についても十分な光量の紫外線を照射することができる。
- 公開日:2010/03/25
- 出典:紫外線照射装置
- 出願人:東芝ライテック株式会社
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このランプユニット1においては、金属メッシュの温度を上昇させてこの埃を除去する加熱手段として、 水銀ランプ 11から、リフレクタ12、伝熱部22を介して伝達する熱を利用する。
- 公開日:2009/02/19
- 出典:ランプユニット及びこれが組み込まれる電気機器、電気機器の駆動方法
- 出願人:シャープ株式会社
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水銀ランプ の冷却効率と安全性を共に高く保った光学機器を得る。
- 公開日:2009/04/09
- 出典:光学機器及び光源の冷却方法
- 出願人:シャープ株式会社
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)12Aと、この 水銀ランプ 12Aを点灯するための点灯装置20Aと、前記水銀ランプ12Aからの光を反射する反射ミラー14Aと、当該反射ミラー14Aの光出射方向に配置され、当該水銀ランプ12Aから放射される光を投射するための光投射口を塞ぐ前面ガラス16Aとを具えるものである。
- 公開日:2006/12/14
- 出典:光照射装置
- 出願人:ウシオ電機株式会社
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水銀ランプ 11から発した光はリフレクタ12で反射される。
- 公開日:2009/02/19
- 出典:ランプユニット及びこれを用いた電気機器
- 出願人:シャープ株式会社
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導通用ワイヤが 水銀ランプ に無駄な力をかけることがないように、ランプの取り付け方向を拘束して、ランプ交換時及び点灯中のランプ破損が発生せず、ランプの設置作業を安全にし、かつ装置の安定的な運用を可能にする。
- 公開日:2003/02/14
- 出典:水銀ランプ、照明装置及び露光装置
- 出願人:キヤノン株式会社
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一方、楕円鏡は、露光装置を収容するクリーンルーム内に存在するアンモニアガス、硫黄酸化物あるいは有機珪素化合物等といった化学汚染物質(曇り物質)による曇りの発生を抑えるために、且つ楕円鏡表面に設けられる蒸着膜の耐熱温度以下となるように、上記所定温度範囲とは異なる温度範囲(例えば120℃〜350℃程度の化学物質が付着しない程度の高温度)に温度管理されることが好ましく、 水銀ランプ の陽極及び陰極の口金部は、変色や劣化を抑えるために例えば200℃程度といった比較的低温度に温度管理されることが好ましい。
- 公開日:2004/10/21
- 出典:光源用反射鏡保持装置、光源装置及び露光装置
- 出願人:株式会社ニコン
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水銀ランプ の再使用を実現し得る、輝度回復方法を提供する。
- 公開日:2007/05/24
- 出典:冷陰極管の輝度回復方法及び装置
- 出願人:NECフィールディング株式会社
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環境再現試験室内の環境条件を実際の太陽光による環境に近似させることができる 水銀ランプ とハロゲンランプの組み合わせ方式を利用したソーラーシミュレータを提供すること。
- 公開日:2006/08/17
- 出典:水銀ランプとハロゲンランプの組み合わせ方式を利用したソーラーシミュレータ
- 出願人:エージェンシーフォーディフェンスデベロップメント
