液体槽 の意味・用法を知る

この場合、投影光学系と感光性基板との間の光路中に液体を満たす手法としては、国際公開番号ＷＯ９９／４９５０４号公報に開示されているような局所的に液体を満たす手法や、特開平６−１２４８７３号公報に開示されているような露光対象の基板を保持したステージを液槽の中で移動させる手法や、特開平１０−３０３１１４号公報に開示されているようなステージ上に所定深さの 液体槽 を形成し、その中に基板を保持する手法などを採用することができる。

• 公開日：2016/08/04
• 出典：照明光学装置、露光装置および露光方法
• 出願人：株式会社ニコン

低コストで、加熱ムラを生じさせずに万遍なく 液体槽 を加熱可能とする。

• 公開日：2015/02/19
• 出典：液体加熱調理器
• 出願人：メトロ電気工業株式会社

複数のラックユニットから構成されるラック１２と、前記ラックユニットの最上部に設けられ、 液体槽 ２４を備えた同調液体ダンパー２２と、前記液体槽２４内の液体量を調整することで同調液体ダンパー２２の固有周期を変更する液体量調整機構３２と、液体量調整機構３２を制御する調整機構制御部を有し、調整機構制御部の制御によって、収納物の増減に応じて変化するラック１２の固有周期に対して同調液体ダンパー２２の固有周期を同調させるように前記液体槽２４内の液体量を調整する。

• 公開日：2014/06/26
• 出典：制振ラック倉庫、及び、ラック倉庫の制振方法
• 出願人：株式会社大林組

回転機の回転軸１４に、その径方向に延出するように一体的に取り付けられた接地板１２と、内部に導電性の液体１６が収容され、この液体１６と接地板１２とが接触するように設置され、液体１６が接地されている 液体槽 １３とを備えた。

• 公開日：2014/07/28
• 出典：回転機の軸接地装置
• 出願人：東芝三菱電機産業システム株式会社

液体槽 の徹底的な洗浄を行うために、工具を使用することなく液体槽をフレーク氷の製造装置から取外し可能なフレーク氷の製造装置を提供すること。

• 公開日：2012/09/06
• 出典：フレーク氷の製造装置
• 出願人：マーヤ−マシイネンファブリーク・ヘルマン・シル・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディトゲゼルシャフト

したがって、磁石棒（１０）の表面に付着した磁気粉の全てを 液体槽 （１２０）の外部に取り出すことができる。

• 公開日：2015/03/30
• 出典：磁気粉分離装置
• 出願人：株式会社ヤリステ

気体通路が詰まるのを防止できる 液体槽 及び、この液体槽を備える歯科用機器を提供すること。

• 公開日：2012/12/20
• 出典：液体槽及び歯科用機器
• 出願人：株式会社ナカニシ

液体槽 、渦流ポンプ、液体吸入手段、液体吐出手段などの具体的構成を工夫した。

• 公開日：2011/05/12
• 出典：液体中に微小気泡を発生させる装置
• 出願人：丸井智敬

ポリエステル繊維などの高タフネス繊維を製造するに際して、溶融紡糸した未延伸糸をガラス転移温度以上に加熱した 液体槽 を通過させた後、ポリマーがガラス転移温度以下に冷却される前に、ガラス転移温度未満の液体槽を通過させることによって、分子鎖の絡みあいが少ない構造の高タフネス未延伸糸を製造し、これに高倍率延伸を施すことによって高タフネスの繊維を得る。

• 公開日：2008/12/25
• 出典：高タフネス繊維の製造方法
• 出願人：帝人フロンティア株式会社

前記液浸装置は、前記投影光学系の上端面に前記液体を保持するための 液体槽 を有し、前記液体槽に保持された液体表面に前記基板の露光面を接触させた状態で前記基板の露光が行われる請求項１記載の露光装置。

• 公開日：2006/07/06
• 出典：露光装置、露光方法及びデバイス製造方法
• 出願人：株式会社ニコン