基板保持 の意味・用法を知る

ロードポートの開口部の搬送室側に基板搬送ハンドの先端部から基端部までの長さの空間が確保できない場合であっても、ロードポートの開口部へ 基板保持 部を挿入することの可能な基板搬送ハンドを提案する。

• 公開日：2018/03/22
• 出典：基板移載装置
• 出願人：川崎重工業株式会社

型及び基板の変形による破損や基板の 基板保持 部からの脱落の防止と、パターンの歪みや欠陥の抑制との両立に有利な技術を提供する。

• 公開日：2017/05/25
• 出典：基板を処理する装置、及び物品の製造方法
• 出願人：キヤノン株式会社

基板３上のインプリント領域に供給されたインプリント材を型で成形してインプリント領域上にパターンを形成するステーション（インプリント装置６）を複数有するインプリントクラスター装置１０は、複数のステーションそれぞれに設けられた、基板３の保持および温度調整を行う 基板保持 部４と、インプリント領域のサイズと基板３の温度とに基づいて、複数のステーションのうち当該基板３にパターンを形成するステーションの基板保持部４に温度調整の目標値を出力する制御部１１と、を有する。

• 公開日：2018/03/01
• 出典：インプリント装置、及び物品製造方法
• 出願人：キヤノン株式会社

正確且つ具体的に 基板保持 部のコンディションを知ることができる、基板搬送ハンドの診断システムを提供する。

• 公開日：2018/04/05
• 出典：基板搬送ハンドの診断システム
• 出願人：川崎重工業株式会社

また、対向部材側壁部５１２の外周面と第２カップ庇部４２２の内周縁との間の径方向の距離である第２カップギャップ距離Ｄ２は、対向部材側壁部５１２の内周面と 基板保持 部３１の外周面との間の径方向の距離である保持ギャップ距離Ｄ０よりも大きい。

• 公開日：2017/09/21
• 出典：基板処理装置
• 出願人：株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

基板保持 部により保持される複数の基板のハンドリングを容易とすることができる。

• 公開日：2018/04/05
• 出典：基板整列装置、基板処理装置、基板配列装置、基板整列方法、基板処理方法および基板配列方法
• 出願人：株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

前記制御部は、前記搬送部に前記処理対象基板を前記第２処理部に搬送させる場合に、前記処理対象基板が前記第２処理部における前記目標位置に配置されるように、前記搬送部が前記処理対象基板を前記第２処理部の 基板保持 部に渡す際の前記処理対象基板の位置を制御する、ことを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。

• 公開日：2017/01/26
• 出典：基板処理装置、および、物品製造方法
• 出願人：キヤノン株式会社

基板保持 部の回転開始前後の画像における濃度変動を検知することにより、基板の保持状態の異常を検査する場合において、画像において特に着目する検査領域を自動で決定することで、作業負担の軽減を可能とする。

• 公開日：2017/08/24
• 出典：基板保持状態の異常検査の検査領域の自動決定方法および基板処理装置
• 出願人：株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

フレームに固定されたテープに貼り付けられた基板を、前記テープを介して保持する 基板保持 部と、前記基板保持部を回転させる回転駆動部と、前記基板保持部と共に回転する前記基板に向けて洗浄液を供給する液供給部と、前記洗浄液から前記フレームを保護するフレームカバーと、前記フレームカバーを前記フレームと共に前記基板保持部に対し固定するフレームカバー固定部とを備え、前記フレームカバーは、前記基板よりも外側かつ前記フレームよりも内側において前記テープに接触することで、前記テープにおける前記洗浄液の濡れ広がりを規制する環状のリップ部を１つ以上有し、最も内側の前記リップ部は、前記テープを介して前記基板保持部に押し付...

• 公開日：2017/05/25
• 出典：洗浄装置、剥離システム、洗浄方法、剥離方法、プログラム、および情報記憶媒体
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

搬送方向に延び、基板浮上面上に基板を浮上させる浮上ステージ部と、基板浮上面上に浮上した基板を保持する 基板保持 部と、を備え、基板浮上面上に浮上した状態の基板を保持した状態で基板保持部が搬送方向に沿って移動することにより、基板が基板浮上面上に浮上した状態で搬送される基板浮上搬送装置において、浮上ステージ部と基板保持部との間には、基準サイズの基板よりも搬送方向と直交する川幅方向寸法が大きい幅広基板を搬送する場合に、基板浮上面から川幅方向にはみ出す幅広基板のはみ出し領域を浮上させる補助浮上支持部を備える構成とする。

• 公開日：2017/02/09
• 出典：基板浮上搬送装置
• 出願人：東レエンジニアリング株式会社