鎖状 の意味・用法を知る

［一般式（ｄ１−１）〜（ｄ１−３）中、Ｒｄ１〜Ｒｄ４は置換基を有していてもよい環式基、置換基を有していてもよい 鎖状 のアルキル基、又は置換基を有していてもよい鎖状のアルケニル基である。

• 公開日：2016/12/28
• 出典：レジストパターン形成方法
• 出願人：東京応化工業株式会社

Ｒ1は、水素原子、又は直 鎖状 若しくは分岐状の炭素数１〜４のアルキル基である。

• 公開日：2018/01/11
• 出典：レジスト材料及びパターン形成方法
• 出願人：信越化学工業株式会社

...リール−Ｃ１〜４アルキル、およびｃ）Ｃ５〜１０ヘテロアリール部分が、窒素、酸素、および硫黄からなる群から選択される１〜３個のヘテロ原子を含む、Ｃ５〜１０ヘテロアリール−Ｃ１〜４アルキルからなる群から選択され、Ｘが、単結合または−ＮＨ−基の場合、Ｒ１は、ｄ）ＯＨ、ＮＲ５Ｒ６、ＣＮ、ＣＦ３、Ｃ１〜６の直 鎖状 または分岐鎖状アルキル、Ｃ１〜６の直鎖状または分岐鎖状アルコキシ、およびハロゲン原子からなる群から選択される１〜３個の置換基で場合により置換されていてもよいフェニル；ｅ）ＯＨ、ＮＲ５Ｒ６、ＣＮ、ＣＦ３、Ｃ１〜６の直鎖状または分岐鎖状アルキル、Ｃ１〜６の直鎖状または分岐鎖状アルコキシ、およびハロゲ...

• 公開日：2017/11/02
• 出典：ジペプチジルケトアミド化合物ならびに脂肪蓄積の治療および／または予防のためのそれらの使用
• 出願人：ランドステイナージェンメド、エセ．エレ．

ベースポリマー、及び下記式（Ａ）で表される２,５,８,９−テトラアザ−１−ホスファビシクロ[３.３.３]ウンデカン塩化合物を含むレジスト材料。［式中、Ｒ1〜Ｒ3は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜２４の直 鎖状 、分岐状若しくは環状のアルキル基、炭素数２〜２４の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルケニル基、炭素数２〜２４の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキニル基、又は炭素数６〜２０のアリール基である。Ａ-は、水酸化物イオン、塩素イオン、臭素イオン、ヨウ素イオン、硝酸イオン、亜硝酸イオン、塩素酸イオン、亜塩素酸イオン、過塩素酸イオン、炭酸水素イオン、リン酸二水素イオン、硫酸水素イオン、チオシアン酸イ...

• 公開日：2017/07/06
• 出典：レジスト材料及びパターン形成方法
• 出願人：信越化学工業株式会社

...式（３）で示される繰り返し単位を有する樹脂（Ｕ−１）、（Ｃ）架橋剤を含有するものであることを特徴とする化学増幅ネガ型レジスト組成物。［式中、Ｒ01、Ｒ02、Ｒ03、Ｒ04はそれぞれ独立に、水素原子、−Ｌ−ＣＯ2-、あるいはヘテロ原子で置換されていてもよく、ヘテロ原子が介在してもよい炭素数１〜２０の直 鎖状 、又は炭素数３〜２０の分岐状又は環状の１価炭化水素基を示し、Ｒ01とＲ02、Ｒ02とＲ03、Ｒ03とＲ04のいずれかの組み合わせにおいて、相互に結合してこれらが結合する炭素原子と共に環を形成してもよい。Ｌは単結合を示すか、あるいはヘテロ原子で置換されていてもよく、ヘテロ原子が介在してもよい炭素数...

• 公開日：2016/12/01
• 出典：新規オニウム塩化合物を用いた化学増幅型ネガ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法
• 出願人：信越化学工業株式会社

Ｒ8は、単結合、若しくはエーテル基、エステル基、−Ｎ＝又は−Ｓ−を含んでいてもよい炭素数１〜１０の直 鎖状 、分岐状若しくは環状のアルキレン基、又はフェニレン基若しくはナフチレン基である。

• 公開日：2017/08/24
• 出典：ポジ型レジスト材料、及びパターン形成方法
• 出願人：信越化学工業株式会社

（式中、Ｒ1は、水素原子又はメチル基、Ｒ2及びＲ3は、それぞれ独立に、水素原子、又は炭素数１〜６の直 鎖状 、分岐状若しくは環状のアルキル基、Ｘ1は、単結合；エステル基、エーテル基若しくはラクトン環を含む炭素数１〜１２の連結基；フェニレン基；又はナフチレン基、Ｘ2及びＸ3は、それぞれ独立に、酸素原子又は硫黄原子を表す。

• 公開日：2017/02/02
• 出典：レジスト材料及びパターン形成方法
• 出願人：信越化学工業株式会社

...置換可能なフェニル基、置換可能な複素環基、または置換可能な縮合環基を示し；ｍ＝１であり、ｎ＝１である場合、ハロゲン原子で置換され得るＣ１〜Ｃ８のアルキル基で置換されるスルホニルオキシ基、または置換可能なフェニルスルホニルオキシ基を示し、Ｒ２０及びＲ２１は、それぞれ独立して、水素原子、Ｃ１〜Ｃ２２の直 鎖状 、分岐状、あるいは環状のアルキル基、Ｃ１〜Ｃ１０の直鎖状あるいは分岐状のハロゲン化アルキル基、１以上のエーテル結合あるいはチオエーテル結合で中断されるＣ１〜Ｃ１５の直鎖状あるいは分岐状のアルキル基、置換可能なフェニル基、またはＣ７〜Ｃ１１のフェニルアルキル基を示し、Ｒ２０とＲ２１が一緒に環を形成...

• 公開日：2017/07/06
• 出典：着色感光性樹脂組成物、カラーフィルター及びこれを具備した画像表示装置
• 出願人：ドンウーファイン−ケムカンパニーリミテッド

...し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有するものであることを特徴とする高エネルギー線露光用の化学増幅ポジ型レジスト組成物。［式中、Ｒ01、Ｒ02、Ｒ03、Ｒ04はそれぞれ独立に、水素原子、−Ｌ−ＣＯ2-、あるいはヘテロ原子で置換されていてもよく、ヘテロ原子が介在してもよい炭素数１〜２０の直 鎖状 、又は炭素数３〜２０の分岐状又は環状の一価炭化水素基を示し、Ｒ01とＲ02、Ｒ02とＲ03、Ｒ03とＲ04のいずれかの組み合わせにおいて、相互に結合してこれらが結合する炭素原子と共に環を形成してもよい。Ｌは単結合を示すか、あるいはヘテロ原子で置換されていてもよく、ヘテロ原子が介在してもよい炭素数...

• 公開日：2016/09/01
• 出典：化学増幅ポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法
• 出願人：信越化学工業株式会社

Ｒ3は、単結合、又はエーテル基、エステル基若しくはチオール基を含んでいてもよい炭素数１〜１０の直 鎖状 、分岐状若しくは環状のアルキレン基である。

• 公開日：2017/03/23
• 出典：レジスト材料及びパターン形成方法
• 出願人：信越化学工業株式会社