膜厚 の意味・用法を知る

前記膜の特性は 膜厚 である、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の制御装置。

• 公開日：2017/09/28
• 出典：制御装置、基板処理システム、基板処理方法及びプログラム
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

前記所定の処理は成膜処理であり、前記所定の処理の結果は前記基板に成膜される膜の 膜厚 である、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の制御装置。

• 公開日：2017/09/21
• 出典：制御装置、基板処理システム、基板処理方法及びプログラム
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

定電圧制御時における感光体に流れる電流と 膜厚 との関係を説明する図である。

• 公開日：2017/05/25
• 出典：画像形成装置
• 出願人：コニカミノルタ株式会社

ウェーハなどの基板の周方向に沿った 膜厚 のばらつきを解消することができ、さらに、膜厚分布の違いにかかわらず、複数の基板間で同じ膜厚分布が得られる研磨方法を提供する。

• 公開日：2017/04/06
• 出典：研磨方法
• 出願人：株式会社荏原製作所

陽極体としてチタンとジルコニウムからなる合金と、誘電体として前記陽極体を陽極酸化して得られる酸化皮膜と、電解質として導電性高分子を含む固体電解コンデンサであって、陽極体の合金におけるチタンとジルコニウムの原子比がＴｉ：Ｚｒで８０：２０〜１０：９０であり、前記酸化皮膜の 膜厚 が５ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であることを特徴とする固体電解コンデンサ。

• 公開日：2016/05/16
• 出典：固体電解コンデンサ
• 出願人：ＮＥＣトーキン株式会社

フローコート法による板状の基材への塗布膜の形成であっても、塗布液の流下方向で、 膜厚 が漸次厚くなることが生じにくい、塗布方法を提供することを課題とする。

• 公開日：2017/06/01
• 出典：塗布膜付基材の製法、及び塗布膜付基材
• 出願人：セントラル硝子株式会社

積層体（１０）は、基板（１１）と、基板の上面側に凹凸の微細パターン（１２）を構成する熱反応型レジスト材料から成るレジスト材料層（１８）と、前記レジスト材料層の表面に形成されたネガ型熱反応型レジスト材料から成る被覆層（１３）と、を有し、被覆層は、レジスト材料層の 膜厚 と同等あるいはそれよりも薄い膜厚で形成されていることを特徴とする。

• 公開日：2016/09/05
• 出典：積層体の製造方法、及びモールドの製造方法
• 出願人：旭化成メディカル株式会社

ｐ型ベース領域の 膜厚 は、主にソースガスの分解量に応じて決定される。

• 公開日：2017/11/30
• 出典：半導体装置の製造方法
• 出願人：株式会社デンソー

十分に厚い 膜厚 で、かつ十分に小さい結晶粒径を有する結晶セレン膜を含む光電変換層を有する光電変換素子を提供する。

• 公開日：2017/02/09
• 出典：光電変換素子、光電変換素子の製造方法、固体撮像素子
• 出願人：日本放送協会

Ａｌ−Ｔａ合金薄膜の表面及び側面の少なくともいずれか一方の面にＡｌ−Ｔａ酸化膜が形成された配線構造であって、前記Ａｌ−Ｔａ合金薄膜のＴａ添加量が０．３〜３．０原子％かつＣｕ含有量が０．０３原子％以下であり、前記Ａｌ−Ｔａ酸化膜の 膜厚 が３〜１０ｎｍであり、かつ、前記Ａｌ−Ｔａ酸化膜中のＴａの原子％濃度がＡｌ−Ｔａ合金薄膜中のＴａの原子％濃度より低いことを特徴とする配線構造。

• 公開日：2017/08/03
• 出典：配線構造およびスパッタリングターゲット
• 出願人：株式会社コベルコ科研