X線光電子分光 の意味・用法を知る

また、合金層の存在等は、ＳＥＭ等による観察以外にも、種々の方法により確認可能である。例えば、Ｘ線光電子分光(ＸＰＳ：X-ray photoelectron spectroscopy)分析によって、白金部（９）の表面側から貫通導体（５）側への深さの異なる範囲における、種々の原子の比率を調べることにより、合金層の存在を確認することができる。

• 公開日：2012/02/16
• 出典：生体用埋設部材および生体用埋設部材の製造方法
• 出願人：京セラ株式会社

測定対象物から放出された光電子のエネルギースペクトルを短時間に正確に取得することができるＸ線光電子分光装置およびＸ線光電子分光方法を提供する。

• 公開日：2011/12/08
• 出典：Ｘ線光電子分光装置およびＸ線光電子分光方法
• 出願人：浜松ホトニクス株式会社

この問題を解決するため、炭素繊維表面のＸ線光電子分光の測定・解析により、表面酸素濃度、窒素濃度およびケイ素濃度の関係と表面電解処理の方法を規定することにより、マトリックス樹脂との接着性を向上させる方法が提案されている（特許文献１参照。）。しかしながら、この提案では、各々の元素の化学状態や構造に関する定義が明確ではないため、一義的に定義される表面状態とは言い難く、それゆえ、必ずしも優れた接着性を示すものではなかった。

• 公開日：2010/10/07
• 出典：炭素繊維およびその製造方法
• 出願人：東レ株式会社

本発明の静電荷像現像用トナーは、少なくとも結着樹脂、ワックス、極性制御剤及び着色剤からなるトナーにおいて、前記結着樹脂の主成分がポリエステル樹脂であると共に結着樹脂が親水性官能基を有しており、前記極性制御剤がトナー粒子表面に打ち込まれたものであり、該極性制御剤を構成する主要元素がＸ線光電子分光の測定により検出される。

• 公開日：2004/04/15
• 出典：静電荷像現像用トナー
• 出願人：株式会社リコー

測定時に生じる試料の局所的なチャージアップに対し、それ以外のチャージアップしていない部分に影響を与えることなくチャージ補正を可能とするＸ線光電子分光装置を提供すること。

• 公開日：1994/11/25
• 出典：Ｘ線光電子分光装置
• 出願人：キヤノン株式会社

本発明はＸ線光電子分光装置並びに全反射Ｘ線光電子分光装置に関し、試料表面を極めて平坦にすることにより、高精度の試料分析ができるようにしたＸ線光電子分光装置，全反射Ｘ線光電子分光装置を提供することを目的としている。

• 公開日：2010/03/04
• 出典：Ｘ線光電子分光装置及び全反射Ｘ線光電子分光装置並びに角度分解Ｘ線光電子分光装置
• 出願人：国立大学法人山梨大学

低誘電率膜１０８としてポーラス膜を用いた場合、改質領域１２０では、改質されていないもとの低誘電率膜１０８よりも空孔率が低くなる。また、低誘電率膜１０８として炭素含有膜を用いた場合、改質領域１２０では、改質されていないもとの低誘電率膜１０８よりも炭素濃度が低くなる。炭素濃度の減少は、ＳＩＭＳ（二次イオン質量分析法）やＸＰＳ（Ｘ線光電子分光分析法）などの測定により、簡単に観測できる。

• 公開日：2008/06/05
• 出典：半導体チップおよびその製造方法
• 出願人：ルネサスエレクトロニクス株式会社

＜検出手段＞ 活物質の表面に配置された被覆物の存在は、種々の検出手段によって検出（観察）することができる。 例えば、上述したＳＥＭ、ＴＥＭ、および走査型透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）等の電子顕微鏡を用いることができる。また、ＥＤＳ（ＥＤＸ）、二次イオン質量分析（ＳＩＭＳ）、Ｘ線光電子分光分析（ＸＰＳ）、Ｘ線回折（ＸＲＤ）、蛍光Ｘ線分析（ＸＲＦ）等の手法を採用し、元素組成および結晶性等を定性的および定量的に解析することができる。

• 公開日：2021/01/28
• 出典：リチウムイオン二次電池用正極材料
• 出願人：トヨタ自動車株式会社

鋼板の表面に、上記鋼板側から順に、金属クロム層およびクロム水和酸化物層を有し、上記クロム水和酸化物層のクロム換算の付着量が、１０ｍｇ／ｍ２以下であり、上記クロム水和酸化物層の最表面のＸ線光電子分光により求められる、クロム酸化物に対するクロム水酸化物のピーク面積比Ａが、１．００超２．５０以下である、缶用鋼板。

• 公開日：2021/01/28
• 出典：缶用鋼板およびその製造方法
• 出願人：ＪＦＥスチール株式会社

...ド上に隆起した表面領域を形成する。次いで、ウェーハとフルオロポリマーが擦り合って、研磨パッド表面上に薄膜が形成される。この膜は、１０以下の原子層厚など、かなり薄い傾向にある。これらの薄膜は、とても薄いので、これらは、通常、標準的な走査型電子顕微鏡では視認できない。しかしながら、この膜のフッ素濃度は、Ｘ線光電子分光装置によって視認可能である。この装置は、フッ素および炭素濃度を侵入度１〜１０nmで測定することができる。この膜が研磨面の一部しか覆わないことが重要である。フルオロポリマー膜が表面全体を覆う場合、研磨パッドは、研磨中、疎水性のままである。残念ながら、これらの疎水性パッドは、不十分な研磨除...

• 公開日：2021/01/28
• 出典：低デブリフッ素ポリマー複合ＣＭＰ研磨パッド
• 出願人：ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズシーエムピーホウルディングスインコーポレイテッッド