基板保持 の意味・用法を知る

フレームに固定されたテープに貼り付けられた基板を、前記テープを介して保持する 基板保持 部と、前記基板保持部を回転させる回転駆動部と、前記基板保持部と共に回転する前記基板に向けて洗浄液を供給する液供給部と、前記洗浄液から前記フレームを保護するフレームカバーと、前記フレームカバーを前記フレームと共に前記基板保持部に対し固定するフレームカバー固定部とを備え、前記フレームカバーは、前記基板よりも外側かつ前記フレームよりも内側において前記テープに接触することで、前記テープにおける前記洗浄液の濡れ広がりを規制する環状のリップ部を１つ以上有し、前記基板保持部は、前記フレームカバーと前記テープとの剥離時に、前記...

• 公開日：2017/05/25
• 出典：洗浄装置、剥離システム、洗浄方法、剥離方法、プログラム、および情報記憶媒体
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

前記乾燥処理部は、前記基板を保持した状態で前記チャンバの外部位置と前記チャンバの内部位置との間を移動する 基板保持 部をさらに備え、前記制御部は、前記基板保持部が前記外部位置又は前記内部位置に位置するときに、前記基板保持部に保持された前記基板に対して、前記超臨界処理用液が供給されるように、前記超臨界処理用液供給部及び前記基板保持部を制御する、請求項１又は２に記載の基板処理装置。

• 公開日：2017/09/07
• 出典：基板処理装置及び基板処理方法並びに記録媒体
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

この基板搬送ロボット(1)は、基板(S)を保持する 基板保持 手段を有するエンドエフェクタ(7)を備えたロボットアーム(4)と、ロボットアーム(4)を駆動するためのアーム駆動手段(9,10,11)と、エンドエフェクタ(7)を昇降駆動するための昇降駆動手段(8)と、アーム駆動手段(9,10,11)、昇降駆動手段(8)、および基板保持手段を制御するロボット制御手段(12)と、基板(S)の上下方向の位置を検出する基板検出手段(20)であって、エンドエフェクタ(7)の昇降動作に連動して昇降する基板検出センサ(20)を有する基板検出手段と、を備える。

• 公開日：2017/11/24
• 出典：基板搬送ロボットおよびその運転方法
• 出願人：川崎重工業株式会社

偏光光照射装置１は、設定された照射領域２Ｓに偏光光を照射する光源ユニット２と、照射領域２Ｓを通過するように、基板Ｗを一軸方向に沿って移動させるステージ３とを備え、ステージ３は、照射領域２Ｓの一軸方向一方側で基板Ｗの方向を一定に保持して照射領域２Ｓの一軸方向他方側で基板Ｗの保持を開放する複数の 基板保持 部３０を備え、基板保持部３０は、一つの基板保持部３０が一つの基板Ｗ１の保持を開放する前に、他の基板保持部３０が他の基板Ｗ２を保持する。

• 公開日：2016/06/30
• 出典：偏光光照射装置
• 出願人：株式会社ブイ・テクノロジー

基板回転機構により 基板保持 部３１が回転される際に、ベース側壁部３１７および対向部材側壁部５１２が遠心力により変形することにより、ベース側壁部３１７の外周面と対向部材側壁部５１２の内周面との間の径方向の距離であるギャップ値が回転速度に応じて変化する。

• 公開日：2016/12/28
• 出典：基板処理装置
• 出願人：株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

前記小型回転アームは、前記搬送口に近い側に回転中心を有するとともに、前記搬送口から遠い側に 基板保持 部を有し、前記装置前室の伸縮アームが前記小型回転アームと接触することなく伸びて前記搬送ロボットの上を跨ぐようにして前記小型回転アームの前記基板保持部へ処理基板が受け渡されるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の小型回転アームを有する処理室。

• 公開日：2017/03/16
• 出典：小型回転アームを有する処理室および小型製造装置
• 出願人：リソテックジャパン株式会社

前記可撓性基板を保持する 基板保持 部を備える請求項１の照明装置。

• 公開日：2016/11/10
• 出典：照明装置
• 出願人：日亜化学工業株式会社

結合体２を構成するホルダ３０には、回路基板が固定される 基板保持 部３２と、基板保持部３２の周囲において基板保持部３２とケースとの間に介在して配置される枠部３４と、基板保持部３２と枠部３４とを接続する接続部３６と、ケース側から結合体側に伝わる衝撃を緩和可能な衝撃緩和部３８とが設けられている。

• 公開日：2016/06/02
• 出典：読取装置
• 出願人：株式会社デンソーウェーブ

基板Ｗを保持する 基板保持 部２１と、マスクＭを保持するマスク保持部１２と、マスクＭ及び基板Ｗを囲んでマスク保持部１２と基板保持部２１との間に設けられる密封部材１３と、減圧機構１４と、を備え、マスクＭ、マスク保持部１２、基板保持部２１、及び密封部材１３によって囲まれた密封空間１６内を減圧させて、マスクＭを基板Ｗ上面の表面形状に倣わせて密着させる。

• 公開日：2015/02/26
• 出典：密着露光装置
• 出願人：株式会社ブイ・テクノロジー

フレームに固定されたテープに貼り付けられた基板を、前記テープを介して保持する 基板保持 部と、前記フレームを保護するフレームカバーと、前記フレームに対し前記フレームカバーを分離可能に固定するフレームカバー固定部と、前記基板保持部および前記フレームカバー固定部を一体的に回転させる回転駆動部と、前記基板保持部と共に回転する前記基板に向けて洗浄液を供給する液供給部とを備え、前記フレームカバーは、前記洗浄液から前記フレームを保護する、洗浄装置。

• 公開日：2016/08/08
• 出典：洗浄装置、剥離システム、洗浄方法、剥離方法、プログラム、および情報記憶媒体
• 出願人：東京エレクトロン株式会社