薄膜形成 の意味・用法を知る
薄膜形成 とは、物理蒸着 やCVD などの分野において活用されるキーワードであり、パナソニック株式会社 やソニー株式会社 などが関連する技術を32,952件開発しています。
このページでは、 薄膜形成 を含む技術文献に基づき、その意味・用法のみならず、活用される分野や市場、法人・人物などを網羅的に把握することができます。
薄膜形成の意味・用法
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減圧チャンバー内で帯状基材Sの表面に薄膜を形成する 薄膜形成 装置1であって、薄膜形成前の帯状基材が巻き付けられた第1ロール4と、帯状基材を搬送する搬送部3と、帯状基材の表面に薄膜を形成する薄膜形成部2と、薄膜形成後の帯状基材を巻き付ける第2ロール5と、薄膜形成部を収容するメインチャンバ10と、第1ロールを収容する第1サブチャンバ6と、第2ロールを収容する第2サブチャンバ7と、メインチャンバ内の圧力を減圧状態に維持しつつ第1サブチャンバ及び第2サブチャンバの圧力を個別に減圧状態又は大気開放状態に切り替えるサブチャンバ圧力切替制御部と、帯状基材の搬送方向及び搬送速度を制御して当該帯状基材を一方向に搬...
- 公開日:2014/08/21
- 出典:薄膜形成装置
- 出願人:東レエンジニアリング株式会社
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減圧チャンバー内で帯状基材の両面に薄膜を形成する 薄膜形成 装置であって、巻出ロールと、搬送部と、薄膜形成部と、巻取ロールと、メインチャンバと、第1サブチャンバと、第2サブチャンバとを備え、搬送部は、第1メインロールと第2メインロールとを備え、第1メインロールと第2メインロールとは、異なる高さで配置されており、薄膜形成部は、第1薄膜形成部と第2薄膜形成部とを備え、第1薄膜形成部は、第1ロールの外周面の重力下方若しくは側方に配置されており、第2薄膜形成部は、第2ロールの外周面の重力下方若しくは側方に配置されていることを特徴とする、薄膜形成装置である。
- 公開日:2014/08/25
- 出典:薄膜形成装置
- 出願人:東レエンジニアリング株式会社
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巻出ロールから巻き出し供給された帯状基材を、減圧されたチャンバ内で第1メインロールと第2メインロールの外周面に沿わせた状態で搬送しつつ、第1メインロールに対向配置させた第1 薄膜形成 部と第2メインロールに対向配置させた第2薄膜形成部とで当該帯状基材の両面に薄膜を形成し、巻取ロールに巻き取り回収する両面薄膜形成装置であって、第1メインロールと第2メインロールとを収容するメインチャンバと、巻出ロールと巻取ロールとを収容するサブチャンバとを備え、メインチャンバとサブチャンバとは互いに連通する開口部を備え、前記開口部にはメインチャンバとサブチャンバとの連通又は遮断状態を切り替えるゲート開...
- 公開日:2014/06/09
- 出典:両面薄膜形成装置
- 出願人:東レエンジニアリング株式会社
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底壁12と側壁13とを備えて底壁12に溶融ガラスの引出口15が形成されたガラス溶融炉11と、ガラス溶融炉11内に差し込まれて通電によりガラス溶融炉11内の溶融ガラスを加熱する加熱用電極14と、を備え、ガラス溶融炉11の内部に、ガラス溶融炉11の炉内底部からのみ溶融ガラスを通過させる上部仕切板16と、上部仕切板16と引出口15との間に配置されて、溶融ガラスを堰き止め、上部仕切板16との間に溶融ガラスを下方から上方に流す流路を形成するとともに、溢れ出た溶融ガラスを降下させることにより薄膜状に形成する 薄膜形成 面25bが形成された薄膜形成部材25と、を設ける。
- 公開日:2015/02/23
- 出典:ガラス溶融装置、ガラス繊維製造装置及びガラス繊維製造方法
- 出願人:日東紡績株式会社
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薄膜製造方法は、バッファ層211の上方に、第2バッファ層211上のうち薄膜である第2封止層213を形成する予定の 薄膜形成 予定部位A213が露出するようにマスク310を配置するマスク配置工程と、マスク配置工程の後、薄膜形成予定部位A213に対して還元性プラズマ処理を行う還元性プラズマ処理工程と、還元性プラズマ処理工程の後、薄膜形成予定部位A213をTMAに晒すTMA暴露工程とを含む。
- 公開日:2013/11/21
- 出典:薄膜製造方法および表示パネルの製造方法、TFT基板の製造方法
- 出願人:株式会社JOLED
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...ラス溶融炉11の炉内底部からのみ溶融ガラスを通過させる上部仕切板16と、上部仕切板16と引出口15との間に配置されて、溶融ガラスを堰き止め、上部仕切板16との間に溶融ガラスを下方から上方に流す流路を形成するとともに、溢れ出た溶融ガラスを降下させることにより薄膜状に形成する 薄膜形成 面25bが形成された薄膜形成部材25と、を設ける。
- 公開日:2015/02/23
- 出典:ガラス溶融装置、ガラス繊維製造装置及びガラス繊維製造方法
- 出願人:日東紡績株式会社
