ギャップフィル の意味・用法を知る

また、キャップ膜としての第２絶縁膜３０は、成膜速度が速くボイド抑制の薄膜化の限界が３０ｎｍであり、 ギャップフィル まで行う場合には１０００ｎｍで十分であるため、前記膜厚の範囲としている。

• 公開日：2008/07/24
• 出典：半導体装置の製造方法および半導体装置
• 出願人：シャープ株式会社

従来のＣＭＰ（chemical mechanical polishing：化学機械的研磨)工程は、塩基性スラリー（slurry）を用いてプラグを隔離させる方法でプラグ材料と、ワードライン（word line）のハードマスク層に用いられる窒化膜と、平坦化及び ギャップフィル （gap fill）材料に用いられる酸化膜を研磨する工程の際、窒化膜とプラグ材料及び酸化膜のエッチング選択比の差により窒化膜に比べてプラグ材料と酸化膜がディッシングされる現象が誘発され、他の酸化膜をさらに蒸着しなければならない工程上の問題点がある。

• 公開日：2003/04/11
• 出典：半導体素子の形成方法
• 出願人：エスケーハイニックス株式会社

ギャップフィル ムと接着剤の接触によるインダクタンスの低下を抑制して、生産性を向上したトランスを提供することを目的としている。

• 公開日：2003/10/31
• 出典：トランス
• 出願人：パナソニック株式会社

...ンダー、三本ロール練り機を利用して混合してもよい。当該塗料組成物は、典型的には、２成分系又は３成分系として製造されて輸送され、これらの系は使用の直前に配合して十分に混合される。本発明に係る塗料は、バッグフィルター（bag filters）、パトロンフィルター（patron filters）、ワイヤー ギャップフィル ター（wire gap filters）、ウェッジワイヤーフィルター（wedge wire filters）、メタルエッジフィルター（metal edge filters）、ＥＧＬＭターノクリーンフィルター（EGLM turnoclean filters）（例えば、クノ（Cuno）製）...

• 公開日：2017/11/24
• 出典：付着抑制塗料組成物
• 出願人：ヘンペルエイ／エス

例えば、可変領域を ギャップフィル 鋳型反応によって充填できる。

• 公開日：2017/07/27
• 出典：マイクロ流体デバイス
• 出願人：アストレゴダイアグノスティクスエービー

さらに、ＰＥＣＶＤによりＴＥＯＳを使用して堆積される膜については、 ギャップフィル および共形性（ｃｏｎｆｏｒｍａｌｉｔｙ）はこれらの低堆積温度で、より良好である。

• 公開日：2017/06/08
• 出典：薄膜トランジスター機器上にケイ素含有膜を製造する方法
• 出願人：バーサムマテリアルズユーエス，リミティドライアビリティカンパニー

すなわち、本発明による有機ゲルマニウムアミン化合物を利用して、Ｇｅシード層は、薄いポリシリコン（thin polysilicon）蒸着工程時、ポリシリコンの表面粗度（surface roughness）問題、及びポリシリコン ギャップフィル 工程時、ポリシリコン膜内に空隙（void）が多く発生する問題を改善することができると期待される。

• 公開日：2017/04/20
• 出典：有機ゲルマニウムアミン化合物、及びそれを利用した薄膜蒸着方法
• 出願人：ユージーンテクノロジーマテリアルズカンパニーリミテッド

なお、スピンオン特性とは、ハードマスク組成物をパターン化された基板にスピンオンコーティング法でコーティングする際、組成物の ギャップフィル が良好に成される性能を示す。

• 公開日：2017/01/19
• 出典：化合物、有機膜組成物、有機膜、およびパターン形成方法
• 出願人：サムスンエスディアイカンパニーリミテッド

スピンコート法は、工程が容易であるだけでなく、 ギャップフィル （ｇａｐ−ｆｉｌｌ）特性および平坦化特性を改善することができる。

• 公開日：2016/12/28
• 出典：有機膜組成物、有機膜、およびパターン形成方法
• 出願人：サムスンエスディアイカンパニーリミテッド

架橋オリゴヌクレオチドや ギャップフィル プローブを含む変形が知られる。

• 公開日：2016/12/08
• 出典：核酸の多重検出
• 出願人：バナディスダイアグノスティクス