ラインパターン の意味・用法を知る
ラインパターン とは、半導体の露光(電子、イオン線露光を除く) やホトレジスト感材への露光・位置合せ などの分野において活用されるキーワードであり、株式会社東芝 や株式会社ニコン などが関連する技術を6,754件開発しています。
このページでは、 ラインパターン を含む技術文献に基づき、その意味・用法のみならず、活用される分野や市場、法人・人物などを網羅的に把握することができます。
ラインパターンの意味・用法
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本実施形態に係る発光モジュールは、光透過性を有する第1絶縁フィルムと、第1絶縁フィルムに形成され、相互に平行な複数の第1 ラインパターン と、第1ラインパターンに交差し、相互に平行な複数の第2ラインパターンとを含む複数のメッシュパターンと、複数のメッシュパターンのうちのいずれか2つのメッシュパターンに接続される発光素子と、第1絶縁フィルムに対して、発光素子を保持する樹脂層と、を有し、複数のメッシュパターンのうちの相互に隣接する第1メッシュパターンと第2メッシュパターンの境界では、第1メッシュパターンから境界に突出するラインパターンと、第2メッシュパターンから境界に突出するラインパターンとが、相互に...
- 公開日:2018/02/22
- 出典:発光モジュール
- 出願人:東芝ホクト電子株式会社
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ラインパターン のラインピッチと偶然誤差との関係を示す図である。
- 公開日:2016/10/06
- 出典:計測装置
- 出願人:キヤノン株式会社
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コンプリメンタリ・リソグラフィにおいて、 ラインパターン 上の任意の位置に配置されたカットパターンやビアパターンを複数のビームを用いて効率よく露光できる荷電粒子ビーム露光装置及び荷電粒子ビーム露光方法を提供する。
- 公開日:2016/05/26
- 出典:荷電粒子ビーム露光装置及び荷電粒子ビーム露光方法
- 出願人:株式会社アドバンテスト
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基板の上に形成された ラインパターン から検出マークを形成する形成方法であって、前記基板の上の前記検出マークを形成する第1領域と、前記第1領域を囲み、前記検出マークの形成を禁止する第2領域とを決定する第1ステップと、前記第1領域における前記ラインパターンを部分的に切断して複数のマーク要素を形成するための第1カットパターンと、前記第2領域における前記ラインパターンを除去するための除去パターンとを含むパターンを投影光学系によって前記基板の上に投影し、前記複数のマーク要素で前記検出マークを形成する第2ステップと、を有することを特徴とする形成方法を提供する。
- 公開日:2015/01/29
- 出典:形成方法及び製造方法
- 出願人:キヤノン株式会社
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一つの面に複数の突出した ラインパターン 100を有し、ラインパターン100はその長さ方向とは異なる方向で向かい合う第1側面100aと第2側面100bとを含み、第1側面100aは一つの面に対して所定の傾斜角aを有し、第1側面100aは光反射層110を備える。
- 公開日:2018/01/11
- 出典:反射型光制御フィルムおよびそれを備える車載用画像表示装置
- 出願人:東友ファインケム株式会社
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パターン形成方法は、ウエハの第1中間層上の第1マスク層に、第1方向を長手方向としてエッチング特性が異なる第3及び第4の複数の ラインパターン を一方のエッジ部が隣接するように形成するステップと、第3及び第4のラインパターンの一部を順次除去するステップと、その第1マスク層の凹部にマスク材料を充填しラインパターンを除去してマスクパターンを形成するステップと、そのマスクパターンを介して第1中間層を加工するステップと、を有する。
- 公開日:2016/09/05
- 出典:パターン形成方法及びデバイス製造方法
- 出願人:株式会社ニコン
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互いに平行配置された複数の線状部材からなる ラインパターン をインプリント法により製造する方法において、前記パターンが形成された塗膜と、前記パターンの形状に対応する凹凸パターンを有する凹凸部材との分離性に優れた方法を提供する。
- 公開日:2017/10/05
- 出典:ラインパターン、光制御部材および光学結像部材の製造方法
- 出願人:JSR株式会社
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各インク面は、同じインクが供給されるノズルの少なくとも1つの行を含み、1つのインク面の前記ノズルは、名目上、多数の近隣のセルに分割され、各セルは、一連の近隣のノズルを含む、1つまたは複数のインク面を有するプリントヘッドの欠陥ノズルを特定する方法において、それぞれのコード化された ラインパターン を印刷するように前記プリントヘッドの1つのインク面の各ノズルに指示するステップであって、各々のコード化されたラインパターンは、印刷画素および欠如画素の1つの列によって表され、第1および第2のコード化スキームによって定義され、前記第1のコード化スキームは、そのそれぞれのセル内の各ノズルの位置を符号化し、前記第...
- 登録日:2018/03/23
- 出典:インクジェットプリントヘッドの欠陥ノズルを特定する方法
- 出願人:メムジェットテクノロジーリミテッド
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設備投資の増加及び生産効率の低下を抑制しながら、フォトリソグラフィにより、線幅2μm〜10μmの精細部分を有する ラインパターン を形成することができるフォトマスク、及びこのフォトマスクを用いた基板の製造方法を提供する。
- 公開日:2015/05/28
- 出典:フォトマスク及び該フォトマスクを用いた基板の製造方法
- 出願人:HOYATechnosurgical株式会社
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試料に形成された検査光の波長よりも狭いピッチで形成された ラインパターン 間のブリッジ欠陥を検出できるようにする。
- 公開日:2015/10/22
- 出典:欠陥検査方法及びその装置
- 出願人:株式会社日立ハイテクサイエンス
ラインパターンの特徴 に関わる言及
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