スピンコート法 の意味・用法を知る
スピンコート法 とは、半導体の露光(電子、イオン線露光を除く) やホトレジストの材料 などの分野において活用されるキーワードであり、ソニー株式会社 やHOYATechnosurgical株式会社 などが関連する技術を55,262件開発しています。
このページでは、 スピンコート法 を含む技術文献に基づき、その意味・用法のみならず、活用される分野や市場、法人・人物などを網羅的に把握することができます。
スピンコート法の意味・用法
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半導体装置の製造工程において スピンコート法 による成膜に有利な技術を提供する。
- 公開日:2015/10/01
- 出典:固体撮像装置の製造方法
- 出願人:キヤノン株式会社
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本発明は上述した問題点を鑑みてなされたものであり、 スピンコート法 により表示装置用基板の上に膜パターンを形成する際に、下地となる他の膜パターンの形状に起因する塗布ムラの発生を抑制することによって表示品位に優れた表示装置を提供すること、及び、表示装置の表示品質を向上させることが可能な表示装置用基板の製造方法を提供すること目的とする。
- 公開日:2008/09/25
- 出典:表示装置及び表示装置用基板の製造方法
- 出願人:三菱電機株式会社
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その後、液相ニッケル酢酸塩を スピンコート法 により非晶質珪素膜の表面に塗布する。
- 公開日:2007/01/25
- 出典:半導体装置の作製方法
- 出願人:株式会社半導体エネルギー研究所
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回転の停止している基板上にコート液を供給し、その後、前記基板を加速回転させて該基板上に前記コート液を拡げる スピンコート法 であって、前記基板を、前記コート液の拡がり速度が最大となる回転速度まで加速回転させることを特徴とするスピンコート法。
- 公開日:2004/05/27
- 出典:スピンコート法
- 出願人:ラピスセミコンダクタ株式会社
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少なくともスパッタリング法によって第1の中間層6と、当該第1の中間層6上に スピンコート法 によって第2の中間層7とをこの順に積層し、上記中間層4を形成する。
- 公開日:2003/11/07
- 出典:光記録媒体及びその製造方法
- 出願人:ソニー株式会社
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ゾルゲル法等の塗布液を、 スピンコート法 により、車両用窓等の大サイズのガラス基板へ、均一な膜厚で塗布する。
- 公開日:2000/09/05
- 出典:スピンコート法による薄膜の形成装置及び形成方法
- 出願人:セントラル硝子株式会社
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液だれや液の滴下が無く、歩留まりが高く、材料ロスの少ない スピンコート法 および光記録媒体を提供する。
- 公開日:1999/10/08
- 出典:スピンコート法および光記録媒体
- 出願人:TDK株式会社
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スピンコート法 を用いて、基板上の複数の領域にそれぞれ最適となる1種のレジスト膜を形成し、高い効率で描画を行う。
- 公開日:2016/05/16
- 出典:レジスト膜の形成方法および描画方法
- 出願人:株式会社ニューフレアテクノロジー
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スピンコート法 により均一な被覆層を形成するための手段を提供すること。
- 公開日:2012/08/23
- 出典:眼鏡レンズの製造方法
- 出願人:HOYATechnosurgical株式会社
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表面処理剤の塗布は、特に限定されず、公知の方法で行うことができ、例えば、バーコート法、スプレー法、 スピンコート法 、ロールコート法、カーテンコート法、浸漬法などで行うことができる。
- 公開日:2021/01/28
- 出典:銅張積層板
- 出願人:日本パーカライジング株式会社
スピンコート法の原理 に関わる言及
スピンコート法の問題点 に関わる言及
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基板への塗布法は特に限定されるものではなく、スプレー法、ディップ法、 スピンコート法 、ロールコート法、メニスカスコート法、スクリーン印刷法、インクジェット法等が利用できる。特にインクジェット法が好ましい。一工程で配線化できる利点がある。
- 公開日: 2007/08/30
- 出典: 超微粒子分散液および透明導電膜の製造法
- 出願人: 旭硝子株式会社
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湿式製膜方法に特に制限はないが、好ましくは スピンコート法 、キャスト法、インクジェット法を含む印刷法、LB法、ダイコート法、スプレー法、ディップコート法、ブレード法、及びスリットコート法、さらに好ましくは、均質な膜が得られやすく、かつピンホールが生成しにくい等の点から、スピンコート法、ダイコート法、ディップコート法、ブレード法、及びスリットコート法、最も好ましくはディップコート法、ブレード法、及びスリットコート法等の湿式流延塗布法による成膜が好ましい。
- 公開日: 2012/05/10
- 出典: 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び該製造方法により製造された有機エレクトロルミネッセンス素子
- 出願人: コニカミノルタ株式会社
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いずれの方法においても、塗布液を塗布する方法については特に制限されず、例えば、スクリーン印刷法、グラビア印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、インクジェット法、 スピンコート法 などの既知の塗布方法を用いることができる。
- 公開日: 2012/11/22
- 出典: 複合硫化物粉体及びその製造方法、化合物半導体、並びに太陽電池
- 出願人: 株式会社田中化学研究所
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上述した塗布液の塗布は、ディップ法、 スピンコート法 、転写印刷法、ロールコート法、インクジェット法、スプレー法、刷毛塗り等で行うことができ、それぞれ均一な成膜が可能である。
- 公開日: 2009/01/15
- 出典: ポリアミド酸又はポリイミドを含有する電極パターニング層、及びこれを用いた電子デバイス
- 出願人: 日産化学工業株式会社
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また、これら上記の層の形成には、 スピンコート法 、カーテンコート法、バーコート法、ワイヤーコート法、スリットコート法、凸版印刷法、凹版印刷法、スクリーン印刷法、グラビア印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法などのコーティング法若しくは印刷法により塗布できるが、平滑性の観点から凸版反転オフセット印刷で印刷することが好ましい。特に、発光層は膜面の平滑性および膜厚均一性が非常に重要であるため、凸版反転オフセット印刷で印刷する必要がある。
- 公開日: 2007/04/05
- 出典: 凸版反転オフセット法用インキ及び印刷体
- 出願人: 凸版印刷株式会社
スピンコート法の特徴 に関わる言及
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又、EL層は、各色のEL層ごとに蒸着を行うがこれらの電子注入層、電子輸送層、正孔輸送層、正孔注入層、電子阻止層もしくは正孔素子層は、EL層の色に関係なく同一材料を スピンコート法 、蒸着法といった方法を用いて、一度に形成させてもよい。
- 公開日: 2001/12/14
- 出典: EL表示装置の作製方法
- 出願人: 株式会社半導体エネルギー研究所
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なお、発光層は、各色ごとに塗布され形成されるが、電子注入層、電子輸送層、正孔輸送層、正孔注入層、電子阻止層もしくは正孔素子層を形成する場合は、発光層を形成する材料が異なっていても、関係なく同一材料を スピンコート法 、塗布法といった方法を用いて、一度に形成してもよい。
- 公開日: 2001/12/14
- 出典: 自発光装置の作製方法
- 出願人: 株式会社半導体エネルギー研究所
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有機光電変換材料は溶媒に溶かして容易に溶液化することができ、 スピンコート法 、ブレード法、ディッピング法などの非常に簡便な方法により薄膜化することができる。すなわち、有機光電変換層を容易に形成することができる。有機光電変換層を備えた有機光電変換素子は、その作製が容易であるにもかかわらず無機光電変換素子と同様の機能を発現できることから、非常に注目を集めている素子である。
- 公開日: 2008/03/27
- 出典: 光電変換装置およびその製造方法
- 出願人: パナソニック株式会社
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