薄膜形成 の意味・用法を知る

減圧チャンバー内で帯状基材Ｓの表面に薄膜を形成する 薄膜形成 装置１であって、薄膜形成前の帯状基材が巻き付けられた第１ロール４と、帯状基材を搬送する搬送部３と、帯状基材の表面に薄膜を形成する薄膜形成部２と、薄膜形成後の帯状基材を巻き付ける第２ロール５と、薄膜形成部を収容するメインチャンバ１０と、第１ロールを収容する第１サブチャンバ６と、第２ロールを収容する第２サブチャンバ７と、メインチャンバ内の圧力を減圧状態に維持しつつ第１サブチャンバ及び第２サブチャンバの圧力を個別に減圧状態又は大気開放状態に切り替えるサブチャンバ圧力切替制御部と、帯状基材の搬送方向及び搬送速度を制御して当該帯状基材を一方向に搬...

• 公開日：2014/08/21
• 出典：薄膜形成装置
• 出願人：東レエンジニアリング株式会社

減圧チャンバー内で帯状基材の両面に薄膜を形成する 薄膜形成 装置であって、巻出ロールと、搬送部と、薄膜形成部と、巻取ロールと、メインチャンバと、第１サブチャンバと、第２サブチャンバとを備え、搬送部は、第１メインロールと第２メインロールとを備え、第１メインロールと第２メインロールとは、異なる高さで配置されており、薄膜形成部は、第１薄膜形成部と第２薄膜形成部とを備え、第１薄膜形成部は、第１ロールの外周面の重力下方若しくは側方に配置されており、第２薄膜形成部は、第２ロールの外周面の重力下方若しくは側方に配置されていることを特徴とする、薄膜形成装置である。

• 公開日：2014/08/25
• 出典：薄膜形成装置
• 出願人：東レエンジニアリング株式会社

巻出ロールから巻き出し供給された帯状基材を、減圧されたチャンバ内で第１メインロールと第２メインロールの外周面に沿わせた状態で搬送しつつ、第１メインロールに対向配置させた第１ 薄膜形成 部と第２メインロールに対向配置させた第２薄膜形成部とで当該帯状基材の両面に薄膜を形成し、巻取ロールに巻き取り回収する両面薄膜形成装置であって、第１メインロールと第２メインロールとを収容するメインチャンバと、巻出ロールと巻取ロールとを収容するサブチャンバとを備え、メインチャンバとサブチャンバとは互いに連通する開口部を備え、前記開口部にはメインチャンバとサブチャンバとの連通又は遮断状態を切り替えるゲート開...

• 公開日：2014/06/09
• 出典：両面薄膜形成装置
• 出願人：東レエンジニアリング株式会社

底壁１２と側壁１３とを備えて底壁１２に溶融ガラスの引出口１５が形成されたガラス溶融炉１１と、ガラス溶融炉１１内に差し込まれて通電によりガラス溶融炉１１内の溶融ガラスを加熱する加熱用電極１４と、を備え、ガラス溶融炉１１の内部に、ガラス溶融炉１１の炉内底部からのみ溶融ガラスを通過させる上部仕切板１６と、上部仕切板１６と引出口１５との間に配置されて、溶融ガラスを堰き止め、上部仕切板１６との間に溶融ガラスを下方から上方に流す流路を形成するとともに、溢れ出た溶融ガラスを降下させることにより薄膜状に形成する 薄膜形成 面２５ｂが形成された薄膜形成部材２５と、を設ける。

• 公開日：2015/02/23
• 出典：ガラス溶融装置、ガラス繊維製造装置及びガラス繊維製造方法
• 出願人：日東紡績株式会社

薄膜製造方法は、バッファ層２１１の上方に、第２バッファ層２１１上のうち薄膜である第２封止層２１３を形成する予定の 薄膜形成 予定部位Ａ２１３が露出するようにマスク３１０を配置するマスク配置工程と、マスク配置工程の後、薄膜形成予定部位Ａ２１３に対して還元性プラズマ処理を行う還元性プラズマ処理工程と、還元性プラズマ処理工程の後、薄膜形成予定部位Ａ２１３をＴＭＡに晒すＴＭＡ暴露工程とを含む。

• 公開日：2013/11/21
• 出典：薄膜製造方法および表示パネルの製造方法、ＴＦＴ基板の製造方法
• 出願人：株式会社ＪＯＬＥＤ

...ラス溶融炉１１の炉内底部からのみ溶融ガラスを通過させる上部仕切板１６と、上部仕切板１６と引出口１５との間に配置されて、溶融ガラスを堰き止め、上部仕切板１６との間に溶融ガラスを下方から上方に流す流路を形成するとともに、溢れ出た溶融ガラスを降下させることにより薄膜状に形成する 薄膜形成 面２５ｂが形成された薄膜形成部材２５と、を設ける。

• 公開日：2015/02/23
• 出典：ガラス溶融装置、ガラス繊維製造装置及びガラス繊維製造方法
• 出願人：日東紡績株式会社

通電により抵抗発熱する電熱部材で形成された底壁１２及び側壁１３を備えて底壁１２に溶融ガラスの引出口１５が形成されたガラス溶融炉１１の内部に、ガラス溶融炉１１の炉内底部からのみ溶融ガラスを通過させる上部仕切板１６と、上部仕切板１６と引出口１５との間に配置されて、溶融ガラスを堰き止め、上部仕切板１６との間に溶融ガラスを下方から上方に流す流路を形成するとともに、溢れ出た溶融ガラスを降下させることにより薄膜状に形成する 薄膜形成 面２５ｂが形成された薄膜形成部材２５と、を設ける。

• 公開日：2015/02/23
• 出典：ガラス溶融装置、ガラス繊維製造装置及びガラス繊維製造方法
• 出願人：日東紡績株式会社

ＣＶＤ法では、 薄膜形成 工程に供給した原料物質のうち、実際に薄膜形成に利用される原料物質の量は１０％以下であり、供給した原料の大部分が利用されずに廃棄されていることが一般に知られており、廃棄されている原料物質の回収と再利用が望まれている

• 公開日：2010/08/05
• 出典：ルテニウム化合物、その製法及びそれを用いた成膜法
• 出願人：東ソー株式会社

密閉チャンバ５０内には、真空状態になった密閉チャンバ５０内で、基板９１の一方の面に薄膜９２を形成する 薄膜形成 部１３，２３，３３が配置されている。

• 公開日：2010/10/14
• 出典：薄膜太陽電池の製造装置および薄膜太陽電池の製造方法
• 出願人：芝浦メカトロニクス株式会社

本発明のＣａｔ−ＰＥＣＶＤ装置は、原料ガスの少なくとも１つを熱触媒体により加熱する加熱励起部と、前記加熱された原料ガスをプラズマで活性化させて成膜する 薄膜形成 部とを備え、前記薄膜形成部には、基板を載置するための載置台と、前記加熱された水素ガスおよびシラン系ガスをそれぞれ分離した状態で噴出するための複数のガス噴出口が、前記載置台に対向するように配置される、プラズマ発生電極を兼ねるシャワーヘッドとが設けられる、Ｃａｔ−ＰＥＣＶＤ装置であって、前記加熱励起部には、外部と連通可能な連通部が形成され、前記連通部の外部側の開口部に嵌合可能な、前記熱触媒体を配設する熱触媒体交換ユニットが備えられることを...

• 公開日：2010/05/06
• 出典：Ｃａｔ－ＰＥＣＶＤ装置
• 出願人：京セラ株式会社