原版 の意味・用法を知る

制御部１６は、パターン形成を行う前に、 原版 保持部１３を移動させる予備駆動を繰り返し行う。

• 公開日：2017/10/05
• 出典：リソグラフィ装置およびその制御方法、ならびに物品の製造方法
• 出願人：キヤノン株式会社

原版 ＣＧＨ（計算機合成ホログラム）が記録された金属膜と、複数の色のカラーフィルタが組み合わせられて構成されるカラーフィルタとを用意するステップであって、前記金属膜の原版ＣＧＨは、前記カラーフィルタを構成する個々のカラーフィルタセグメントに対応して形成されており、異なる色のカラーフィルタセグメント同士が隣接する部位に対応する、前記金属膜の原版ＣＧＨにおいて、照明される再生照明光をガードするガードギャップが設けられている、ステップと、再生照明光源からの再生照明光を、前記金属膜及び前記カラーフィルタに照明して、原版ＣＧＨの再生光を再生するステップと、前記再生光を物体光とし、前記再生照明光を参照光とし...

• 公開日：2017/12/14
• 出典：フルカラー高解像度計算機合成ホログラム表示装置、その作製方法及びその作製装置
• 出願人：学校法人関西大学

前記走査露光装置は、前記基板１１５に形成される転写像の形状が補正されるように投影光学系１１０の光学特性を調整する調整機構１５０と、前記転写像の形状補正における補正残差に関する許容範囲に基づいて前記基板１１５および前記 原版 １０９の走査を制御するとともに前記調整機構１５０を制御する制御部１０３と、を備える。

• 公開日：2017/12/07
• 出典：走査露光装置および物品製造方法
• 出願人：キヤノン株式会社

原版 のパターンを基板に転写するリソグラフィ装置は、前記基板および前記原版の一方の側面を取り囲むように配置された電極構造と、前記電極構造に交流電圧を供給する電源とを備える。

• 公開日：2017/08/24
• 出典：リソグラフィ装置および物品製造方法
• 出願人：キヤノン株式会社

インプリント法は、凹凸パターンを有する 原版 を用いてインプリント材を成形し、基板上にインプリント材（例えば、硬化性樹脂）のパターンを形成する方法である。

• 公開日：2016/11/17
• 出典：インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法
• 出願人：キヤノン株式会社

基体と前記基体から突き出た突起部とを備える 原版 であって、前記突起部の表面が段差を有している、前記原版を作製する原版作製工程と、前記原版の凹凸を写し取って反転させることによって凹版を作製する工程であって、前記基体の形状に追従した形状を有する窪みである第１凹部と、前記突起部の形状に追従した形状を有する窪みである第２凹部とを有する前記凹版を作製する凹版作製工程と、前記第２凹部の内側面にスジ状の凹凸を形成する表面処理工程と、前記表面処理工程を経た凹版である加工版に、経皮投与デバイスの形成材料を充填して成形物を成形する成形工程と、前記成形物を前記加工版から離して、経皮投与デバイスを得る離型工程と、を含む...

• 公開日：2017/03/23
• 出典：経皮投与デバイス、および、経皮投与デバイスの製造方法
• 出願人：凸版印刷株式会社

露光時間に対する投影光学系の光学特性の変動量についての予測値を予測式によって求め、前記光学特性を変更する変更部を前記予測値に基づいて制御しながら、 原版 のパターンを基板に転写する処理を行う露光装置の制御方法は、前記投影光学系の物体面に複数のマークがマトリクス状に配列された専用パターンを用いて、前記予測式を決定する決定工程を含み、前記決定工程は、前記複数のマークの中から、前記処理時における前記物体面での照明領域内に配置された少なくとも２つのマークを選択する第１工程と、前記投影光学系の像面に形成された前記少なくとも２つのマークの像の位置に基づいて前記予測式を求める第２工程と、を含む。

• 公開日：2017/02/16
• 出典：評価方法、露光方法、露光装置、プログラム、および物品の製造方法
• 出願人：キヤノン株式会社

モールドの作製方法、パターンシートの製造方法、電鋳金型の作製方法、電鋳金型を用いたモールドの作製方法、及び 原版 を提供する。

• 公開日：2017/11/16
• 出典：モールドの作製方法、パターンシートの製造方法、電鋳金型の作製方法、及び電鋳金型を用いたモールドの作製方法
• 出願人：富士フイルム株式会社

基板に投影されるパターンの像の 原版 のパターンからのずれを低減する。

• 公開日：2017/01/05
• 出典：走査露光装置、走査露光方法、及びデバイス製造方法
• 出願人：キヤノン株式会社

微細な針状凸部が転写された微細な針状凹部を有する樹脂膜を凸型 原版 から剥離不良なく且つ迅速に剥離できる反転モールドの製造方法及び機能性シートの製造方法並びに剥離装置を提供する。

• 公開日：2017/09/14
• 出典：反転モールドの製造方法及び機能性シートの製造方法並びに剥離装置
• 出願人：富士フイルム株式会社