上層 の意味・用法を知る

透明基材３と透明基材３上に形成された反射防止膜５とを備え、反射防止膜５が、下層７と 上層 ９とが積層した二層膜であり、下層７がシリカ膜であり、下層７の屈折率が１．４５〜１．５０であり、下層７の平均厚さが４０〜１２０ｎｍであり、上層９が、中空シリカ粒子とシリカ系マトリックスとを含有するシリカ系多孔質膜であり、前記中空シリカ粒子の平均一次粒子径が４０〜８０ｎｍであり、前記中空シリカ粒子と前記シリカ系マトリックスとのＳｉＯ２換算固形分の質量比（中空シリカ粒子／シリカ系マトリックス）が４５／５５〜６５／３５であり、上層９の屈折率が１．２９〜１．３４であり、上層９の平均厚さが４０〜１１０ｎｍである、反射防止...

• 公開日：2015/09/07
• 出典：反射防止膜付き基材および物品
• 出願人：旭硝子株式会社

また、下地層主成分は中間層１９７を厚さ方向に貫通するよう分布しており、中間層１９７の 上層 １９８側の面には部分的に下地層主成分の酸化物または窒化物が分布しているのが好ましい。

• 公開日：2014/10/23
• 出典：電子部品、電子部品の製造方法、電子機器および移動体
• 出願人：セイコーエプソン株式会社

また、中間層１９７の縦断面から求められる、中間層１９７の 上層 １９８側の面の粗さ曲線において、最大高さ粗さＲｚが１０ｎｍ以下であることが好ましい。

• 公開日：2014/10/23
• 出典：振動片、振動片の製造方法、振動子、発振器、電子機器および移動体
• 出願人：セイコーエプソン株式会社

特にＥＵＶリソグラフィ装置内の反射光学系の寿命に対する反応性水素の悪影響を低減するために、極紫外線及び軟Ｘ線波長領域に関して、多層系（５１）を備えた反射面を有する反射光学素子（５０）が提案され、その場合、反射面（６０）は、炭化ケイ素又はルテニウムから構成される最 上層 （５６）を備えた保護層系（５９）を有し、保護層系（５９）は５ｎｍ〜２５ｎｍの厚さを有する。

• 公開日：2014/08/07
• 出典：ＥＵＶリソグラフィ用の反射光学素子及び光学系
• 出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

上記制御部は、上記スキャナー部に対して、上記造形部で所定の層の造形を開始する前に同層よりも一つ上の 上層 を立体スキャンさせ、当該層と上層のスキャン結果に基づいて造形データを作成することを特徴とする請求項１に記載の３次元複合機。

• 公開日：2012/11/08
• 出典：３次元複合機
• 出願人：セイコーエプソン株式会社