メトロ の意味・用法を知る

より小さいターゲット上のより正確な測定を行うことができる、改善された メトロ ロジ方法および基板上の複数のターゲットの特性を測定するように構成されたメトロロジ装置等を提供する。

• 公開日：2016/08/12
• 出典：メトロロジ装置、リソグラフィ装置、リソグラフィセル及びメトロロジ方法
• 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー．ヴイ．

リソグラフィプロセスの性能測定に使用される メトロ ロジ装置であって、１〜１００ｎｍの範囲の複数の波長を備えた放射ビームを生成する照射システムと、基板に平行な方向から２°を上回る角度の照射方向に沿った放射で前記基板上に形成された周期構造を照射するため、前記照射システムとともに動作可能な基板支持体と、前記周期構造によって反射された放射のスペクトルを検出する検出システムと、を備える、装置。

• 公開日：2018/04/05
• 出典：メトロロジ方法、メトロロジ装置、及びデバイス製造装置
• 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー．ヴイ．

メトロ ロジーターゲット設計の方法を提供する。

• 公開日：2017/01/19
• 出典：メトロロジーターゲットの設計のための方法及び装置
• 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー．ヴイ．

方法は、 メトロ ロジープロセスを用いたターゲットの検査によって結果として得られた像をモデリングすることと、ターゲット構成がメトロロジープロセスを用いた検出用に最適化されているかどうかを評価することと、を含む最適化プロセスを含んでもよい。

• 公開日：2017/03/30
• 出典：ターゲット構成の最適化及び関連するターゲット
• 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー．ヴイ．

[0006] スループット、柔軟性、及び／又は精度を向上させることが可能な、ターゲットを使用する メトロ ロジーのための方法及び装置を提供する

• 公開日：2017/09/14
• 出典：メトロロジー方法、ターゲット、及び基板
• 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー．ヴイ．

小ターゲットの メトロ ロジーを用いて半導体基板上の製品エリア内のロケーションにおけるパラメータ測定を可能にする。

• 公開日：2017/06/15
• 出典：メトロロジーに用いられる基板及びパターニングデバイス、メトロロジー方法、及びデバイス製造方法
• 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー．ヴイ．

精度が十分に定義および制御されるとともに、プロセス誘発変動に対して強いオーバーレイターゲットおよび メトロ ロジレシピの設計方法を提供する。

• 公開日：2017/07/06
• 出典：メトロロジターゲットの設計方法、メトロロジターゲットを有する基板、オーバーレイの測定方法、およびデバイス製造方法
• 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー．ヴイ．

本発明者らは、より柔軟で伸長可能であり、2本の手で結合することができる非タンパク質ヒンジ領域を有する抗体様分子であるシン メトロ アドヘシン(symmetroadhesin)を作製するために新規化学的合成法を報告する。

• 公開日：2017/02/16
• 出典：非ペプチドヒンジ部含有フレキシブル抗体様分子
• 出願人：カポンダニエルジェイ．

メトロ ロジターゲット設計の方法を提供する。

• 公開日：2017/01/26
• 出典：メトロロジーターゲットの設計のための方法及び装置
• 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー．ヴイ．

また、通信によって、例えば、ローカル・エリア・ネットワーク（ＬＡＮ）、 メトロ ポリタン・エリア・ネットワーク（ＭＡＮ）、ワイド・エリア・ネットワーク（ＷＡＮ）、インターネット、イントラネット、エクストラネット等に用いられる有線ネットワーク、又は無線通信ネットワーク、さらにこれらの組み合わせ等の伝送媒体を用いて伝送させてもよく、また、搬送波に乗せて搬送させてもよい。

• 公開日：2020/03/26
• 出典：情報処理装置及び情報処理プログラム
• 出願人：富士ゼロックス株式会社