ギャップフィル の意味・用法を知る

また、キャップ膜としての第２絶縁膜３０は、成膜速度が速くボイド抑制の薄膜化の限界が３０ｎｍであり、 ギャップフィル まで行う場合には１０００ｎｍで十分であるため、前記膜厚の範囲としている。

• 公開日：2008/07/24
• 出典：半導体装置の製造方法および半導体装置
• 出願人：シャープ株式会社

従来のＣＭＰ（chemical mechanical polishing：化学機械的研磨)工程は、塩基性スラリー（slurry）を用いてプラグを隔離させる方法でプラグ材料と、ワードライン（word line）のハードマスク層に用いられる窒化膜と、平坦化及び ギャップフィル （gap fill）材料に用いられる酸化膜を研磨する工程の際、窒化膜とプラグ材料及び酸化膜のエッチング選択比の差により窒化膜に比べてプラグ材料と酸化膜がディッシングされる現象が誘発され、他の酸化膜をさらに蒸着しなければならない工程上の問題点がある。

• 公開日：2003/04/11
• 出典：半導体素子の形成方法
• 出願人：エスケーハイニックス株式会社

ギャップフィル ムと接着剤の接触によるインダクタンスの低下を抑制して、生産性を向上したトランスを提供することを目的としている。

• 公開日：2003/10/31
• 出典：トランス
• 出願人：パナソニック株式会社

ギャップフィル 金属膜は、Ｗ膜又はＡｌ膜からなる。

• 公開日：2019/01/31
• 出典：集積回路素子及びその製造方法
• 出願人：三星電子株式會社

ギャップフィル タ１２２は、ギャップフィルタパッド、熱伝導性エポキシ、またはエッジ点灯ＰＣＢ １２０から放熱板２６への熱伝達を増加させるために使用されるその他の材料でありうる。

• 公開日：2018/09/20
• 出典：表示ミラーアセンブリ
• 出願人：ジェンテックスコーポレーション

ポリシランの質量平均分子量の分布幅を狭めることにより、該ポリシランを原料とする塗布膜、 ギャップフィル などの平坦性などの向上が期待される。

• 公開日：2018/07/12
• 出典：ポリシランの製造方法及びこれに用いる活性金属マグネシウム成分の製造方法
• 出願人：東京応化工業株式会社

ギャップフィル 工程は、有機膜物質でビアホールを埋めるための工程であり、ギャップフィル工程後は、過量に成膜された有機膜を取り除いて平坦化させる工程が必要となる。

• 公開日：2018/02/08
• 出典：有機膜用ＣＭＰスラリー組成物およびそれを用いた研磨方法
• 出願人：サムスンエスディアイカンパニーリミテッド

本出願では、バン ギャップフィル タにより、特定のエネルギー（および同種のもの）が通過することが可能になる。

• 公開日：2017/12/14
• 出典：柔軟な照射設備
• 出願人：テクニシエユニヴェルシテイトデルフト

上記方法では、酸化硫黄類を含む高温ガス流から粒子を除去するために金属製キャンドル型 ギャップフィル ターが使用され、そうしてキャンドルフィルター上に堆積するフィルターケーキ中で、高温ガス流がフィルターを通過する時に収着反応が継続することができる。

• 公開日：2017/09/28
• 出典：三酸化硫黄を後で除去することを含む硫化水素を三酸化硫黄に酸化する方法、並びに該方法を行うためのプラント
• 出願人：ハルドール・トプサー・アクチエゼルスカベット

前記添加剤の含有量は、第１組成物の光学的特性を変更させずに、溶解度だけでなく、 ギャップフィル およびエッチング性能を向上させることができる範囲で選択することができる。

• 公開日：2017/05/25
• 出典：膜構造物の製造方法およびパターン形成方法
• 出願人：サムスンエスディアイカンパニーリミテッド