開閉バルブ の意味・用法を知る

エアレーション作業時、アイソレータ１２およびインキュベータ１４、接続部１６にエアを供給しつつアイソレータ１２に設けられたエア排気装置２２を運転し、アイソレータ１２内の除染ガス濃度が低下すると、 開閉バルブ ３０Ｖ、３４Ｖを閉じてアイソレータ１２および接続部１６へのエアの供給を遮断し、インキュベータ１４のみにエアを供給する。

• 公開日：2017/11/24
• 出典：アイソレータシステム
• 出願人：澁谷工業株式会社

供給手段７０は、塗布器１０に繋がる供給流路６０と、この供給流路６０を通じて塗布器１０に塗布液を供給するポンプ３０と、供給流路６０のポンプ３０と塗布器１０との間において並列に配置されている複数の 開閉バルブ ３１，３２とを有している。

• 公開日：2018/01/11
• 出典：塗布装置及び塗布方法
• 出願人：東レ株式会社

...第１流路とを接続する第２流路と、第２流路に設けられ、第２ガスの流量を所定量に制御するコントロールバルブと、コントロールバルブの下流であって第２流路の終端に設けられたオリフィスと、第１流路と第２流路の終端との接続箇所に設けられ、オリフィスの出口から第１流路へ供給される第２ガスの供給タイミングを制御する 開閉バルブ と、第２流路のうちコントロールバルブとオリフィスとの間の流路に接続され、第２ガスを排気する排気機構と、コントロールバルブ、開閉バルブ及び排気機構を動作させるコントローラと、を備える。

• 公開日：2018/01/25
• 出典：ガス供給システム、基板処理システム及びガス供給方法
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

基板の主面に処理液を吐出する基板処理装置であって、第１流路と、前記第１流路の流量を測定する流量計と、前記第１流路に介挿され、前記第１流路の流量を調整する流量調整バルブと、前記第１流路上の分岐点で分岐する第２流路と、前記第２流路に介挿され、開状態と閉状態に切替可能な第２ 開閉バルブ と、前記流量計、前記流量調整バルブ、前記第２開閉バルブを制御可能な制御部と、を備えており、前記制御部は、前記流量計による流量測定値に基づいて前記流量調整バルブにフィードバック制御を適用可能であり、前記制御部は、第１流路または第２流路の流路状態が所定の切替条件を充足した場合に、フィードバック制御が前記流量調整バルブに適用さ...

• 公開日：2017/10/05
• 出典：基板処理装置
• 出願人：株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

...能に設けられたピストンを有するシリンダにより構成されており、前記原料ガス供給機構は、前記複数のガス供給源が接続される複数の原料ガス導入部の各々から流路切り替え手段を介して前記第一チャンバに至る原料ガス供給流路と、当該原料ガス供給流路における流路切り替え手段より前記第一チャンバ側に設けられた第１の流路 開閉バルブ および第２の流路開閉バルブとを備えており、前記脱圧機構は、前記第１の流路開閉バルブと第２の流路開閉バルブとの間に接続され、装置外部にガスを排出するためのガス排出部に至るガス排出流路と、当該ガス排出流路に設けられた第３の流路開閉バルブとを備えており、前記ガス移送機構は、第一チャンバと第二チャ...

• 公開日：2016/12/08
• 出典：混合ガス調製装置および混合ガス調製方法
• 出願人：理研計器株式会社

第１の透析液供給回路９０には、例えば上流側から順に透析液供給ポンプ１００、流量センサ１０１及び 開閉バルブ １０２が設けられている。

• 公開日：2015/11/12
• 出典：血液浄化装置、血液浄化装置のプライミング方法及び作動方法
• 出願人：旭化成メディカル株式会社

第１の 開閉バルブ が、第１の流出口のレベルよりも高い位置から、第１のバッファタンク内の空気を外部に排出する。

• 公開日：2017/01/26
• 出典：インク吐出装置及びインク吐出方法
• 出願人：住友重機械工業株式会社

これらＭＦＣ１５０ａ〜１５０ｈ、ならびに 開閉バルブ １５１ａ〜１５１ｈはそれぞれ、制御部１６によって独立して制御することが可能とされている。

• 公開日：2016/09/08
• 出典：基板処理装置および基板処理方法
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

...末消火剤噴出用ガス供給ラインを介してタンクと接続された圧力作動式メインシリンダと、タンクと圧力作動式メインシリンダとを接続する導圧ラインと、を備える粉末消火設備であって、起動用ガス供給ラインと導圧ラインとを接続するタンクバイパスラインと、タンクバイパスラインの途中部位に設けられるタンクバイパスライン 開閉バルブ と、タンクバイパスラインの接続箇所よりもタンク側にて起動用ガス供給ラインの途中部位に設けられる起動用ガス供給ライン開閉バルブと、を備える。

• 公開日：2016/12/08
• 出典：粉末消火設備
• 出願人：株式会社ＩＨＩ

開閉バルブ の偏平化と、弁体の高強度化の両立を図る。

• 公開日：2016/04/25
• 出典：バルブ装置
• 出願人：株式会社デンソー