メトロ の意味・用法を知る

メトロ ロジーターゲット設計の方法を提供する。

• 公開日：2017/01/19
• 出典：メトロロジーターゲットの設計のための方法及び装置
• 出願人：エーエスエムエル・ネザーランズ・ビー．ブイ．

方法は、 メトロ ロジープロセスを用いたターゲットの検査によって結果として得られた像をモデリングすることと、ターゲット構成がメトロロジープロセスを用いた検出用に最適化されているかどうかを評価することと、を含む最適化プロセスを含んでもよい。

• 公開日：2017/03/30
• 出典：ターゲット構成の最適化及び関連するターゲット
• 出願人：エーエスエムエル・ネザーランズ・ビー．ブイ．

[0006] スループット、柔軟性、及び／又は精度を向上させることが可能な、ターゲットを使用する メトロ ロジーのための方法及び装置を提供する

• 公開日：2017/09/14
• 出典：メトロロジー方法、ターゲット、及び基板
• 出願人：エーエスエムエル・ネザーランズ・ビー．ブイ．

小ターゲットの メトロ ロジーを用いて半導体基板上の製品エリア内のロケーションにおけるパラメータ測定を可能にする。

• 公開日：2017/06/15
• 出典：メトロロジーに用いられる基板及びパターニングデバイス、メトロロジー方法、及びデバイス製造方法
• 出願人：エーエスエムエル・ネザーランズ・ビー．ブイ．

精度が十分に定義および制御されるとともに、プロセス誘発変動に対して強いオーバーレイターゲットおよび メトロ ロジレシピの設計方法を提供する。

• 公開日：2017/07/06
• 出典：メトロロジターゲットの設計方法、メトロロジターゲットを有する基板、オーバーレイの測定方法、およびデバイス製造方法
• 出願人：エーエスエムエル・ネザーランズ・ビー．ブイ．

本発明者らは、より柔軟で伸長可能であり、2本の手で結合することができる非タンパク質ヒンジ領域を有する抗体様分子であるシン メトロ アドヘシン(symmetroadhesin)を作製するために新規化学的合成法を報告する。

• 公開日：2017/02/16
• 出典：非ペプチドヒンジ部含有フレキシブル抗体様分子
• 出願人：カポンダニエルジェイ．

メトロ ロジターゲット設計の方法を提供する。

• 公開日：2017/01/26
• 出典：メトロロジーターゲットの設計のための方法及び装置
• 出願人：エーエスエムエル・ネザーランズ・ビー．ブイ．

また、ＰＳ−ＣＡＲレジストを用いて形成された メトロ ロジーターゲット、およびパターニングプロセス制御を容易にするために複数のかかるメトロロジーターゲットを含む基板も記載している。

• 公開日：2017/05/18
• 出典：光増感化学増幅レジスト内の光増感剤濃度の測定メトロロジー
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

特に、 メトロ 用光通信など短距離用途の光送信装置に関しては光変調器やドライバ回路等の設置空間の抑制に対する要請が高く、変調器等の小型化が望まれている

• 公開日：2019/07/25
• 出典：光変調器、及びそれを用いた光送信装置
• 出願人：住友大阪セメント株式会社

最初に、測定装置（１０１）は、界面活性剤濃度測定手段（１０）によってワイピング洗浄液（５）の表面張力、溶液密度、超音波伝播速度、導電率のうち、少なくとも一つを計測する部位であり、例えば、カチオニックサーファクタント（ メトロ ームジャパン社製）を電極として界面活性剤濃度を測定する場合がある。

• 公開日：2019/07/25
• 出典：ワイピング洗浄液管理装置及びその方法
• 出願人：独立行政法人国立印刷局