排気時間 の意味・用法を知る
排気時間 とは、CVD や半導体のドライエッチング などの分野において活用されるキーワードであり、株式会社日立国際電気 やアイシン精機株式会社 などが関連する技術を2,517件開発しています。
このページでは、 排気時間 を含む技術文献に基づき、その意味・用法のみならず、活用される分野や市場、法人・人物などを網羅的に把握することができます。
排気時間の意味・用法
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そして、制御装置は、その背もたれ面に作用する乗員荷重の変化に伴って、 排気時間 Tの計測値が当該排気時間Tの目標値に近づくように、シートバックの背もたれ面を変位させる背もたれ面荷重調整制御を実行する(ステップ109)。
- 公開日:2016/11/04
- 出典:シート装置
- 出願人:アイシン精機株式会社
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ブロー成形でのエア放出時間は、最適化になるまでトライ・アンド・エラーにて詰めているため、 排気時間 が必要以上になって生産性を落としている恐れがある。
- 公開日:2013/05/13
- 出典:中空成形機の制御方法
- 出願人:株式会社タハラ
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従って、真空状態に到達するまでの 排気時間 や、プロセスガス導入後に真空状態まで回復する排気時間は、処理能力に大きな影響を与えるためできるだけ排気時間を短縮したいという要求がある。
- 公開日:1999/10/19
- 出典:真空容器
- 出願人:株式会社アルバック
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この 排気時間 は接着剤のシリンジ内の残量に依存するので、演算装置10はこの排気時間に基づいてシリンジ内の接着剤の残量を演算する。
- 公開日:1998/05/19
- 出典:液体定量塗布装置
- 出願人:JUKI株式会社
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空気溜まりの発生を確実に防止できるとともに 排気時間 を十分に短縮でき、生産効率を向上できるフォトマスク密着装置22を提供する。
- 公開日:2004/04/30
- 出典:フォトマスク密着方法およびその装置
- 出願人:株式会社東芝
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なお、この基準 排気時間 は、例えば、排気手段の初期の性能(真空ポンプ2の初期の排気性能、排気管3の形状等)により算出することができ、また、実際に排気の動作させることにより測定することもできる。
- 公開日:1999/06/02
- 出典:基板処理装置
- 出願人:株式会社日立国際電気
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...おける車高が目標車高の近傍に到達するまで前記コンプレッサから前記車高調整機構へ高圧流体を流入させる上昇制御と、前記車高調整機構から高圧流体を流出させる下降制御とを選択的に実行する車高制御装置において、前記コンプレッサの起動が要求される場合に、前記コンプレッサと前記車高調整機構とを連通する経路を所定の 排気時間 だけ低圧空間に開放した後に、前記コンプレッサの起動を図るコンプレッサ起動手段と、前記コンプレッサの起動トルクを検出する起動トルク検出手段と、前記起動トルクに基づいて前記所定の排気時間を評価する排気時間評価手段と、前記所定の排気時間を、良好な評価の得られる時間に更新する排気時間更新手段と、を備...
- 公開日:1998/12/08
- 出典:車高制御装置
- 出願人:トヨタ自動車株式会社
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空気排除工程の開始から設定 排気時間 経過すると、各エア抜き弁30,32を閉じて、次工程へ移行する。
- 公開日:2020/03/26
- 出典:蒸気釜
- 出願人:三浦工業株式会社
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排気時間 は40分とする。
- 公開日:2020/03/19
- 出典:ハニカム構造体
- 出願人:イビデン株式会社
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すなわち、モータ32の回転速度、プラズマ処理装置100の初期排気圧力、スパッタ源4の選択、ターゲット41及びコイル55bへの印加電力、マイクロ波の発信器の出力、スパッタガスG1及びプロセスガスG2の流量、種類、導入時間及び 排気時間 、成膜及び膜処理の時間、冷却水Cの流量及び温度などである。
- 公開日:2020/03/12
- 出典:プラズマ処理装置
- 出願人:芝浦メカトロニクス株式会社
排気時間の問題点 に関わる言及
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ここで、許容時間とは、排気処理及びプロセス処理等を支障なく行うことができ、且つ、或る一定以上の排気能力を有する状態の排気手段であれば、排気を終了させることができる時間の基準 排気時間 からの遅れ時間である。このことは、基準排気時間から許容時間内に排気が終了すれば、排気手段の排気能力は排気処理及びプロセス処理を支障なく行うことができ、且つ、或る一定以上の能力を有しているということがいえる。
- 公開日: 1999/06/02
- 出典: 基板処理装置
- 出願人: 株式会社日立国際電気
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即ち、従来の爆発処理装置では、真空ポンプで直接爆発処理装置を排気していた。そのため、真空ポンプの排気能力で定まる 排気時間 より排気時間を短縮することはできないという問題があった。
- 公開日: 1995/08/29
- 出典: 速排気爆発処理装置
- 出願人: 三菱重工業株式会社
排気時間の特徴 に関わる言及
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したがって、排気管を最外側の環状管に設けることによって、排気管が最内側の環状管に設けられた場合に比べ排気管の長さをほぼ最外側の環状管の環径と最内側環状管の環径の差だけ短くでき、この差に対応した比率で 排気時間 が短くなる。
- 公開日: 1997/06/30
- 出典: 環形蛍光ランプの製造方法
- 出願人: パナソニック株式会社
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そこで、真空 排気時間 の短縮を図るために二つの排気系統を有する真空装置が開発されている。この真空装置は、細い排気管と太い排気管とを具備し、常圧から所定の低圧までは細い排気管を使用して、結露が発生しないような遅い排気速度で排気を行い、所定の低圧に達した後は太い排気管を使用して早い排気速度で真空排気を行うものである。
- 公開日: 1997/04/04
- 出典: 真空装置及び真空排気方法
- 出願人: 株式会社東芝
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- 半導体素子等への用途
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- 装置の形式(1)基板支持の形態・成膜中の基板の運動 図面+詳細な説明に例示されている形式をすべて付与する(除く従来例)
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