偏向器 の意味・用法を知る

上記方法を用いれば、副 偏向器 の偏向に伴う焦点、非点の補正量を主焦点補正機能、および主非点補正機能を用いて測定可能である。更にこの値を、副偏向器での焦点、非点の補正量に換算すれば、副焦点補正器および副非点補正器で副焦点補正量、副非点補正量を直接測定することなく、副焦点補正および副非点補正が可能となる。

• 公開日： 2006/10/26
• 出典： 電子ビーム描画装置および描画方法
• 出願人： 株式会社日立ハイテクサイエンス

なお、以下の説明では、 偏向器 によって偏向されたレーザー光が被走査面上を走査する方向を主走査方向という。また、走査光学系の光軸に沿う方向と主走査方向に直交する方向を副走査方向という。被走査面以外の部位の説明時に使用する各方向は、すべて被走査面での方向を基準とする。

• 公開日： 2008/11/13
• 出典： 走査光学系
• 出願人： ＨＯＹＡＴｅｃｈｎｏｓｕｒｇｉｃａｌ株式会社

一方、被走査面の走査に用いる 偏向器 として、例えばレゾナントスキャナを用いると、被走査面を等速で走査すべく、走査レンズとしてはＡｒｃＳｉｎ特性を有するものが用いられるが、そのような走査レンズを介して被走査面を走査すると、後述する理由により、被走査面上の主走査方向の両端部でビーム径が主走査方向に太る。

• 公開日： 2009/02/05
• 出典： 光ビーム走査光学装置
• 出願人： コニカミノルタ株式会社

それ故、この用途の場合、磁界偏向システムと静電偏向システムの差について説明する場合、試料に最も近い 偏向器 のみがそれぞれ磁界偏向器または静電偏向器でなければならない。前述したように、対称偏向システムを使用することが最良のモードのオプションである。

• 公開日： 2006/09/21
• 出典： 検出ユニット・スイッチを備える荷電粒子ビーム装置とそれを操作するための方法
• 出願人： アイシーティ，インテグレイテッドサーキットテスティングゲゼルシャフトフュアハーブライタープリューフテックニックミットベシュレンクテルハフツング

上記の通り、従来提案されてきた非機械式光 偏向器 は、一方向にしか光偏向を実現できないか、もしくは複数方向に光偏向可能であっても偏向角度が実用用途に対して十分でないという問題点がある。

• 公開日： 2011/04/28
• 出典： 複数ビーム偏向器、二次元スキャナ及び複数ビーム偏向モジュール
• 出願人： 株式会社リコー

このため、偏向手段単独による荷電ビームの偏向量が小さくても、偏向増幅手段により十分な偏向量を得ることが可能となる。また、偏向増幅手段により、 偏向器 の偏向能力を大きくする必要がなくなるので、従来の場合とは異なり、偏向手段の偏向能力を大きくすることに伴う問題は原理的に生じない。

• 公開日： 1997/10/03
• 出典： 荷電ビーム露光装置
• 出願人： 株式会社東芝

本手段においては、電磁 偏向器 による偏向量と静電偏向器による偏向量とが、電磁偏向器で生じた色収差と静電偏向器で生じた色収差とを相殺するような値に設定されるので、生じる偏向色収差がほとんどなくなる。なお、この場合、電磁偏向器と静電偏向器は、必ずしも同一平面上にある必要はない。

• 公開日： 2000/05/12
• 出典： 偏向器及びそれを用いた荷電粒子線装置
• 出願人： 株式会社ニコン

従来から、 偏向器 のある一つの偏向面で偏向された走査線が全て被走査面上を走査した後に、次の偏向面で偏向された走査線が被走査面上を走査する、いわゆる隣接走査方式の光走査装置が提案されている。

• 公開日： 2000/01/21
• 出典： 光走査装置
• 出願人： 株式会社リコー

副 偏向器 のゲインは、主偏向器の偏向位置に応じて設定することが望ましく、そのためには、マークを主偏向器の偏向範囲内に複数設け、副偏向器のゲインを各マーク位置で測定データに従って較正し、更にマーク位置間の副偏向器のゲインは各マーク位置での測定データから補間する。

• 公開日： 2003/08/15
• 出典： 近接露光方式電子ビーム露光装置の副偏向器のゲイン較正方法
• 出願人： 株式会社リープル

選択された内側の 偏向器 セル５７１の８個の隣接するセルを、以下のスキームに従って８個の隣接するセルの位置を特定するシンボルＬＯ、ＬＭ、ＬＵ、ＭＯ、ＭＵ、ＲＯ、ＲＭ、ＲＵによって指定する。

• 公開日： 2010/07/08
• 出典： 構造パターンの高解像度リソグラフィのための、複数の個々に成形された粒子ビームによって基板を照射する装置
• 出願人： ヴィステックエレクトロンビームゲーエムべーハー

このとき、丸め誤差量伝達手段は各偏向量演算器によって計算された丸め誤差量を丸め誤差量演算器へ転送し、丸め誤差量演算器は転送された全ての丸め誤差量を加算して丸め誤差低減用 偏向器 に設定する偏向量を求めるようにすることができる。

• 公開日： 1999/05/11
• 出典： 荷電粒子線照射装置
• 出願人： ルネサスエレクトロニクス株式会社