処理室 の意味・用法を知る

上記のプラズマ処理装置にあっては、 処理室 で基板に処理を施している間に、次に処理する基板をロードロック室に入れ、ロードロック室を処理室と同圧まで減圧して待機し、処理室での処理が終了したら、処理室内の基板を取り出すとともにロードロック室で待機していた未処理の基板を処理室内に搬入し、処理室とロードロック室間をシャッターで遮断し、この後、ロードロック室と外部とを遮断しているシャッターを開けてロードロック室内にある既処理の基板を外部に搬出するとともに新たな基板をロードロック室内に取り入れるようにしている。

• 公開日： 1998/07/21
• 出典： 減圧処理方法
• 出願人： 東京応化工業株式会社

このような真空処理装置は、内部に搬送アーム等を有する基板搬送機構が設けられたロードロック室と、その周囲に設けられた複数の真空 処理室 とを有する。ロードロック室内の搬送アームにより、被処理基板が各真空処理室に搬入されると共に、処理済みの基板が各真空処理室から搬出される。

• 公開日： 2001/06/12
• 出典： 半導体処理装置の基板支持機構及び基板交換方法、並びに半導体処理装置及び基板搬送装置
• 出願人： 東京エレクトロン株式会社

アッシング処理等の減圧下での処理を効率良く行うため、従来から 処理室 にロードロック室を付設し、処理室で処理をしている間に、次に処理する基板をロードロック室に入れ、ロードロック室を処理室と同圧まで減圧して待機し、処理室での処理が終了したら、処理室内の基板をロードロック室に設けたロボットにより取り出すとともにロードロック室で待機していた未処理の基板を処理室内に搬入して処理する装置が知られている。

• 公開日： 2002/08/23
• 出典： 基板の処理方法
• 出願人： 東京応化工業株式会社

ウエハ 処理室 は、真空室内に設けられており、ウエハは、ロードロック室を介して、または直接ウエハ処理室内に導入される。通常、ロードロック室が用いられるが、ウエハを処理室内に移動させる途中でロードロック室に挿入する時、ロードロック室の真空引きと通気が繰り返される。

• 公開日： 2000/01/14
• 出典： ウエハ搬送装置及びその方法
• 出願人： 住友重機械イオンテクノロジー株式会社

上記のような遊星型の処理装置においては、従来の処理容器を 処理室 として使用して被処理材料Ｍの処理を行った場合に、撹拌等により生じる熱が処理容器内に蓄積し、被処理材料Ｍや処理容器そのものに悪影響を及ぼす場合がある。

• 公開日： 2014/04/17
• 出典： 処理容器、及びそれを使用する処理装置
• 出願人： 株式会社シンキー

さらに、従来の廃棄物処理装置等では、廃棄物 処理室 を装置内部に複数備えておらず、各装置毎に内部の処理温度が単一に設定されることから、互いに種類の異なる廃棄物を一括して処理しようとしても、これらの廃棄物のそれぞれに対して適した処理温度で廃棄処理を行うことができなかった。

• 公開日： 2002/12/04
• 出典： 廃棄物処理装置
• 出願人： 株式会社日本ネットワークサポート

処理装置の 処理室 内で、被処理体を処理する際に、処理室の内壁に汚れが付着してしまう。たとえば、ＣＶＤ装置によって成膜処理する場合、成膜時の反応生成物が、処理室の内壁に付着してしまう。

• 公開日： 2003/09/12
• 出典： 処理装置およびその使用方法ならびにボート
• 出願人： セイコーエプソン株式会社

しかしながら、ゲッタ 処理室 やアライメント処理室の前に接続された他の処理室での処理時間が、ゲッタ処理室やアライメント処理室の減圧に要する時間より短くても済む場合、この減圧の待ちの時間を生じることになり、製造効率が低下する問題がある。

