光路中 の意味・用法を知る

また、リアルタイムに光路長を調整するために参照光の光路長を変更する場合、光路長変更手段を用いて光路長を変更したが、これに限定されるものではなく、参照光の光路長を変更できるものであればいかなる変更手段を用いてもよい。例えば補助参照光および参照光の 光路中 にピエゾ素子等の光路長変更素子を設け、この光路長変更素子により光路長を変更してもよい。

• 公開日： 2008/04/17
• 出典： 光断層画像化装置
• 出願人： 富士フイルム株式会社

偏光解消装置の使用に加えて、偏光を最小限にする技術には、傾かせた垂直面と組となった素子や、偏光を混合する光ファイバを具備する分光計の使用が含まれる。偏光解消装置の主な役割は、確実に偏光が解消された光を試料へ照射させること、及び、試料からの回折光が、システムの画像 光路中 にある偏光に対し感度をもつ素子と相互作用を起こす前に、試料からの回折光の偏光を解消することである。

• 公開日： 2005/05/26
• 出典： 偏光を減らした分光計及びそのための多数素子偏光解消装置
• 出願人： 東京エレクトロン株式会社

また、一方に金属膜による位置検出マークを、他方にこの位置検出マークに対応して偏光反射層を有する透明な対向する一対の基板の位置を検出する位置検出方法において、位置検出マークに向けて非偏光の光を照射し、この位置検出マークからの反射光を光検出器によって検出する際に、光源から位置検出器までの 光路中 に配置した偏光子を通過させて検出する方法にした。

• 公開日： 2003/08/22
• 出典： 位置検出装置及び位置検出方法
• 出願人： 株式会社東芝

また、上述の実施の形態では、偏光解消素子３を照明光路に対して挿脱自在に構成することが好ましい。この場合、必要に応じて、偏光解消素子３を照明 光路中 に設定することにより非偏光状態の光でマスクＭを照明し、偏光解消素子３を照明光路から退避させることにより直線偏光状態の光でマスクＭを照明することができ、ひいてはマスクＭに対する多様な照明が可能になる。

• 公開日： 2006/02/09
• 出典： 偏光解消素子、照明光学装置、露光装置及びマイクロデバイスの製造方法
• 出願人： 株式会社ニコン

このため、例えば透過光又は反射光のいずれか一方の 光路中 に偏光面を９０度変化させる手段を形成するか、双方の光路中に４５度ずつ偏光面を変化させる手段を形成すること等で透過光と反射光との偏光面を一致させればよい。

• 公開日： 1995/10/13
• 出典： 偏光光学素子及びこれを利用した投射装置
• 出願人： 株式会社ニコン

なお、偏光変調器は信号光と参照光それぞれの 光路中 に挿入し、同一の偏光を行っても同一の偏光変調を実現できる。本実施例では光束を信号光と参照光に分割する前の状態で偏光変調を行い、偏光変調器の個数を最小限に抑え、光学系を簡素化することを図っている。

• 公開日： 2011/10/20
• 出典： 光情報再生装置、光情報記録装置及び情報記録方法
• 出願人： 日立コンシューマエレクトロニクス株式会社

また、必要に応じて、偏光選択用フィルタ、波長選択用フィルタ等の光学素子を高調波光の 光路中 に設けてもよく、偏光選択用フィルタ、波長選択用フィルタ等で散乱した高調波光を検出しても良い。

• 公開日： 2009/11/19
• 出典： 光源装置及びプロジェクタ
• 出願人： セイコーエプソン株式会社

コヒーレント光源よりの射出光をコリメート光学系と空間変調器と偏光ビームスプリッタとを順に経る入射光路で反射型空間光変調器に至らせ、反射型空間光変調器よりの反射光を入射光路を逆進する反射光路で偏光ビームスプリッタに至らせ、偏光ビームスプリッタによって入射光路と反射光路を分離する光情報処理装置であり、偏光ビームスプリッタと反射型空間光変調器間の 光路中 に、入射光に対するフーリェ変換光学系の少なくとも一部であり、かつ、反射光に対する逆フーリェ変換光学系の少なくとも一部でもある共用光学系を配置する。

• 公開日： 2001/05/25
• 出典： 光情報処理装置
• 出願人： オリンパス株式会社

この第１の偏光分離面935mと直角の右側の偏光分離面、いわゆる第２の偏光分離面936mは、第１の偏光分離面935mと同じ偏光特性を有するもので、第１の偏光分離面935mで反射分離された第１の平行光束であるＳ偏光光の 光路中 に設けられ、この第１の平行光束を第１の偏光分離面935mで透過分離された第２の平行光束であるＰ偏光光と平行で、反対の方向に反射させる。

• 公開日： 1998/06/19
• 出典： 偏光照明装置
• 出願人： 株式会社コダックデジタルプロダクトセンター