メタルマスク の意味・用法を知る

メタルマスク 用基材の製造方法は、処理対象を酸性エッチング液によって３μｍ以上エッチングすることによって、金属圧延シートが有する厚さを１０μｍ以下まで薄くするとともに、０．２μｍ以上の表面粗さＲｚを有したレジスト用処理面となるように処理対象を粗らし、金属製のメタルマスク用シートを得る。

• 公開日：2018/04/26
• 出典：メタルマスク用基材の製造方法、および、蒸着用メタルマスクの製造方法
• 出願人：凸版印刷株式会社

レーザを用いて開口部を形成する メタルマスク の製造において、メタルマスクを作製する金属基板の表面を保護するとともに、付着したデブリやドロスを一括除去することができるメタルマスクの製造方法を提供する。

• 公開日：2018/04/05
• 出典：メタルマスクの製造方法
• 出願人：凸版印刷株式会社

蒸着用 メタルマスク を用いた成膜を高精細化しつつ、蒸着用メタルマスクの強度の低下を抑えることを可能にしたメタルマスク用基材、蒸着用メタルマスク、および、メタルマスクユニットを提供する。

• 公開日：2017/08/24
• 出典：メタルマスク用基材、蒸着用メタルマスク、および、メタルマスクユニット
• 出願人：凸版印刷株式会社

従って、この メタルマスク １を用いて、グリーンシート５の貫通孔７にメタライズインク３１を十分に充填することができる。

• 公開日：2018/02/01
• 出典：マスク及び配線基板の製造方法
• 出願人：日本特殊陶業株式会社

請求項１に記載の成膜方法であって、前記密着用部材は、開口部を有する メタルマスク であり、前記密着工程は、前記基板の他方の面の側に磁石を配置し、前記メタルマスクと前記磁石とで前記基板を挟持して前記外力を加え、前記外力除去工程は、前記磁石と前記メタルマスクとを離間することにより前記外力を除去し、前記成膜工程は、前記基板の一方の面において前記メタルマスクの開口部が設けられた領域に前記薄膜を形成する、成膜方法。

• 公開日：2018/02/08
• 出典：成膜方法
• 出願人：シャープ株式会社

メタルマスク シートをシワや破れのない状態で固定枠へ固定し、次工程に受け渡すことが可能なメタルマスクシートハンドリング治具およびメタルマスクシートの搬送装置を提供することを課題とする。

• 公開日：2015/11/12
• 出典：メタルマスクシートハンドリング治具およびメタルマスクシートの搬送装置
• 出願人：凸版印刷株式会社

メタルマスク の取付方向の誤りを防止することにより、スクリーン印刷における不良品の発生を防止する。

• 公開日：2016/10/13
• 出典：メタルマスク張設治具及びメタルマスク
• 出願人：粕谷普烈

メタルマスク の厚み及び開口径にかかわらず良好な版離れ性及び印刷性を確保し得るフラックス組成物及びソルダペーストの提供。

• 公開日：2018/03/29
• 出典：フラックス組成物及びソルダペースト
• 出願人：株式会社タムラ製作所

汚染物質がウェハに照射されることを抑制しつつ、 メタルマスク のアライメントを的確に取れるようにする。

• 公開日：2017/09/07
• 出典：半導体装置の製造方法
• 出願人：株式会社デンソー

このような従来の印刷用マスクとしては、種々の メタルマスク が提案されており、例えば、メタルマスクが基板と対向する側の表面に、撥水処理を施すものや、凹部を形成してスキージング時における基板との接触面積を低減させるもの等が提案されている。

• 公開日：2016/03/22
• 出典：印刷用マスク及びその製造方法
• 出願人：日立マクセル株式会社