• 公開日： 2003/02/28
• 出典： 画像表示パネルの製造法
• 出願人： キヤノン株式会社

このとき、上記後処理として窒化処理を行う場合、フッ化処理と窒化処理を共通の 処理室 で行うと、窒化処理を行うことにより処理室の空間内構造物の表面にあらかじめ形成したフッ化層まで分解されてしまうため、窒化処理はフッ化処理室とは独立に存在する窒化処理室で行うのが好ましい。

• 公開日： 2010/04/30
• 出典： フッ化処理方法およびフッ化処理装置ならびにフッ化処理装置の使用方法
• 出願人： エア・ウォーター株式会社

一方、例えば第一のＴｉ成膜室又は第二のＴｉ成膜室のいずれかが起動運転又は再生運転中でも、他の基板 処理室 では通常の基板処理を継続しつつ、起動運転又は再生運転を行っている処理室では、起動運転又は再生運転を短時間で終了し、通常の基板処理に迅速に復帰出来る。

• 公開日： 2012/03/01
• 出典： 真空排気システム、真空排気システムの運転方法、冷凍機、冷凍機の運転方法、基板処理装置、電子デバイスの製造方法
• 出願人： キヤノンアネルバ株式会社

真空 処理室 と洗浄装置を有する真空処理装置及び真空処理方法に係り、真空処理装置での異常発生時に、洗浄処理を施すシーケンスを有する真空処理装置及び真空処理方法に関するものである。

• 公開日： 2011/11/17
• 出典： 真空処理装置及びプラズマ処理方法
• 出願人： 株式会社日立ハイテクサイエンス

また、一般に、一組のマイクロ波発生電源にマイクロ波を用いた処理を行う二組の 処理室 を組合わせて、マイクロ波発生電源からのマイクロ波の導波経路を何れか一方の処理室に切替えて使用するマイクロ波処理装置においては、従来は機械的にマイクロ波導波経路を切替える切替え機を用いていた。

• 公開日： 2003/08/15
• 出典： サーキュレータ、アイソレータ、それを用いたプラズマ処理装置と処理方法、並びにマイクロ波導波経路の切替え機とマイクロ波処理装置
• 出願人： キヤノン株式会社

上述の基板処理工程は、例えば、基板を処理する 処理室 を備えた基板処理装置により実施される。近年、半導体装置に形成する配線の微細化や、半導体装置自体の寸法縮小とともに、基板処理装置には特に厳しい清浄度が求められるようになってきている。

• 公開日： 2013/05/23
• 出典： 基板処理装置、基板処理方法及び半導体装置の製造方法
• 出願人： 株式会社日立国際電気

非密閉状の加熱 処理室 を使用しつつも、加熱処理室内の加熱処理雰囲気を維持することができ、かつコンパクト化及び低価格化の要請に対応し得る連続式加熱処理装置を提供する。

• 公開日： 2014/01/23
• 出典： 連続式加熱処理装置
• 出願人： 株式会社タイヨー製作所

即ち、 処理室 よりも高位に配されたホッパから廃棄物が供給される場合、廃棄物は自重だけで処理室に導入されることとなるが、このとき廃棄物が処理室の入口近傍に留まっても押込ドアが廃棄物を処理室内に押し込むために、常に充填率良く廃棄物を処理室に導入することができる。

• 公開日： 1996/12/03
• 出典： 廃棄物充填機
• 出願人： 油研工業株式会社

処理室 割当の決定には、生産性や処理されるウェハ種類と処理室との相性などを評価して行われる。特に、線形ツールは、搬送室が複数あり、ウェハの搬送経路や搬送順序が複雑であるため、処理室割当が変わることで、搬送経路や搬送順序が変わり、生産性が大きく変化し得る。よって、線形ツールにおける処理室割当の決定には、生産性の評価を重視して行う必要がある。

• 公開日： 2013/10/24
• 出典： 処理室割当設定装置及び処理室割当設定プログラム
• 出願人： 株式会社日立ハイテクサイエンス