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空気清浄装置は、臭い成分を分解する光触媒を担持した光触媒フィルタ3と、放物面鏡4と、放物面鏡4の焦点に配され、円形のバルブ断面を有し紫外線を発光する 水銀ランプ 5と、水銀ランプ5が円弧中心に位置する円弧面を有し、水銀ランプ5が発光する紫外線を放物面鏡4方向に反射させる内球面鏡6とをケーシング内に配置してなり、水銀ランプ5方向から来た紫外線を放物面鏡4が光触媒フィルタ3方向へ反射させて平行光束にする。
- 公開日:2001/03/13
- 出典:空気清浄装置
- 出願人:株式会社デンソー
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半導体の露光(電子、イオン線露光を除く)
- 半導体の露光の共通事項
- 紫外線,光露光の種類
- 紫外線,光露光用光源
- 光学系
- ステージ,チャック機構,及びそれらの動作
- ウェハ,マスクの搬送
- 露光の制御,調整の対象,内容
- 検知機能
- 検知機能の取付場所
- 制御,調整に関する表示,情報
- 位置合わせマーク
- 位置合わせマークの配置
- 位置合わせマークの特殊用途
- 位置を合わせるべき2物体上のマーク
- 位置合わせマークの光学的検出
- 検出用光学系
- 位置合わせマークの検出一般及び検出の補助
- X線露光
- X線光学系
- X線源
- X線露光用マスク
- レジスト塗布以前のウェハの表面処理
- レジスト塗布
- ベーキング装置
- 湿式現像,リンス
- ドライ現像
- レジスト膜の剥離
- 多層レジスト膜及びその処理
- 光の吸収膜,反射膜
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非携帯用の照明装置またはそのシステム
- 投光装置の用途
- 投光装置の共通事項
- 投光装置の灯具のタイプ
- 投光装置のハウジング(灯室内は除く)
- 投光装置の反射部
- 投光装置の屈折器
- 投光装置のスクリーンまたは非反射部材
- 投光装置の要素の組合せに特徴があるもの
- 投光装置の光源の取り付け
- 投光装置のビームの形状又は方向の変更
- 投光装置の保護(破損,加熱防止,防水等)
- 投光装置であって色光を発散させるもの
- 信号用照明装置の用途
- 信号用照明装置の目的
- 信号用照明装置の光源
- 信号用照明装置の屈折器
- 信号用照明装置の反射器
- 信号用照明装置のハウジングに特徴
- 信号用照明装置のその他の部材に特徴
- 信号用照明装置の固着方法
- 信号用照明装置の可動部材
- 信号用照明装置の部材の取り付け
- 装飾用,舞台用等,噴水用照明装置の目的
- 装飾用,舞台用等,噴水用照明装置の光源
- 装飾用照明装置の用途
- 装飾用照明装置の装飾用手段
- 装飾用照明装置の形状,材料
- 装飾用照明装置の装飾効果を変化させるもの
- 舞台用等照明装置の用途
- 舞台用等照明装置の照明効果が可変なもの
- 舞台用等照明装置の移動可能なもの
- 舞台用等照明装置の細部
- 噴水用照明装置の照明効果を高めるもの
- 噴水用照明装置の構造
- 他に分類されない電気的照明装置
- 他に分類されない非電気的照明装置
- 電気的と非電気的光源を組み合わせた照明
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照明装置の素子の配置,冷却,密封,その他
- 光源の種類
- 配線、コード、電路の保持手段
- スタータ(例、グローランプ)の取付箇所
- グローソケット又はその取付具の固定
- 配電ブロックの細部
- 変圧器、インピーダンスの配置効果
- プルスイッチの機能
- スイッチ(プルスイッチを除く)の種類
- 結合素子の機能
- 保安装置の機能
- ケーブル収納手段
- ケーブル収納装置の配置箇所
- 光源の種類
- 放熱、遮熱
- 強制冷却
- 水密、気密装置の機能
- 照明装置が組み込まれた棚、机
- 照明装置が組み込まれた家屋部材の種類
- 照明装置が組み込まれた家具の種類
- 照明装置が組み込まれた電気機器の種類
- 卓上照明スタンドに付加された文具の種類
- 照明装置が組み込まれた他の物品の種類
- 鏡に組み込まれた照明装置の光源の配置
- 空気調和用照明装置の空調機能
- 照明装置に付加された照明以外の機能
- ろうそく立ての使用形態
- ろうそく立ての自動消火機構
- 内部収納型ろうそく立てのろうそく支持機構
- ろうそく立ての機能