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通電により抵抗発熱する電熱部材で形成された底壁12及び側壁13を備えて底壁12に溶融ガラスの引出口15が形成されたガラス溶融炉11の内部に、ガラス溶融炉11の炉内底部からのみ溶融ガラスを通過させる上部仕切板16と、上部仕切板16と引出口15との間に配置されて、溶融ガラスを堰き止め、上部仕切板16との間に溶融ガラスを下方から上方に流す流路を形成するとともに、溢れ出た溶融ガラスを降下させることにより薄膜状に形成する 薄膜形成 面25bが形成された薄膜形成部材25と、を設ける。
- 公開日:2015/02/23
- 出典:ガラス溶融装置、ガラス繊維製造装置及びガラス繊維製造方法
- 出願人:日東紡績株式会社
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CVD法では、 薄膜形成 工程に供給した原料物質のうち、実際に薄膜形成に利用される原料物質の量は10%以下であり、供給した原料の大部分が利用されずに廃棄されていることが一般に知られており、廃棄されている原料物質の回収と再利用が望まれている
- 公開日:2010/08/05
- 出典:ルテニウム化合物、その製法及びそれを用いた成膜法
- 出願人:東ソー株式会社
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密閉チャンバ50内には、真空状態になった密閉チャンバ50内で、基板91の一方の面に薄膜92を形成する 薄膜形成 部13,23,33が配置されている。
- 公開日:2010/10/14
- 出典:薄膜太陽電池の製造装置および薄膜太陽電池の製造方法
- 出願人:芝浦メカトロニクス株式会社
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本発明のCat−PECVD装置は、原料ガスの少なくとも1つを熱触媒体により加熱する加熱励起部と、前記加熱された原料ガスをプラズマで活性化させて成膜する 薄膜形成 部とを備え、前記薄膜形成部には、基板を載置するための載置台と、前記加熱された水素ガスおよびシラン系ガスをそれぞれ分離した状態で噴出するための複数のガス噴出口が、前記載置台に対向するように配置される、プラズマ発生電極を兼ねるシャワーヘッドとが設けられる、Cat−PECVD装置であって、前記加熱励起部には、外部と連通可能な連通部が形成され、前記連通部の外部側の開口部に嵌合可能な、前記熱触媒体を配設する熱触媒体交換ユニットが備えられることを...
- 公開日:2010/05/06
- 出典:Cat-PECVD装置
- 出願人:京セラ株式会社
薄膜形成の問題点 に関わる言及
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しかしながら、従来の技術においては、保存安定性に優れ、硬化物の屈折率を充分に高くし、しかも、クラック等が生じることのない 薄膜形成 性を硬化性組成物に保持させることは困難で、硬化物の屈折率が高く、透明性、薄膜形成性に優れ、厚膜としても適用可能な硬化性組成物は知られていない。
- 公開日: 2012/03/29
- 出典: 硬化性組成物
- 出願人: ナガセケムテックス株式会社
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しかしながら、従来の技術においては、保存安定性に優れ、硬化物の屈折率を充分に高くし、しかも、クラック等が生じることのない 薄膜形成 性を硬化性組成物に保持させることは困難で、硬化物の屈折率が高く、熱応力緩和性、薄膜形成性に優れ、厚膜としても適用可能な硬化性組成物は知られていない。
- 公開日: 2012/03/29
- 出典: 硬化性組成物
- 出願人: ナガセケムテックス株式会社
薄膜形成の特徴 に関わる言及
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装置のメンテナンスを効率よく行うことができ、さらに安全性の高い 薄膜形成 を行うことができる、塗布装置、薄膜形成装置、半導体装置の製造方法、電気光学装置、並びに電子機器を提供する。
- 公開日: 2004/11/25
- 出典: 塗布装置、薄膜形成装置、半導体装置の製造方法、電気光学装置、並びに電子機器
- 出願人: セイコーエプソン株式会社
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なお、この 薄膜形成 において、クリーニング処理、ミキシング層形成処理を省略し、中間膜形成処理及び薄膜形成処理を実施して基体Wに密着性のよい薄膜を形成することもできる。
- 公開日: 2002/04/26
- 出典: 薄膜形成方法及び薄膜形成装置
- 出願人: 日新電機株式会社
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気相成長(金属層を除く)
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- 被成膜面の組成・基板の特徴・ダミー基板・マスク
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- 半導体素子等への用途
- 機能的用途
- 半導体成長層の構造
- 半導体層の選択成長
- 絶縁体成長層の構造・絶縁体層の選択成長
- 装置の形式(1)基板支持の形態・成膜中の基板の運動 図面+詳細な説明に例示されている形式をすべて付与する(除く従来例)
- 装置の形式(2)成膜室の形態 図面+詳細な説明に例示されている形式をすべて付与する(除く従来例)
- 成膜一般
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- 測定・測定結果に基づく制御・制御一般
- 機械加工プロセスとの組み合わせ
- 他プロセスとの組合せ