X線光電子分光 の意味・用法を知る

また、合金層の存在等は、ＳＥＭ等による観察以外にも、種々の方法により確認可能である。例えば、Ｘ線光電子分光(ＸＰＳ：X-ray photoelectron spectroscopy)分析によって、白金部（９）の表面側から貫通導体（５）側への深さの異なる範囲における、種々の原子の比率を調べることにより、合金層の存在を確認することができる。

• 公開日：2012/02/16
• 出典：生体用埋設部材および生体用埋設部材の製造方法
• 出願人：京セラ株式会社

測定対象物から放出された光電子のエネルギースペクトルを短時間に正確に取得することができるＸ線光電子分光装置およびＸ線光電子分光方法を提供する。

• 公開日：2011/12/08
• 出典：Ｘ線光電子分光装置およびＸ線光電子分光方法
• 出願人：浜松ホトニクス株式会社

この問題を解決するため、炭素繊維表面のＸ線光電子分光の測定・解析により、表面酸素濃度、窒素濃度およびケイ素濃度の関係と表面電解処理の方法を規定することにより、マトリックス樹脂との接着性を向上させる方法が提案されている（特許文献１参照。）。しかしながら、この提案では、各々の元素の化学状態や構造に関する定義が明確ではないため、一義的に定義される表面状態とは言い難く、それゆえ、必ずしも優れた接着性を示すものではなかった。

• 公開日：2010/10/07
• 出典：炭素繊維およびその製造方法
• 出願人：東レ株式会社

本発明の静電荷像現像用トナーは、少なくとも結着樹脂、ワックス、極性制御剤及び着色剤からなるトナーにおいて、前記結着樹脂の主成分がポリエステル樹脂であると共に結着樹脂が親水性官能基を有しており、前記極性制御剤がトナー粒子表面に打ち込まれたものであり、該極性制御剤を構成する主要元素がＸ線光電子分光の測定により検出される。

• 公開日：2004/04/15
• 出典：静電荷像現像用トナー
• 出願人：株式会社リコー

測定時に生じる試料の局所的なチャージアップに対し、それ以外のチャージアップしていない部分に影響を与えることなくチャージ補正を可能とするＸ線光電子分光装置を提供すること。

• 公開日：1994/11/25
• 出典：Ｘ線光電子分光装置
• 出願人：キヤノン株式会社

本発明はＸ線光電子分光装置並びに全反射Ｘ線光電子分光装置に関し、試料表面を極めて平坦にすることにより、高精度の試料分析ができるようにしたＸ線光電子分光装置，全反射Ｘ線光電子分光装置を提供することを目的としている。

• 公開日：2010/03/04
• 出典：Ｘ線光電子分光装置及び全反射Ｘ線光電子分光装置並びに角度分解Ｘ線光電子分光装置
• 出願人：国立大学法人山梨大学

低誘電率膜１０８としてポーラス膜を用いた場合、改質領域１２０では、改質されていないもとの低誘電率膜１０８よりも空孔率が低くなる。また、低誘電率膜１０８として炭素含有膜を用いた場合、改質領域１２０では、改質されていないもとの低誘電率膜１０８よりも炭素濃度が低くなる。炭素濃度の減少は、ＳＩＭＳ（二次イオン質量分析法）やＸＰＳ（Ｘ線光電子分光分析法）などの測定により、簡単に観測できる。

• 公開日：2008/06/05
• 出典：半導体チップおよびその製造方法
• 出願人：ルネサスエレクトロニクス株式会社

（１）Ａｓ濃化層の有無の評価 Ａｓ濃化層の有無は、ＸＰＳ（Ｘ線光電分光法：X-ray Photoelectron Spectroscopy）による深さ方向分析を用いて以下の様に評価した。 （分析条件） ・分析装置：微小領域 X線光電子分光 分析装置（クレイトス・アナリティカル社製ＡＸＩＳ Ｎｏｖａ) ・分析条件：Ｘ線源 ＡｌＫα線、Ｘ線銃電圧 １５ｋＶ、Ｘ線銃電流値 １０ｍＡ、分析エリア ７００μｍ×３００μｍ ・スパッタ条件：イオン種 Ａｒ+、加速電圧 ２ｋＶ、スパッタリングレート ０．５ｎｍ／ｍｉｎ（ＳｉＯ2換算） ・サンプル：カーボンテープを貼ったステー...

• 公開日：2020/02/13
• 出典：はんだ材料、ソルダペースト、及びはんだ継手
• 出願人：千住金属工業株式会社

（金属成分） 微細繊維状セルロースは、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｃｕ及びＺｎから選択される少なくとも１種の金属成分を担持するものであることが好ましい。このような金属成分は、Ａｇ、Ｃｕ及びＺｎから選択される少なくとも１種であることが好ましく、Ａｇであることが特に好ましい。上述した金属成分は、例えば、リン酸基を有する微細繊維状セルロースに含まれるリン酸基と、配位結合、水素結合、またはイオン結合することで担持される。このような結合の状態は、たとえばＸ線光電子分光分析もしくは赤外分光分析により解析できる。

• 公開日：2020/02/13
• 出典：巻芯紙管及びシートロール
• 出願人：王子マテリア株式会社

視認防止層の評価方法としては蛍光Ｘ線分析（ＸＲＦ）やＸ線光電子分光分析（ＸＰＳ）を用いることができる。特にＸＰＳは、元素の結合状態を定量化できるため、視認防止層の評価方法として好ましい。

• 公開日：2020/02/13
• 出典：視認防止層、導電性フィルム、タッチパネル、及び電子デバイス
• 出願人：パナソニックＩＰマネジメント株式会社