基板搬送機構 の意味・用法を知る
基板搬送機構 とは、ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 やウエハ等の容器,移送,固着,位置決め等 などの分野において活用されるキーワードであり、株式会社SCREENホールディングス やパナソニック株式会社 などが関連する技術を4,106件開発しています。
このページでは、 基板搬送機構 を含む技術文献に基づき、その意味・用法のみならず、活用される分野や市場、法人・人物などを網羅的に把握することができます。
基板搬送機構の意味・用法
-
そして、第1の 基板搬送機構 5Aが搬送する第1の基板6Aの生産基板種を変更している際に、第1の台車8(1)、第2の台車8(2)および第3の台車8(3)に保持された部品供給装置から部品を供給し、第1の実装機構および第2の実装機構によって生産基板種を変更しない第2の基板6Bに部品を実装する。
- 公開日:2018/03/22
- 出典:部品実装システムおよび部品振分け方法ならびに部品実装装置
- 出願人:パナソニックIPマネジメント株式会社
-
搬入口から搬出口に至るように第1の容器内に設けられた搬送経路に沿って複数の基板を一列に並べて搬送するとともに、第2の容器内外に順番に基板を搬入出する 基板搬送機構 を駆動させる駆動部は、第1の容器内に設けられる基板搬送機構と分離可能に形成されており、基板搬入室及び基板搬出室内にそれぞれ設置されている。
- 公開日:2016/02/08
- 出典:半導体製造装置及び半導体の製造方法
- 出願人:住友化学株式会社
-
そして、 基板搬送機構 20による基板2の逆方向への搬送後の順方向への搬送によっても搬送エラーが解消されない場合に、基板2の搬送を中断するとともに、搬送エラーの発生を報知する。
- 公開日:2015/05/18
- 出典:基板の搬送方法及び部品実装装置
- 出願人:パナソニックIPマネジメント株式会社
-
搬送ベルトを用いた 基板搬送機構 において、誤検出の要因の除去を目的とした保守点検作業を効率よく容易に行うことができる基板搬送装置および搬送ベルトの保守点検方法を提供することを目的とする。
- 公開日:2014/08/28
- 出典:基板搬送装置および搬送ベルトの保守点検方法
- 出願人:パナソニックIPマネジメント株式会社
-
制御装置40は、各 基板搬送機構 30が、基板2の搬送を再開した後、基板2の送り出し側の端部に備えた第2のセンサS2によって基板2の後端が検出される前に、基板2の前端が下流側に隣接した基板搬送機構30の減速開始位置に達して基板2の搬送速度が第2の速度に低下された場合には、第2のセンサS2によって基板2の後端が検出されるまで、下流側に隣接した他の基板搬送機構30と同調した基板2の搬送を行うように作動させる。
- 公開日:2015/01/29
- 出典:部品実装用装置及び部品実装用装置における基板搬送方法
- 出願人:パナソニックIPマネジメント株式会社
-
基板の処理時間に応じて 基板搬送機構 の動作を変更することが可能な基板処理装置等を提供する。
- 公開日:2015/02/05
- 出典:基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体
- 出願人:東京エレクトロン株式会社
-
複数の 基板搬送機構 を備えた電子部品実装システムにおいて、トレイフィーダに収納された電子部品を実装対象に含む基板を何れの基板搬送機構においても制約なく生産することが可能な電子部品実装システムおよび電子部品実装方法を提供することを目的とする。
- 公開日:2015/10/29
- 出典:電子部品実装システムおよび電子部品実装方法
- 出願人:パナソニックIPマネジメント株式会社
-
長さの異なる複数種類の基板を作業対象とするための品種切替えを容易に行うことができる 基板搬送機構 および部品実装用装置を提供する。
- 公開日:2014/09/22
- 出典:基板搬送機構および部品実装用装置
- 出願人:パナソニックIPマネジメント株式会社
-
上流側装置から受け渡された2種類の基板4A,4Bを基板搬送方向に搬送し位置決めして保持する基板保持部を有する第1の 基板搬送機構 16Aおよび第2の基板搬送機構16Bを備えた構成の部品実装装置M5、M6・・・を連結した部品実装ラインにおいて、部品実装ラインの先頭に配置された部品実装装置M5から発せられる基板要求信号に基づいて、第1の基板搬送機構16Aおよび第2の基板搬送機構16Bのそれぞれに、2種類の基板4A,4Bを混在させて振り分ける。
- 公開日:2014/09/08
- 出典:電子部品実装システムおよび電子部品実装方法
- 出願人:パナソニックIPマネジメント株式会社
-
電子部品実装用装置の 基板搬送機構 において搬送ベルトによって搬送される基板を所定の目標停止位置に位置決めする基板位置決め方法であって、前記基板搬送機構は、前記搬送ベルトを駆動するベルト駆動機構と、基板搬送動作における前記基板の減速開始タイミングを規定するために設定された減速基準位置において基板を検出する第1の基板検出センサと、前記目標停止位置において基板を検出する第2の基板検出センサと、基板搬送方向における前記目標停止位置よりも下流側に設定されたオーバーラン検出位置にて基板を検出する第3の基板検出センサと、前記第1の基板検出センサによる基板検出タイミングから前記ベルト駆動機構の搬送速度を減速する...
- 公開日:2014/08/28
- 出典:基板位置決め方法
- 出願人:パナソニックIPマネジメント株式会社
基板搬送機構の原理 に関わる言及
-
このような真空処理装置は、内部に搬送アーム等を有する 基板搬送機構 が設けられたロードロック室と、その周囲に設けられた複数の真空処理室とを有する。ロードロック室内の搬送アームにより、被処理基板が各真空処理室に搬入されると共に、処理済みの基板が各真空処理室から搬出される。
- 公開日: 2001/06/12
- 出典: 半導体処理装置の基板支持機構及び基板交換方法、並びに半導体処理装置及び基板搬送装置
- 出願人: 東京エレクトロン株式会社
-
従来の基板処理装置においては、これらの単位処理部の配列からなる処理列に沿って直線的搬送路が設けられ、その搬送路上を 基板搬送機構 が往復移動する。そして、その基板搬送機構によって各単位処理部への被処理基板の出し入れを行わせ、それによって各被処理基板に対する一連の表面処理が実行される。
- 公開日: 1994/10/25
- 出典: 基板処理装置および基板搬送機構の制御方法
- 出願人: 株式会社SCREENホールディングス
注目されているキーワード
関連する分野分野動向を把握したい方
( 分野番号表示 ON )※整理標準化データをもとに当社作成
-
半導体の露光(電子、イオン線露光を除く)
- 半導体の露光の共通事項
- 紫外線,光露光の種類
- 紫外線,光露光用光源
- 光学系
- ステージ,チャック機構,及びそれらの動作
- ウェハ,マスクの搬送
- 露光の制御,調整の対象,内容
- 検知機能
- 検知機能の取付場所
- 制御,調整に関する表示,情報
- 位置合わせマーク
- 位置合わせマークの配置
- 位置合わせマークの特殊用途
- 位置を合わせるべき2物体上のマーク
- 位置合わせマークの光学的検出
- 検出用光学系
- 位置合わせマークの検出一般及び検出の補助
- X線露光
- X線光学系
- X線源
- X線露光用マスク
- レジスト塗布以前のウェハの表面処理
- レジスト塗布
- ベーキング装置
- 湿式現像,リンス
- ドライ現像
- レジスト膜の剥離
- 多層レジスト膜及びその処理
- 光の吸収膜,反射膜