GaAs基板 の意味・用法を知る
GaAs基板の意味・用法
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GaAs基板11上に設けられた感磁部12と、電極13a〜13dと、GaAs基板11の下面側に設けられた保護層40と、を有するGaAsホール素子10と、GaAsホール素子10の周囲に配置されたリード端子22〜25と、電極13a〜13dとリード端子22〜25とをそれぞれ電気的に接続する金属細線31〜34と、モールド部材50と、を備える。リード端子22及び24並びにリード端子23及び25はGaAsホール素子10を挟んで対向する。保護層40及びリード端子22〜25の下面はモールド部材50から露出している。GaAs基板11中の炭素の濃度は1.5×1015atoms・cm−3以上1.0×1016atoms...
- 公開日:2017/07/06
- 出典:ホールセンサ
- 出願人:旭化成エレクトロニクス株式会社
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GaAs基板11上に設けられた感磁部12と、電極13a〜13dと、GaAs基板11の電極13a〜13dが設けられている面とは反対側の面側に設けられた保護層40と、を有するGaAsホール素子10と、GaAsホール素子10の周囲に配置されたリード端子22〜25と、電極13a〜13dとリード端子22〜25とをそれぞれ電気的に接続する金属細線31〜34と、これらをモールドするモールド部材50と、を備える。保護層40及びリード端子22〜25の第1面(即ち、金属細線31〜34と接続している面とは反対側の面)は、モールド部材50の同一の面から露出している。GaAs基板11の抵抗率は、5.0×107Ω・cm以上である。
- 公開日:2016/02/04
- 出典:ホールセンサ
- 出願人:旭化成エレクトロニクス株式会社
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GaAs基板101の上にInzGa1−zAsバッファ層102、InyGa1−yAs擬似基板層103及びAlAs/InxGa1−xAs半導体多層膜反射鏡104が積層されている。InzGa1−zAsバッファ層102とInyGa1−yAs擬似基板層103のIn組成の間にはy<zの関係がある。InzGa1−zAsバッファ層102は臨界膜厚以上成長することで、転位をGaAs基板との界面のみに局在化させる。従来のInAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡の場合の値に比べて21%程度も熱抵抗を減少させる効果があることを意味しており、大幅に温度特性の改善が行える。
- 公開日:2014/09/11
- 出典:半導体多層膜反射鏡構造
- 出願人:東日本電信電話株式会社
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そのような平面型光変調器として、特許文献1に記載のものが知られている。特許文献1に記載の平面型光変調器は、n−GaAs基板と、n−GaAs基板上に形成されたi−GaAs層と、i−GaAs層上に形成されたショットキー電極と、n−GaAs基板のi−GaAs層形成側とは反対側の面に形成されたオーミック電極と、によって構成されている。ショットキー電極は中央部に窓が開けられたリング状であり、オーミック電極も中央部に窓が開けられている。この平面型光変調器は、この窓部分から光を垂直に入射させ、オーミック電極とショットキー電極間に逆電圧を印加してi−GaAs層の吸収係数を変化させることにより、光の強度を変化さ...
