ファセット の意味・用法を知る

投影露光装置（１）の物体視野（５）を照明する方法において、第１の ファセット （６８）の部分集合は、パーク位置に位置決めされるように提供され、パーク位置の各々は、関連のターゲット位置から離間されるが、最大でも最大距離ｄmaxしか離間されない。

• 公開日：2017/03/30
• 出典：投影露光系の物体視野を照明する方法
• 出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

底部内周は、コーナーで連結された平面状 ファセット の直線状エッジを含む。

• 公開日：2017/06/01
• 出典：ファセット付き内面を有する保持リング
• 出願人：アプライドマテリアルズ，インコーポレイティド

また、 ファセット 化処理プログラムは、第１のボクセル及び第２のボクセルと非ボクセル領域との境界に存在するボクセルをファセット化する処理をコンピュータに実行させる。

• 公開日：2018/01/11
• 出典：ファセット化処理プログラム、ファセット抽出プログラム、ファセット化処理方法、ファセット抽出方法および情報処理装置
• 出願人：富士通株式会社

宝石の ファセット の決定されたシンチレーションを、ユーザにリアルタイムで表示する。

• 公開日：2017/03/23
• 出典：オンライン顧客のための仮想宝石の３Ｄ体験
• 出願人：ダッソーシステムズ

前記目標物の前記サイズは、前記目標物の ファセット のサイズを含み、前記目標物の前記向きは、前記目標物の前記ファセットの向きを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。

• 公開日：2017/03/09
• 出典：デジタルヒューマンモデルのためのビジョン測定量を求めるための方法およびシステム
• 出願人：ダッソーシステムズアメリカスコーポレイション

ガスは、 ファセット の表面からのターゲット材料の除去を容易にする。

• 公開日：2018/01/11
• 出典：ファセット付きＥＵＶ光学素子
• 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー．ヴイ．

ここで、第１の ファセット （２１i）の個々のミラー（３１）の変位位置は、中間フォーカス（ＺＦ）内の照明放射線（３）の予め定められた強度分布（３６）の場合に、第２のファセット要素（７）のファセット（２５i）の領域内の照明放射線（３）が、最大で予め定められた最大強度（Ｉ*）に等しい最大値、又は強度分布（３７）の平均値よりも最大で予め定められた係数又は絶対値だけ大きい最大値を有する強度分布（３７）を有するように各場合に選択される。

• 公開日：2017/09/21
• 出典：投影露光装置のための照明光学アセンブリ
• 出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

照明光学ユニットの更に別の ファセット ミラーのファセットへの第１のファセットミラーの個々のグループの割り当てを決定する方法も指定する。

• 公開日：2017/09/21
• 出典：投影リソグラフィのための照明光学ユニット
• 出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

したがって、ここでも、作動機構は、結果として ファセット 素子の支持構造の平面と平行に延びる傾斜軸を提供する

• 公開日：2017/08/24
• 出典：光学素子の傾斜
• 出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

システムは、移送チャンバ、第１ ファセット 、前記第１ファセットに対向する第２ファセット、第３ファセット、及び、前記第３ファセットに対向する第４ファセットを有する、メインフレームハウジングと、第１ファセットに結合された第１カルーセルアセンブリと、第３ファセットに結合された第２カルーセルアセンブリと、第２ファセットに結合された第１ロードロックと、第４ファセットに結合された第２ロードロックと、第１と第２のカルーセルからの基板を交換するために移送チャンバ内で作動するよう適合したロボットとを含む。

• 公開日：2016/04/25
• 出典：基板堆積システム、ロボット移送装置、及び電子デバイス製造のための方法
• 出願人：アプライドマテリアルズ，インコーポレイティド