照明光束 の意味・用法を知る

ここでは、 照明光束 （３）および透過光束（１０）が、同じ対物レンズ（７）を通って逆の伝播方向に進行する構成が提案されている。

• 公開日：2016/12/28
• 出典：光学的投影トモグラフィを用いて試料を検査する方法および装置
• 出願人：ライカマイクロシステムズシーエムエスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング

続いて、 照明光束 （１３）が、検出対物レンズ（２）に配置された偏向手段によって、光学的に透明な媒体（１２）と試料（５）との界面（１０）へ入射してそこでの全反射により試料（５）のエバネセント照明を生じさせるよう、検査すべき試料（５）の方向へ偏向される。

• 公開日：2017/08/10
• 出典：試料を顕微鏡検査する方法及び装置
• 出願人：ライカマイクロシステムズシーエムエスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング

照明光束 に被検対象物が作用することによって生成された総合出力光束に対し、参照光束を重畳することによって生じる干渉像を撮像して干渉像の明るさ分布をディジタルデータ化した干渉像データを生成する撮像光学系を有し、処理装置は、探索対象面の形状に関する情報を保有し、干渉像データに基づくディジタル・ホログラフィ・イメージング技術に基づく計算による光電磁界の再構成を行うに際し、探索対象面の形状に関する情報を利用して、再構成を行う場所を、被検対象物が存在する３次元的な空間のなかから探索対象面の近傍を選択し、光学的異性状態を検出する。

• 公開日：2018/02/08
• 出典：検出装置
• 出願人：ウシオ電機株式会社

ファイバカプラ内に、または、ファイバカプラに接して、照明光焦点の形状を変える部材が配置されており、この部材は、取り出されるべき 照明光束 に対して相対的に事前にアライメントされている。

• 公開日：2016/09/29
• 出典：照明光の焦点の形状を変える部材を有する顕微鏡
• 出願人：ライカマイクロシステムズシーエムエスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング

ガルバノミラー１３は、シート状の 照明光束 で標本Ｓをｙ方向に相対的に走査する。

• 公開日：2016/05/23
• 出典：シート照明顕微鏡
• 出願人：オリンパス株式会社

反射型のマスクＭを保持するマスク保持ドラム２１と、入射する 照明光束 ＥＬ１をマスクＭへ向けて反射する一方で、照明光束ＥＬ１がマスクＭにより反射されることで得られる投影光束ＥＬ２を透過するビームスプリッタＰＢＳと、照明光束ＥＬ１をビームスプリッタＰＢＳへ入射させる照明光学モジュールＩＬＭと、ビームスプリッタＰＢＳを透過した投影光束ＥＬ２を基板Ｐに投影露光する投影光学モジュールＰＬＭと、を備え、照明光学モジュールＩＬＭ及びビームスプリッタＰＢＳは、マスクＭと投影光学モジュールＰＬＭとの間に設けられている。

• 公開日：2016/09/08
• 出典：基板処理装置
• 出願人：株式会社ニコン

ビームコンバイナは、音響光学ビームコンバイナとして形成されており、また、少なくとも１つの力学的な波との相互作用によって、第１の 照明光束 も第２の照明光束も回折されて、共通の光軸に向けられるように構成されており、またそのように動作する。

• 公開日：2016/10/20
• 出典：ビームコンバイナ、音響光学ビームコンバイナ、光源、顕微鏡及び使用
• 出願人：ライカマイクロシステムズシーエムエスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング

本発明の方法は、サンプルを、第１の直線偏光方向を有する第１の 照明光束 と、第１の直線偏光方向とこれとは異なる第２の直線偏光方向との間で連続的に切り換えられる直線偏光方向を有する第２の照明光束とによって照明し、ここで、第１の直線偏光方向の照明光が第１の光路に沿って走行し、第２の直線偏光方向の照明光が第２の光路に沿って走行し、音響光学素子によって各光路を統合することを特徴とする。

• 公開日：2016/11/04
• 出典：偏光式のサンプル照明部を備えた走査顕微鏡
• 出願人：ライカマイクロシステムズシーエムエスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング

偏光ビームスプリッタにより 照明光束 と投影光束とを分離する場合に、照明光学系及び投影光学系の物理的な干渉を抑制しつつ、容易に配置することができる偏光ビームスプリッタ等を提供する。

• 公開日：2018/02/15
• 出典：偏光ビームスプリッタ、露光装置、デバイス製造システム及びデバイス製造方法
• 出願人：株式会社ニコン

図２に示す光学プローブ３は、光源１４から出射した 照明光束 Ｌ１を、結像光学系１９及び反射部材１６を介して物体Ｍ上の測定領域に投影（照射）することで、測定領域を落射照明するものであって、照明光学系ＩＬ、結像光学系１９、反射部材（先端光学部材）１６、撮像部１７、鏡筒２５を備える。

• 公開日：2014/07/24
• 出典：形状測定装置及び構造物製造システム並びに構造物製造方法
• 出願人：株式会社ニコン