- 公開日:2013/09/05
- 出典:平面型光変調器
- 出願人:学校法人中部大学
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前記基板は、GaAs基板、Si基板、サファイア基板、Ge基板、SiGe基板、SiC基板、GaN基板、またはSiC上のGaNエピタキシャル基板のいずれかで形成されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
- 公開日:2014/11/13
- 出典:半導体発光素子
- 出願人:ローム株式会社
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GaAs基板を割る際に発生する結晶欠陥が発光層に影響を与えないようにすることができる半導体発光素子及びその製造方法を得る。
- 公開日:2013/09/26
- 出典:半導体発光素子の製造方法
- 出願人:三菱電機株式会社
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GaAs基板1と、GaAs基板1上に設けられた発光部2と、発光部2上に設けられた歪調整層3とを備え、発光部2は、組成式(AlXGa1−X)YIn1−YP(0≦X≦0.1、0.37≦Y≦0.46)からなる歪発光層7を有し、歪調整層3は、発光波長に対して透明であると共にGaAs基板1の格子定数よりも小さい格子定数を有することを特徴とする発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ10を採用する。
- 公開日:2010/09/24
- 出典:発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ
- 出願人:昭和電工株式会社
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GaAs基板101の上にIn0.12Ga0.88Asバッファ層102、In0.10Ga0.90As擬似基板層103及びAlAs/InxGa1−xAs半導体多層膜反射鏡104が積層されている。In0.12Ga0.88Asバッファ層102は臨界膜厚以上成長することで、転位をGaAs基板101との界面のみに局在化させている。本発明は、歪補償を行うことで、歪補償を行わなかった場合と比較して基板の反りの大幅な減少が可能となる。また、InGaAs層のIn組成を調整することで、反り量を大きく変化させることができる。
- 公開日:2014/09/11
- 出典:半導体多層膜反射鏡構造
- 出願人:東日本電信電話株式会社
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GaAs基板1は互いに対向する第1及び第2の主面を有する。GaAs基板1の第1の主面に信号線路3とパッド4が配置されている。パッド4は信号線路3に接続されている。パッド4上に半田バンプ5が配置されている。GaAs基板1の第2の主面に接地導体6が配置されている。信号線路3と接地導体6がマイクロストリップ線路を構成する。接地導体6はパッド4に対向する領域に開口8を有する。
- 公開日:2014/02/06
- 出典:フリップチップ実装用半導体チップ
- 出願人:三菱電機株式会社
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図1において、近接場光デバイス100は、(i)ガラス基板32と、該ガラス基板32の上に積層されたストッパ層31と、該ストッパ層31の上に積層された近接場光発生部10と、を備えてなる部材と、(ii)n−GaAs基板24と、該n−GaAs基板24の上に積層された光源20と、該光源20の上に形成された第1電極41と、n−GaAs基板24の上に形成された第2電極42と、を備えてなる部材と、が互いに貼り合わせ層50を介して張り合わされることによって構成されている。尚、n−GaAs基板24は、p−GaAs基板であってもよい。
- 公開日:2015/02/23
- 出典:近接場光デバイスの製造方法及び近接場光デバイス
- 出願人:パイオニア株式会社
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半導体レーザ
- 半導体レーザの構造(垂直共振器を除く)−(1)
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- 垂直共振器を有するレーザの構造
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- 活性層の材料系−基板材料
- 不純物に特徴があるもの
- 電極構造・材料に特徴があるもの
- 被覆構造・材料に特徴があるもの
- 製造方法1
- 製造方法2
- 課題・目的
- レーザ動作のタイプ
