洗浄機構 の意味・用法を知る
洗浄機構 とは、液体または蒸気による洗浄 や半導体の洗浄、乾燥 などの分野において活用されるキーワードであり、株式会社東芝 や東京エレクトロン株式会社 などが関連する技術を4,721件開発しています。
このページでは、 洗浄機構 を含む技術文献に基づき、その意味・用法のみならず、活用される分野や市場、法人・人物などを網羅的に把握することができます。
洗浄機構の意味・用法
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被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって,先端に被洗浄物を保持する保持ユニットを有するロボットアームと,被洗浄物を洗浄及び乾燥する洗浄部と,を備え,前記洗浄部は,被洗浄物を洗浄及び乾燥を行う 洗浄機構 と,前記洗浄機構を囲い,洗浄室を構成するケーシングと,を有し,前記洗浄機構は,被洗浄物を洗浄する洗浄ステージと,被洗浄物を乾燥する乾燥ステージと,を含み,前記洗浄ステージと前記乾燥ステージが隔壁によって区画されていることを特徴とする,洗浄装置。
- 公開日:2017/05/25
- 出典:洗浄装置
- 出願人:森合精機株式会社
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...排出可能である、該リアクタ(3)を有する装置であって、第1の排ガス装置(10)が弁装置(11、21)により排ガス配管(5)と流動結合可能且つ排ガス配管(5)から切離し可能な該第1の排ガス装置(10)と、相互に異なるプロセスステップの第1のプロセスステップにおいて発生された排ガスを処理するための第1の 洗浄機構 (18)と、弁装置(11、21)と第1の洗浄機構(18)との間に配置された、第1の均衡ガスを供給するための第1のガス供給装置(12)と、第1の排ガス装置(10)内の第1の全圧(PF)を決定するための第1の圧力センサ(13)と、および第2の排ガス装置(20)が弁装置(11、21)により排ガス配...
- 公開日:2015/11/16
- 出典:CVDリアクタにおける排ガス洗浄装置および方法
- 出願人:アイクストロン・アーゲー
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ミストがチャンバーの上方に滞留するのを防止できる 洗浄機構 を提供する。
- 公開日:2017/08/03
- 出典:洗浄機構
- 出願人:株式会社ディスコ
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洗浄機構 部を収容するカバーケースのリフトアップ時(上下方向の昇降時)に、カバーケースに形成された開口部を好適に塞いだ状態にすることができる水洗便器を提供する。
- 公開日:2016/05/12
- 出典:水洗便器
- 出願人:株式会社LIXIL
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上記課題を達成する自転車用リムクリーナを、略中央部に砥石を配置し、この砥石の両側に左右少なくとも1つ以上の放水孔を有し、これらの放水孔に接続される送水管を内蔵する 洗浄機構 と、この洗浄機構上部に取り付けられた汚れ吸着素材留め具と、この汚れ吸着素材留め具によって一端が固定され、前記放水孔を覆うように配置された交換可能な汚れ吸着素材と、前記洗浄機構の後部において前記洗浄機構に内蔵された送水管に接続された送水管と、この送水管の後部に取り付けられた脱着可能な可撓性の貯水部分と、この送水管の外周を覆うように取り付けられた取手とから構成した。
- 公開日:2016/10/13
- 出典:自転車用リムクリーナ
- 出願人:金山弥旦
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揮発性を考慮することなく適切なニードル洗浄液を選択することが可能なニードル 洗浄機構 を提供する。
- 公開日:2013/11/28
- 出典:ニードル洗浄機構
- 出願人:株式会社島津製作所
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サンプルと試薬とが収容される複数の反応容器を保持する反応ディスクと、複数の反応容器を複数のノズルで洗浄する 洗浄機構 と、サンプルの複数の測定項目の各々について、複数の反応容器のうちの前記測定項目の測定に供される特定の反応容器に洗浄水の種類、使用順序、及び使用回数の少なくとも1つからなる洗浄パターンを設定する設定部と、設定された洗浄パターンに従って特定の反応容器を洗浄するために洗浄機構を制御する制御部とを備える。
- 公開日:2015/03/05
- 出典:自動分析装置
- 出願人:株式会社東芝
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洗浄力の低下が生じる頻度を少なくすることのできる 洗浄機構 を提供する。
- 公開日:2012/02/02
- 出典:洗浄機構
- 出願人:パナソニックIPマネジメント株式会社
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照明された原版のパターンからの露光光を基板に投影して該基板を露光する露光装置は、光学素子を含み、前記露光光を前記基板に投影する投影系と、前記投影系を取り囲む容器と、前記容器の中に酸素が存在する環境で前記光学素子に紫外光を照射して前記光学素子を洗浄する 洗浄機構 とを備え、前記洗浄機構は、紫外光を発生する光源ユニットと、前記光源ユニットと前記光学素子との間の光路の一部を取り囲み、射出窓を有する管部材と、前記管部材の外側かつ前記容器の内側の空間における酸素分圧よりも前記管部材の内側の空間における酸素分圧が低くなるように前記管部材の内側の空間の環境を調整する調整部とを含み、前記光源ユニットが発生した紫外...
- 公開日:2011/12/01
- 出典:露光装置およびデバイス製造方法
- 出願人:キヤノン株式会社
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電子レンズの孔の内部にまで付着したコンタミネーションを除去するのに有利な 洗浄機構 を有する電子ビーム描画装置を提供する。
- 公開日:2012/08/02
- 出典:電子ビーム描画装置、およびそれを用いた物品の製造方法
- 出願人:キヤノン株式会社
洗浄機構の原理 に関わる言及
洗浄機構の問題点 に関わる言及
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ところが、この装置においては、局部 洗浄機構 と分岐水栓とは別体のものであり、局部洗浄機構へ供給される水は水道水であるので、局部洗浄機構と分岐水栓との間の配管は、水道水の圧力に耐え得るものを準備せねばならないという不具合がある。
- 公開日: 1997/12/02
- 出典: 人体局部洗浄装置の分岐水栓
- 出願人: アイシン精機株式会社
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研磨テーブルの研磨面の異物を効果的に洗浄除去でき、且つ 洗浄機構 の飛散防止カバーに飛散した洗浄液等が滞留することなく、滞留した異物が研磨テーブルの研磨面に落下して、被研磨基板の研磨面に損傷を与え、被研磨基板を不良品とすることのない研磨テーブルの研磨面洗浄機構、及び研磨装置を提供すること。
- 公開日: 2007/01/11
- 出典: 研磨テーブルの研磨面洗浄機構、及び研磨装置
- 出願人: 株式会社荏原製作所
洗浄機構の特徴 に関わる言及
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