同一処理 の意味・用法を知る

搬送式基板処理において、処理槽の個数変更に容易に対応でき、同種処理を 同一処理 液で行うことができ、かつ装置規模の増大及びコスト増も抑制できる基板処理装置を提供する。

• 公開日： 2006/08/31
• 出典： 基板処理装置
• 出願人： 住友精密工業株式会社

更に、 同一処理 槽において、電解による窒素化合物の処理と、鉄電解によるリン化合物の処理とを同時に行う場合には、両処理における電極に加える電圧や電流の条件が異なるため、窒素化合物の電解処理に合わせてリン化合物の鉄電解による処理を行うと、著しく鉄溶出が生じてしまうため、同一処理槽において、窒素化合物及びリン化合物の処理を行うことは、困難であった。

• 公開日： 2002/09/10
• 出典： 排水処理装置及び排水処理システム
• 出願人： 三洋電機株式会社

処理系Ａおよび処理系Ｂのいずれも 同一処理 を別な実現手段で実施することが可能であるが、効率的なシステム構成を考慮すると、処理系Ａと処理系Ｂのそれぞれに適する処理対象がある。そこで、高速処理を実現するため、各処理系でそれぞれに適した処理の負荷を分担する。

• 公開日： 2002/02/08
• 出典： 画像処理装置
• 出願人： 株式会社リコー

ここで、 同一処理 可能な製造装置が複数台ある場合を考えると、製品をどの製造装置で処理すべきか、各製造装置毎の故障発生の可能性に基づいて的確に判断することが従来はできなかった。

• 公開日： 2003/09/12
• 出典： 半導体製造装置
• 出願人： 株式会社東芝

従来の下水処理場では、そこで発生する下水汚泥を 同一処理 場内で処理していたので、汚泥処理に伴って発生する下水返流水は流入する下水と一括処理することが可能であった。ところが、最近になって下水汚泥のみを処理する汚泥処理場が建設されるようになり、下水返流水のみを処理する設備が必要となってきた。

• 公開日： 1995/04/04
• 出典： 下水返流水の処理方法
• 出願人： 日本碍子株式会社

このような基板処理装置によれば、薬液を用いた複数の処理を 同一処理 槽内において被処理基板に対して施す際、処理毎に処理槽内への薬液の供給方法を変えている。これにより、各処理に適した方法で被処理基板を処理していくことができる。この結果、被処理基板に対する複数の処理を効率的に行うことができるとともに、被処理基板の板面内における処理の均一性を向上させることができる。

• 公開日： 2008/07/10
• 出典： 基板処理装置、基板処理方法、基板処理プログラム、および、プログラム記録媒体
• 出願人： 東京エレクトロン株式会社

酸、アルカリ廃水及び排気ガスの処理方法及びその装置において、廃水と排気ガスを 同一処理 装置により処理し、装置数、設置面積、薬品使用量および水使用量の減少を図る方法及び装置の提供。

• 公開日： 1998/12/22
• 出典： 酸、アルカリ廃水及び排気ガスの処理方法及びその装置
• 出願人： 日本電気株式会社