欠陥部分 の意味・用法を知る

基板１１と基板１１上に設けられた層間絶縁膜１２とを有する半導体の製造方法であって、基板１１の 欠陥部分 １１ｐの位置情報及び欠陥部分１１ｐのサイズ情報を含む欠陥情報を取得するステップと、欠陥情報に基づいて、層間絶縁膜１２を介して欠陥部分１１ｐ上にレジストマスクを形成するステップと、層間絶縁膜１２を除去する際に、欠陥部分１１ｐ上の保護絶縁膜１２ｃを残留させるステップとを有する。

• 公開日：2018/04/05
• 出典：半導体の製造方法
• 出願人：トヨタ自動車株式会社

そして、 欠陥部分 の色情報を用いてその欠陥の欠陥種類を判別する。

• 公開日：2016/12/15
• 出典：検査システム、検査方法、プログラムおよび記憶媒体
• 出願人：大日本印刷株式会社

ウエハのエッジの 欠陥部分 の形状に関する情報を適切に取得することができないという課題があった。

• 公開日：2016/04/04
• 出典：ウエハ情報処理装置
• 出願人：株式会社ダイヘン

円形状のワーク１０を回転させた場合の、回転角度と、回転角度に対応したワーク１０の回転中心からエッジ１１までの距離に関する情報である第一距離情報とを対応づけて有する情報である複数の第一回転距離情報が格納される第一回転距離情報格納部１０１と、第一回転距離情報格納部１０１に格納されている複数の第一回転距離情報を用いて、ワーク１０を位置あわせするための情報と、ワーク１０の向きを特定するための情報と、ワーク１０のエッジ１１の 欠陥部分 に関する情報とを取得する取得部と、取得部が取得したワーク１０を位置あわせするための情報と、ワーク１０の向きを特定するための情報と、欠陥部分に関する情報とを出力する出力部とを備える。

• 公開日：2015/11/05
• 出典：ワーク処理装置、ワーク搬送システム
• 出願人：株式会社ダイヘン

検査対象物に検査光を照射する照明装置と、検査光を照射された検査対象物の検査画像を取得する画像取得装置と、検出対象の 欠陥部分 及び検出対象でない非欠陥部分が正常部分とは識別可能に含まれ且つ欠陥部分と非欠陥部分との識別が困難な検査画像から、非欠陥部分と欠陥部分とが区別された処理画像を作成する画像処理装置とを備える。

• 公開日：2016/01/07
• 出典：検査装置及び検査方法
• 出願人：株式会社島津製作所

ゴム状弾性材料で成形され少なくとも一端が開口された筒状の成形品からなる被検査物Ｗを嵌着する検査台１と、前記被検査物Ｗの内周空間Ｓへ給気することによりこの被検査物Ｗを膨張させる給気手段５と、前記被検査物Ｗの表面を撮像する撮像手段４と、この撮像手段４からの画像データに基づいて 欠陥部分 の有無を判定する判定手段７を備える。

• 公開日：2015/01/29
• 出典：成形品の欠陥検査装置
• 出願人：ＮＯＫ株式会社

簡素な構成で，電極板における 欠陥部分 を適切に除去できるとともに，歩留まりの向上を図った捲回型の電極体の製造方法および電極捲回装置を提供すること。

• 公開日：2014/06/12
• 出典：電極体の製造方法および電極捲回装置
• 出願人：トヨタ自動車株式会社

シート状の検査対象Ｓを撮像した画像データを取得し（Ｓ１）、画像データより検査対象における 欠陥部分 を検出し（Ｓ２）、検出された欠陥部分の位置情報を算出し（Ｓ３）、検査対象を所定のサイズにより分割した分割検査対象ＤＳにおける欠陥部分を、位置情報に基づき特定し（Ｓ５）、特定された欠陥部分を含む画像データを取得し（Ｓ６）、欠陥部分を含む画像データから、欠陥情報を算出し（Ｓ７）、ユーザが各分割検査対象を検査するために、分割検査対象毎に、欠陥部分を含む画像データと欠陥情報とを表示する（Ｓ８）。

• 公開日：2014/04/10
• 出典：検査装置、検査方法、検査システム、および、検査装置用プログラム
• 出願人：大日本印刷株式会社

１つの態様において、欠陥検出装置１０は、画像をサブ画像に分割する画像分割部１６１ａと、輝度が略均一で、 欠陥部分 を含まない第１の画像からの外れ度に基づいて、サブ画像の中から、欠陥部分を含む欠陥画像の候補を抽出する候補抽出部１６１ｃと、輝度が略均一で、欠陥部分を含む第２の画像からの外れ度に基づいて、候補の中から第１の欠陥画像を抽出する第１の欠陥画像抽出部１６１ｅと、輝度ムラを有するが欠陥部分を含まない第３の画像からの外れ度に基づいて、第１の欠陥画像として抽出されなかった候補から、第２の欠陥画像を抽出する第２の欠陥画像抽出部１６１ｇとを備える。

• 公開日：2014/09/22
• 出典：欠陥検出装置、欠陥検出方法および欠陥検出プログラム
• 出願人：三菱重工業株式会社

検査対象のシリコンウエハに表面粗さ部分があっても 欠陥部分 を確実に識別する。

• 公開日：2012/01/05
• 出典：ウエハ欠陥検査装置
• 出願人：直江津電子工業株式会社