- モジュール・パッケージの用途
- モジュール・パッケージのタイプ(典型的なタイプを抽出)
- マウント・モジュール・パッケージにおける目的
- LDチップのマウント
- パッケージ・光モジュールの構成
- 発明の特徴となっている組合せ光学要素(LDチップ外)
- 駆動におけるレーザーのタイプ
- 用途(駆動)
- 駆動において特徴となる目的
- 安定化制御(主に検知・帰還制御)
- 駆動制御
- 異常対策
- 回路構成に特徴があるもの
- 被試験・被検査形状
- 試験・検査する項目
- 試験・検査において特徴と認められる点
- 試験・検査の内容
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気相成長(金属層を除く)
- 成長法
- 成長層の組成
- 導入ガス
- 成長条件(1)成膜温度T 請求項+実施例に記載されている成膜温度を全て付与する(除く従来例)
- 成長条件(2)成膜時の圧力P 請求項+実施例に記載されている成膜時の圧力を全て付与する(除く従来例)
- 被成膜面の組成・基板の特徴・ダミー基板・マスク
- 目的
- 半導体素子等への用途
- 機能的用途
- 半導体成長層の構造
- 半導体層の選択成長
- 絶縁体成長層の構造・絶縁体層の選択成長
- 装置の形式(1)基板支持の形態・成膜中の基板の運動 図面+詳細な説明に例示されている形式をすべて付与する(除く従来例)
- 装置の形式(2)成膜室の形態 図面+詳細な説明に例示されている形式をすべて付与する(除く従来例)
- 成膜一般
- 成膜室・配管構造・配管方法
- ガス供給・圧力制御
- ノズル・整流・遮蔽・排気口
- 排気・排気制御・廃ガス処理
- プラズマ処理・プラズマ制御
- 冷却
- 加熱(照射)・温度制御
- 基板支持
- 搬出入口・蓋・搬送・搬出入
- 測定・測定結果に基づく制御・制御一般
- 機械加工プロセスとの組み合わせ
- 他プロセスとの組合せ
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結晶、結晶のための後処理
- 目的・対象とする結晶の形態
- 結晶自体の特徴(クレーム)
- 材料1(元素状、合金)
- 材料2(酸化物)
- 材料3(複合酸化物)
- 材料4(酸素酸塩)
- 材料5(〜化物)
- 材料6(有機物)
- 固相成長
- 液相成長1(常温で液体の溶媒を使用する)
- 液相成長2(溶融溶媒を使用するもの)CG優先
- 液相成長3(融液の凝固によるもの)
- 液相成長4(ゾーンメルティング)
- 液相成長5(融液からの引き出し)
- 液相成長6(液相エピタキシャル)
- 気相成長1(蒸着、昇華)
- 気相成長2(CVD)
- 結晶成長共通1(成長条件の制御)固相成長を除く
- 結晶成長共通2(不純物のドーピング)
- 結晶成長共通3(原料の調製、原料組成)
- 結晶成長共通4(種結晶、基板)
- 結晶成長共通5(成長前の基板の処理、保護)
- 結晶成長共通6(基板への多層成長)
- 結晶成長共通7(装置、治具)
- 結晶成長共通8(検知、制御)
- 結晶成長共通9(特定の成長環境の付加)
- 後処理1(拡散源、その配置)
- 後処理2(後処理のための基板表面の前処理)
- 後処理3(気相からのドーピング)
- 後処理4(電磁波、粒子線照射によるドーピング)
- 後処理5(加熱、冷却処理)
- 後処理6(結晶の接合)
- 後処理7(エッチング、機械加工)
- 後処理8(電場、磁場、エネルギー線の利用)
- 後処理9(その他)
- 後処理10(装置、治具の特徴)
- 結晶の物理的、化学的性質等の評価、決定
- 用途
- 固相からの直接単結晶成長
- 単結晶成長プロセス・装置
- 圧力を加えるもの 例、水熱法
- 塩溶媒を用いるもの 例、フラックス成長
- るつぼ、容器またはその支持体
- ノ−マルフリ−ジングまたは温度勾配凝固
- ゾ−ンメルティングによる単結晶成長、精製
- 溶媒を用いるもの
- るつぼ、容器またはその支持体
- 誘導による溶融ゾ−ンの加熱
- 電磁波による加熱(集光加熱等)
- 制御または調整
- 材料またはヒ−タ−の移動機構、保持具
- 融液からの引出し(保護流体下も含む)
- 結晶化物質(原料)、反応剤の充填、添加
- 引出し方向に特徴
- 融液を入れるるつぼ、容器またはその支持体
- 融液、封止剤または結晶化した物質の加熱
- 制御または調整
- 融液、封止剤、結晶の回転、移動機構
- 種結晶保持器
- 種結晶
- 縁部限定薄膜結晶成長
- 液相エピタキシャル成長
- 特殊な物理的条件下での単結晶成長
- PVD
- イオン化蒸気の凝縮
- 分子線エピタキシャル法
- CVD
- エピタキシャル成長法、装置
- 製造工程
- 反応室
- 反応室または基板の加熱
- 基板保持体またはサセプタ
- 基板とガス流との関係
- ガスの供給・排出手段;反応ガス流の調節
- 制御または調節
- 基板
- 特殊な物理的条件下での単結晶成長